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2010/08/28発売号 (2010年9月号)
O plus E

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■O plus Eの目次

限界に挑戦する最新リソグラフィー

■特集のポイント
O plus E 編集部

■液浸露光装置 S620D
― ダブルパターニング世代の新プラットホーム:Streamlign ―
ニコン 河野 博高,柴崎 祐一

■マイクロミラーを用いたプログラマブル照明“FlexRay”
エーエスエムエル・ジャパン 宮崎 順二

■EUV リソグラフィー
半導体先端テクノロジーズ 田中 裕之

■対称性による収差低減が生きるキヤノンの液晶露光装置
キヤノン 大竹 雅裕

■NuTera(TM) HD7000
モレキュラー・インプリンツ 高津 紀彦

■Hp32nm 以細を実現する最先端電子ビームマスク描画装置EBM-7000
ニューフレアテクノロジー 上久保 貴司

■光学系の結像限界を引き出すソース・マスク・オプティマイゼーション
ルネサス エレクトロニクス 内山 貴之,吉持 一幸

■マスク検査技術 ―極限の検査で見えてくる光学系の不思議―
トプコン 高田 聡

■次世代リソグラフィーの実現を左右するプロセス技術
JSR 木村 徹

■露光装置の性能を最大限活用する APC/AEC
ニコン 鈴木 一明

――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――
【連載】
■第9 ・光の鉛筆 26 測距儀1 Barr & Stroud
ニコン 鶴田 匡夫

■波動光学の風景 第62回 64. グリーンの定理
東芝 本宮 佳典

■入試問題に学ぶ光のあれこれ 第18回 宇宙背景放射中の光圧
日本大学 柴田 宣

■コンピュータイメージフロンティアVFX映画時評
Dr. SPIDER

■緊急企画:画像センシング展2010 招待講演
「ロボットに使える最新画像処理技術 ―物体認識のための画像局所特徴量―」
中部大学 藤吉 弘亘

■私の発言 「弱小メーカーのとるべき戦略を考え抜く幸運に恵まれました」(前編)
モレキュラー・インプリンツ・インク 溝上 裕夫

■一枚の写真
軟X線レーザー干渉計で見るナノスケールの表面形状変化
日本原子力研究開発機構 河内 哲哉

――――――――――――――――――――――――――――――――――――――――
【コラム】
■ホビーハウス「食べ物が拡大レンズに」
鏡 惟史

■非凡なる凡人 私のなかの松下幸之助「ビデオディスク戦国時代」
神尾 健三

■オフサイド「桁(ケタ)の話」


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O plus Eの読者レビュー

  • 総合評価:★★★★
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光学技術者のための本
投稿日 2010/10/13
投稿者 か~ら
会社員
★★★★

鶴田匡夫氏の光の鉛筆(単行本)を読んだ事があり、現在も連載されている、本書を購入しました。光の鉛筆のためになることと、面白さはもちろんのこと、今号は、流行の様々な3D映像について書かれており、とてもためになりました。大学で宇宙物理や光学を専攻しているかた、光学技術者のかたにお勧めです。

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