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■クリーンテクノロジーの目次
■特集：次世代半導体材料開発最前線
○総論 次世代半導体材料開発／次世代半導体材料技術研究組合／川本佳史
○次世代向けCMP材料の開発／JSR／長谷川亨
○ポーラスLow-k膜の物性評価技術／JSR／小久保輝一
○特殊材料ガスのビジネス展開とその課題／昭和電工／大久保雅裕
○Low-k、バッファコート材料の開発／住友ベークライト／朝隈純俊・番場敏夫
○耐熱化とウエーハ裏面加工プロセスへの応用／積水化学工業／杉田大平・大山康彦
○半導体製造におけるリソアシスト材料の開発／東京応化工業／熊谷智弥
○ポジ型感光性ポリイミドの開発と300mmプロセスへの対応／東レ／富川真佐夫
○ARC関連材料の開発とその課題／日産化学工業／渡邊久幸・中島康之
○CMPスラリー／日立化成工業／木村忠広・芳賀浩ニ
○フォトレジスト、CMPスラリ、Low-kの開発とその課題／富士フィルム／樽谷晋治・加藤知夫・浅野 明
■コーヒーブレイク
○セミコン・ウェスト2007／服部 毅
■解説
○電気集じんに関する新しい技術／豊橋技術科学大学／水野 彰
○異物対策の現状と検出・防除技術の課題／日本生活協同組合連合会／佐藤邦裕
○天然成分を用いたウィルス撃退フィルター／三菱製紙／奥 恭行
○進化するX線異物検出技術の最新動向／アンリツ産機システム／植山英弘
○包装品の密封不良検出への取り組みと改善課題／ニッカ電測／上村久仁男
■シリーズ：研究室紹介
○福井工業大学 浅田研究室／福井工業大学／浅田敏勝
■製品紹介
○花粉症対策用エアシャワー／三機工業／横山峰二・飯嶋和明・新村浩一
○エアロゾルエレクトロメータの原理と計測法／東京ダイレック／船戸浩二
■基礎講座：エンジニアリングのためのGMP豆知識7
○無菌医薬品製造における清浄度レベル／GMPリサーチ／山川康泰
■SEAJ News
○半導体製造装置販売統計（7月）／日本半導体製造装置協会
■クリーンテクノロジーのバックナンバー
- □ 2012年6月号 2012/06/05
- □ 2012年5月号 2012/05/05
- □ 2012年4月号 2012/04/05
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- □ 11月号 2011/11/05
- □ 10月号 2011/10/05
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- □ 8月号 2011/08/05
- □ 7月号 2011/07/05
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- □ 3月号 2011/03/05
- □ 2月号 2011/02/05
- □ 1月号 2011/01/05
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- 業界の垣根のない内容
- 投稿日 2011/03/10
- 投稿者 みつ
- 会社員
- ★★★ 3.0
自分は電機関係の製造業に携わっていますが、半導体や液晶など製造業に関する内容だけでなく、食品や建築技術など月ごとに幅広くクリーン技術に関する内容を紹介してもらえるため参考になります。ただ、その反面業界に特化した内容を調査する場合はある程度バックナンバーを調査したり、他の書籍を併用して調査を実施する必要があります。
- クリーンテクノロジー
- 投稿日 2008/09/03
- 投稿者 doba
- 自営業
- ★★★★ 4.0
私は洗浄関係の仕事をしているのですが、洗浄とクリーンは大きく関係が在り、毎号参考にしていますし、古い本も全部取って在ります。
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