クリーンテクノロジーのバックナンバー
2008/04/05発売号 (4月号)

出版社：日本工業出版
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■クリーンテクノロジーの目次

■特集：有機ELパネル製造の現状を探る
○有機ELパネルの市場動向／アイサプライ・ジャパン／増田淳三

　有機ELは、機構的に表示部は個体、厚さは数ミリメートルで軽く、次世代ディスプレイとして期待されている。この自己発光の固体ディスプレイが誕生して20年、製品化が始まって10年の節目にあたる。本稿では誕生20年目の次世代ディスプレイ有機ELの課題と今後の動向について探る。
○有機EL材料の開発状況／出光興産／酒井俊男

　出光興産では、有機EL素子に用いる材料開発を行っており、最近、非常に長寿命・高効率な蛍光型RGBの発光材料を見出した。本稿では低分子型有機EL材料の開発状況を概説するとともに、当社の最新材料を用いた蛍光3波白色素子の性能について紹介する。
○有機ELパネル製造でのユーティリティ／東北デバイス／赤星治

　市場から有望視されて久しい有機ELであるが、その量産化には未だ課題が多い。大きな理由の一つが現在の主流である蒸着式成膜に起因することが多く、本稿では有機EL製造に求められるインフラとその理由について述べる。
○有機EL基板における薄膜平坦化・洗浄／トッキ／氏原孝志

　有機EL素子におけるホール注入電極（ITO膜）表面は、発光のきっかけとなるところであり、その表面状態は有機EL素子とって非常に重要であり、厳しい性能が要求される。この重要なITO膜表面の欠陥を無くし、有機EL素子の性能を向上させる薄膜平坦化・洗浄技術について解説する。
○有機EL照明パネルの異型切断／三星ダイヤモンド工業／前川和哉・阪口良太・川畑孝志

　技術開発、ガラスの大型化が進んだ液晶，PDP、有機ELパネルを効率良く切断することを可能にしたブレークレス・ガラス切り（Penett靠）を用いたガラス分断技術と異形切断への応用について述べる。
○有機ELパネル製造の局所クリーン化／日立プラントテクノロジー／平田順太

　有機ELパネル製造用クリーンルームでは、環境中の水分と有機物による汚染の防止が求められる。乾式除湿ローターによるドライ・ケミカルフリーな空気を生成し、装置周辺とメンテナンスエリアを局所ドライ・ケミカルフリー化を図ることで汚染防止を図る。
○有機EL用燐光材料の高効率製造技術／産業技術総合研究所／今野英雄

　本稿では、代表的な燐光材料であるトリス－シクロメタル化イリジウム錯体の合成法の現状と課題について述べる。また著者らが現在取り組んでいるマイクロ波を用いた新しい合成法について紹介する。
■コーヒーブレイク
○コーヒーブレイク／服部毅

■解説
○クリーンルーム用衣服の動向と将来展望（前編）／福井工業大学／浅田敏勝／ゴールドウィン／七間一誠

　クリーンな作業環境を維持するために、人が身に付ける衣服は、発塵源としても防塵源としても重要な役割を演じている。本稿（前編）では、クリーンルーム用衣服と評価方法（人体発塵とクリーンルーム用衣服の現状）を中心に解説する。
○誘引型置換換気空調システムの非一方向流型クリーンルームへの適応性評価／高砂熱学工業／守屋寛之

　旋回流を組み合わせ、吹出し誘引作用を高めた誘引型置換換気空調システムを実施したクリーンルームにおいて、通常運転時（Operational）での浮遊微粒子濃度および温度の実測結果を報告し、作業域の清浄化および省エネルギー化の有効性検討について述べる
○解剖学実習室におけるホルムアルデヒド環境の改善手法／三機工業／新村浩一／自治医科大学／大河原重雄

　大学医学部の解剖学実験室におけるホルムアルデヒド環境を改善するために、発生量の把握から空気浄化システムの検討、効果の確認といった一連のプロセスについて、事例をもとに提示する。
○FFUによる気流制御の効果／九電工／清原晃二・福島逸成・馬場健

　FFUによる気流制御を適切に行なうには、クリーンルームの使用目的に応じて、費用対効果を含めて総合的に検討する必要がある。本稿では実大模型実験と気流シミュレーションの解析結果をもとにFFUによる気流制御の効果について解説する。
○超臨界二酸化炭素中の微粒子計測技術／オルガノ／菅原広

　超臨界二酸化炭素用光散乱式パーティクルカウンタの開発を行い、微粒子評価を行い、29.8MPaの耐圧を有し、純水中PSL相当径で、0.3μm粒子の計測可能性が示唆された。
本稿では超臨界二酸化炭素中の微粒子計測技術における研究成果について紹介する。
○自動車部品の洗浄とその清浄度測定／森合精機／松村繁廣

　自動車業界の加工部品洗浄では、清浄度が高くまた被洗浄部品の形状・機能に見合った洗浄装置と洗浄後の清浄度測定が、清浄度の高い機能部品の製造ラインで重要な工程を担っている。本稿では実用的なこれら洗浄技術・事例と洗浄後の清浄度測定について紹介する。
○宇宙用観測機器のコンタミネーション管理技術／物質・材料研究機構／木村秀夫／宇宙技術開発／浦山文隆

　地球の周りには人工衛星が飛び交い、社会に恩恵をもたらしているが、機器の高感度化が進むにつれ、コンタミネーションによる機器の感度低下、短寿命化の問題が顕在化してきた。本稿では、宇宙でのコンタミネーション問題に対する取り組み例について紹介する。
■シリーズ：研究室紹介
○九州大学工学研究院精密加工学研究室／九州大学／土肥俊郎・黒河周平・梅崎洋二

■製品紹介
○超純水製造装置／タキエンジニアリング／古杉哲也
■基礎講座：分かりやすいクリーンルームの管理手法 1
○これだけは身に付けたいクリーン化技術の基礎知識その1／三菱電機／園田信夫

■SEAJ News
○半導体製造装置販売統計／日本半導体製造装置協会