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■クリーンテクノロジーの目次
■特集：半導体用洗浄薬液の最新動向
○先端半導体用薬液の現状と動向／本誌編集委員／服部 毅
○High-k/メタルゲート構造形成プロセスとエッチング・洗浄技術／半導体先端テクノロジーズ／佐藤基之・杉田義博
○Cu/Low-k構造プロセスの課題と洗浄技術／大日本スクリーン製造／杉本憲司・荒木浩之・今井正芳
○銅配線用CMP後洗浄液の開発／富士フイルム／西脇良典
【製品紹介】
○Cu/Low-k用の薬液／関東化学／小田貴文
○高性能Cu-CMP用後洗浄剤の特徴／和光純薬工業／林田一良
■コーヒーブレイク
○還暦を迎えたトランジスタ／服部 毅
■解説
○室内空気中の化学物質と吸着現象の基礎／九州大学大学院／伊藤一秀
○ホルマリン燻蒸対策技術／五洋建設／高橋祐一・小座野貴弘・末永義明
○虫は入れない／竹中工務店／稲岡 徹
○食品プラントで使用されるバイオサイドの特性と応用／アーチ・ケミカルズ・ジャパン／清野和浩
○食品の微生物学的リスクアナリシス／国立医薬品食品衛生研究所／山本茂貴
○企業におけるCSR活動について／アサヒビール／麻生尚輝
○アジアの環境水と食品の衛生状態／京都大学／西渕光昭・中口義次・小板橋努
■製品紹介
○0.1pA超の低ノイズ測定環境を実現した空気冷却式サーモチャック装置／東京ガスケミカル／秋澤徹郎
○塩分やアルミ包材に影響を受けない高感度金属異物検出技術／トック・エンジニアリング／近藤信一
○超極細繊維ワイパー／三菱製紙／松岡昌伸・兵頭建二
■基礎講座：エンジニアリングのためのGMP豆知識8
○無菌医薬品の製造過程に要求される洗浄度レベル／GMPリサーチ／山川康泰
■SEAJ News
○半導体製造装置販売統計／日本半導体製造装置協会
■クリーンテクノロジーのバックナンバー
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- 業界の垣根のない内容
- 投稿日 2011/03/10
- 投稿者 みつ
- 会社員
- ★★★
自分は電機関係の製造業に携わっていますが、半導体や液晶など製造業に関する内容だけでなく、食品や建築技術など月ごとに幅広くクリーン技術に関する内容を紹介してもらえるため参考になります。ただ、その反面業界に特化した内容を調査する場合はある程度バックナンバーを調査したり、他の書籍を併用して調査を実施する必要があります。
- クリーンテクノロジー
- 投稿日 2008/09/03
- 投稿者 doba
- 自営業
- ★★★★
私は洗浄関係の仕事をしているのですが、洗浄とクリーンは大きく関係が在り、毎号参考にしていますし、古い本も全部取って在ります。
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