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■クリーンテクノロジーの目次
■特集:先端半導体デバイス製造のための超純水
○これからの純水への要求/大阪大学/青木秀充
○RCモニタによる超純水装置の水質管理/野村マイクロ・サイエンス/野口幸男
○超純水中の極微量金属不純物の除去/オルガノ/川田和彦
○過酸化水素フリー超純水/栗田工業/小林秀樹
○液浸露光用の超純水/日本インテグリス/松本 隆
○ガスコントロール超純水/セルガード/大嶺 浩
■コーヒーブレイク
○目で見る最先端300mm半導体工場/服部 毅
■解説
○液晶製造工程で生じる廃リン酸からのリン酸の高純度化プロセス/関西大学/芝田隼次
○一般換気用エアフィルタの試験規格/日本バイリーン/大垣 豊
■研究室紹介
○広島大学大学院 工学研究科 熱流体材料工学研究室/広島大学/奥山喜久夫・矢吹彰広・Ferry Iskandar
■製品紹介
○カセット型クリーンルーム/テクネット/釜石裕光
○新しいコンセプトのユースポイント用超純水製造装置/ヴェオリア・ウォーター・ソリューション&テクノロジー/黒木{文
■基礎講座:わかりやすいクリーンルームの運転・保守管理技術 3
○クリーンルームの清掃技術と清掃管理/福井工業大学/浅田敏勝
■連載:シリコンウエーハに起因したデバイス不良とウエーハエンジニアリング 4
○不純物汚染のデバイスへの影響/三菱電機/山本秀和
■製品特集
○水質管理系(TOC計他)/編集部
■クリーンテクノロジーのバックナンバー
- □ 12月号 2011/12/05
- □ 11月号 2011/11/05
- □ 10月号 2011/10/05
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- 業界の垣根のない内容
- 投稿日 2011/03/10
- 投稿者 みつ
- 会社員
- ★★★
自分は電機関係の製造業に携わっていますが、半導体や液晶など製造業に関する内容だけでなく、食品や建築技術など月ごとに幅広くクリーン技術に関する内容を紹介してもらえるため参考になります。ただ、その反面業界に特化した内容を調査する場合はある程度バックナンバーを調査したり、他の書籍を併用して調査を実施する必要があります。
- クリーンテクノロジー
- 投稿日 2008/09/03
- 投稿者 doba
- 自営業
- ★★★★
私は洗浄関係の仕事をしているのですが、洗浄とクリーンは大きく関係が在り、毎号参考にしていますし、古い本も全部取って在ります。
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