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■クリーンテクノロジーの目次
■特集:先進のミニエンバイロメント技術1
○巻頭特別インタビュー:「半導体量産ラインへの国内初のミニエンバイロメント全面採用」秘話/Hattori Consulting International/服部 毅/日本ケンブリッジフィルター/木崎原稔郎
○ミニエンバイロメントに対応したクリーンルーム技術/工学院大学/並木則和/東京工業大学/諏訪好英
○ミニエンバイロメントとケミカル汚染測定/住化分析センター/大川典子
○パーティクル発生を低減した450FOUPロードポートの提案/TDK/岡部 勉
○450mmウェーハ用SEMI規格開発動向/アクティオン/小松省二
■コーヒーブレイク
○ペルー・チチカカ湖上の太陽電池/服部 毅
■解説
○インフルエンザウイルス不活化剤を有するエアフィルタの効果/日本バイリーン/望月堂照・西堀 寧・大垣 豊/鳥取大学/伊藤壽啓・伊藤啓史
○大型ガラス基板向けカセットストッカ内の気流制御/日立プラントテクノロジー/神谷松雄・橋本敏浩/日立プラントエンジニアリング/藤田恭成
○マイコンを活用した恒温恒湿省エネシステム/菱機工業/阿部俊明・役山孝之・神成孝則・村田 元・山本友範・金塚憲一
■シリーズ:研究室紹介
○(株)朝日工業社 技術研究所/朝日工業社/本田重夫
■製品紹介
○メディカル用クリーンブース/高砂熱学工業/伏水 聖
○クリーンルームガスモニタ/横河電機/中川直樹
○低発塵、低価格、クリーン市場要求に応えて/THK/田中俊也
■基礎講座:わかりやすいクリーンルームの運転・保守管理技術4
○クリーンルームの汚染管理/福井工業大学/浅田敏勝
■連載:シリコンウエーハに起因したデバイス不良とウエーハエンジニアリング5(最終回)
○ウエーハ形状のデバイス・プロセスへの影響/三菱電機/山本秀和
■製品特集
○ドラフトチャンバー/編集部
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- 業界の垣根のない内容
- 投稿日 2011/03/10
- 投稿者 みつ
- 会社員
- ★★★
自分は電機関係の製造業に携わっていますが、半導体や液晶など製造業に関する内容だけでなく、食品や建築技術など月ごとに幅広くクリーン技術に関する内容を紹介してもらえるため参考になります。ただ、その反面業界に特化した内容を調査する場合はある程度バックナンバーを調査したり、他の書籍を併用して調査を実施する必要があります。
- クリーンテクノロジー
- 投稿日 2008/09/03
- 投稿者 doba
- 自営業
- ★★★★
私は洗浄関係の仕事をしているのですが、洗浄とクリーンは大きく関係が在り、毎号参考にしていますし、古い本も全部取って在ります。
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