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■クリーンテクノロジーの目次
■特集1:クリーンルームの電気設備と省エネルギー
○クリーンルームの電気設備と省エネルギー/日立プラントテクノロジー/田中健一
○クリーンルームにおける電気設備設計/三機工業/永山浩之
○クリーンルーム中央監視設備の重要性/三機工業/千野祐一
○クリーンルームの照明器具/三菱電機照明/神野昌幸
■コラム
○半導体リソグラフィーはどこへ行く?/服部 毅
■特集2:半導体分野の分析技術とクリーンテクノロジー 2
○低加速SEM-TES-EDSシステムによる大気粉塵及びナノ物質の分析/東京理科大学/小野有紀・中井 泉
○多機能SPMによるプロセス材料の表面分析/東京応化工業/塩野大寿
○電子顕微鏡による先端半導体デバイス評価/東レリサーチセンター/伊藤俊彦
○XVisionシリーズによるTEM試料作製/エスアイアイ・ナノテクノロジー/藤井利昭
■解説
○中性能フィルタの海塩粒子防御性能についての評価方法/清水建設/伊澤康一・長谷部弥・鈴木良延
○室圧制御ダンパーにより室圧制御されたクリーンルームにおける定常時の室圧変動に関する実験/戸田建設/村江行忠・岩村多美男/岡谷精立工業/齊藤 充
○固体アルカリを用いた半導体用PFC14の乾式分解/中部電力/竹内章浩/名古屋大学/平林大介
○嗅覚ディスプレイの研究動向/東京工業大学/中本高道
■シリーズ:研究室紹介
○大気社 研究開発センター/大気社/山本芳嗣
■製品紹介
○自律走行型無人搬送台車/日立製作所/守屋俊夫/日立プラントテクノロジー/冨岡芳治・古野英昭
■基礎講座:わかりやすいクリーンルームの運転・保守管理技術 6
○クリーンルーム用衣服の選定/福井工業大学/浅田敏勝
■クリーンテクノロジーのバックナンバー
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- 業界の垣根のない内容
- 投稿日 2011/03/10
- 投稿者 みつ
- 会社員
- ★★★
自分は電機関係の製造業に携わっていますが、半導体や液晶など製造業に関する内容だけでなく、食品や建築技術など月ごとに幅広くクリーン技術に関する内容を紹介してもらえるため参考になります。ただ、その反面業界に特化した内容を調査する場合はある程度バックナンバーを調査したり、他の書籍を併用して調査を実施する必要があります。
- クリーンテクノロジー
- 投稿日 2008/09/03
- 投稿者 doba
- 自営業
- ★★★★
私は洗浄関係の仕事をしているのですが、洗浄とクリーンは大きく関係が在り、毎号参考にしていますし、古い本も全部取って在ります。
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