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■クリーンテクノロジーの目次
■特集：先端半導体洗浄と新材料対応薬液
○次世代半導体製造における洗浄技術の課題／東芝 セミコンダクター社／冨田 寛
○フッ素系ウェットエッチング液・洗浄液／ステラ ケミファ／宮下雅之・久次米孝信
○Cu/Low-k用の機能性薬品／関東化学／小田貴文
○高性能Post Cu-CMP 洗浄剤の開発／三菱化学／水谷文一・河瀬康弘
○薬液レス・ダメージレス洗浄に向かう機能水／オルガノ／山下幸福
■コーヒーブレイク
○野口英世のサンフランシスコ／服部 毅
■解説
○半導体装置構成パーツの汚染管理への『HACCP：食品の品質管理手法』の適用／東京エレクトロン／土橋和也・斉藤美佐子／東京エレクトロン技術研究所／林 輝幸
○大気圧熱プラズマによる有害物質の分解・除去技術／東京工業大学／渡辺隆行
○個別方式空調とその衛生管理の現状／国立保健医療科学院／柳 宇
○バイオパーティクルの濃度迅速計測と殺菌／豊橋技術科学大学／水野 彰・安田八郎・水野 彰
○PFCs等の排出量測定技術／大陽日酸／伊崎隆一郎
○日本の抗菌から世界のKOHKINへ／INAX／今井茂雄
○日本薬局方微生物試験法の現状／近畿大学／坂上吉一
■研究室紹介
○新日本空調(株) 技術開発研究所／新日本空調／進藤伸二
■製品紹介
○マルチドライミストシステム／双葉リース／福山 慎一
○高品質・高機能な瞬時電圧低下補償装置／山洋電気／奥井 芳明
○潤滑剤など不純物を使用しない焼付き防止ステンレス鋼ねじ部品／田中／村上恒成
■基礎講座：進化するプリント配線板とクリーン化技術入門 6
○プリント配線板製造工程のクリーン化の実践／小林技術事務所／小林 正／長谷川技術事務所／長谷川 堅一
■連載：シリコンウエーハに起因したデバイス不良とウエーハエンジニアリング 1
○シリコンデバイスの構造と製造プロセス／三菱電機／山本秀和
■クリーンテクノロジーのバックナンバー
- □ 12月号 2011/12/05
- □ 11月号 2011/11/05
- □ 10月号 2011/10/05
- □ 9月号 2011/09/05
- □ 8月号 2011/08/05
- □ 7月号 2011/07/05
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- □ 5月号 2011/05/05
- □ 4月号 2011/04/05
- □ 3月号 2011/03/05
- □ 2月号 2011/02/05
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- □ 12月号 2010/12/05
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- 業界の垣根のない内容
- 投稿日 2011/03/10
- 投稿者 みつ
- 会社員
- ★★★
自分は電機関係の製造業に携わっていますが、半導体や液晶など製造業に関する内容だけでなく、食品や建築技術など月ごとに幅広くクリーン技術に関する内容を紹介してもらえるため参考になります。ただ、その反面業界に特化した内容を調査する場合はある程度バックナンバーを調査したり、他の書籍を併用して調査を実施する必要があります。
- クリーンテクノロジー
- 投稿日 2008/09/03
- 投稿者 doba
- 自営業
- ★★★★
私は洗浄関係の仕事をしているのですが、洗浄とクリーンは大きく関係が在り、毎号参考にしていますし、古い本も全部取って在ります。
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