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■クリーンテクノロジーの目次
■特集：最新半導体洗浄技術
○超臨界流体を用いた次世代半導体洗浄技術／Hattori Consulting International／服部 毅
○高dose II剥離におけるSPMレス洗浄の検討／富士通／佐藤俊哉
○300mmウェーハ用超臨界CO2洗浄装置／エスペック／稲原順一
○酸化膜エッチング液の枚葉スピン洗浄への適用検討／Sachem Inc.／Russell Stevens
○母材損傷を最小化するための石英管洗浄薬液及び洗浄方法／JIWONTECH／Gi-Won Lee
■コーヒーブレイク
○半導体洗浄技術最前線／服部 毅
■特集：最新半導体洗浄技術
〔製品紹介〕
○環境配慮型ケミカルレス洗浄のための高温・高濃度オゾン水洗浄装置／アイシーエフ／久野 敏明
○HDIレジスト剥離装置／アクアサイエンス／森平恭太
○ユニークな技術で45nm以降の半導体先端デバイスに対応／アプリシアテクノロジー／三浦和弘
○ウェット処理技術を中核とした次世代装置開発／エス・イー・エス／清水哲也
○大日本スクリーン製造の洗浄装置／大日本スクリーン製造／松永 聡
○ダメージレス・メガソニック枚葉洗浄／丸紅／松角大介
○差込全周容着方式による継手商品化／フロウエル／三徳正孝・鈴木 勲
○半導体用剥離・洗浄液／デュポン／平沢聡美
■小特集：太陽光エネルギー技術の現状
○太陽光発電のさらなる発展にむけて／豊田工業大学／山口真史
○薄膜系太陽電池の取組みについて／三菱重工業／石田信久
○太陽電池パネル製造プロセス向け排ガス除害・粉体処理装置／三菱化工機／岸本保之
■解説
○超短工期を実現する「モバイルファシリティユニット」工法の実際／大気社／森 卓也
○新しく注目される化学物質PFOSの分析技術／住化分析センター／吉田寧子・木村義孝
■シリーズ：研究室紹介
○横浜国立大学大学院 工学研究院 松本・中村研究室／横浜国立大学／松本幹治
■基礎講座：エンジニアリングのためのGMP豆知識9（最終回）
○医薬品製造における製薬用水の要件／GMPリサーチ／山川康泰
■SEAJ News
○半導体製造装置 販売統計／日本半導体製造装置協会
■クリーンテクノロジーのバックナンバー
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- 業界の垣根のない内容
- 投稿日 2011/03/10
- 投稿者 みつ
- 会社員
- ★★★
自分は電機関係の製造業に携わっていますが、半導体や液晶など製造業に関する内容だけでなく、食品や建築技術など月ごとに幅広くクリーン技術に関する内容を紹介してもらえるため参考になります。ただ、その反面業界に特化した内容を調査する場合はある程度バックナンバーを調査したり、他の書籍を併用して調査を実施する必要があります。
- クリーンテクノロジー
- 投稿日 2008/09/03
- 投稿者 doba
- 自営業
- ★★★★
私は洗浄関係の仕事をしているのですが、洗浄とクリーンは大きく関係が在り、毎号参考にしていますし、古い本も全部取って在ります。
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