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■クリーンテクノロジーの目次
■特集1:半導体分野の分析技術とクリーンテクノロジー 1
○LSIの故障解析の新手法/NECエレクトロニクス/二川 清
○先端LSIプロセスにおける極表面キャラクタリゼーション/東芝/圷 晴子/エスアイアイ・ナノテクノロジー/立花繁明
○TES型マイクロカロリーメータによる分析事例/エスアイアイ・ナノテクノロジー/田中 啓一
○ナノピンセット:EUVLマスクへの応用/セイコーインスツル/梅基 毅・安武正敏/エスアイアイ・ナノテクノロジー/荒巻文朗
■特集2:先進のミニエンバイロメント技術 2
○ミニエン廻りの局所領域におけるクリーン環境制御評価/鹿島建設/塩谷正樹・武政祐一・宅間康人・松本尚史
○300mm半導体工場のミニエン容器の自動搬送/ムラテックオートメーション/山本 眞
○局所空間における粒子計測の課題/リオン/角田智良
○クリーンルーム対応クリーンコンベア/ワイエイシイ/島田満広・鶴 敏孝
■コーヒーブレイク
○セミコン展示会はどこへ行く?/服部 毅
■解説
○ナノテクノロジーにおける「ナノマテリアルハザード」への取り組み/ダルトン/鶴山竜太郎
○特化則改定に対するホルムアルデヒドガスによる室内殺菌/テクノ菱和/海老根猛/メルシャンクリンテック/松岡 宏
○クリーンプロセス用チップID書き込み技術/コマツエンジニアリング/国師義明・森 彰
■シリーズ:研究室紹介
○早稲田大学ナノテクノロジー研究センター/早稲田大学/関口哲志・竹内輝明
■製品紹介
○パーティクルセンサーによるパーティクルの見える化と活用事例/オムロン/細田 亨
○省オペレーションコスト・省逆帯電効果イオナイザー/日本エム・ケー・エス/田村康博/原田産業/水谷 智
■基礎講座:わかりやすいクリーンルームの運転・保守管理技術 5
○クリーンルームの導入計画で忘れてはならない基本事項/福井工業大学/浅田敏勝
■クリーンテクノロジーのバックナンバー
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- 業界の垣根のない内容
- 投稿日 2011/03/10
- 投稿者 みつ
- 会社員
- ★★★
自分は電機関係の製造業に携わっていますが、半導体や液晶など製造業に関する内容だけでなく、食品や建築技術など月ごとに幅広くクリーン技術に関する内容を紹介してもらえるため参考になります。ただ、その反面業界に特化した内容を調査する場合はある程度バックナンバーを調査したり、他の書籍を併用して調査を実施する必要があります。
- クリーンテクノロジー
- 投稿日 2008/09/03
- 投稿者 doba
- 自営業
- ★★★★
私は洗浄関係の仕事をしているのですが、洗浄とクリーンは大きく関係が在り、毎号参考にしていますし、古い本も全部取って在ります。
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