■特集：半導体産業の明日を探る
○EUVリソグラフィ研究開発センターにおけるリソグラフィ開発/兵庫県立大学/渡邊健夫・原田哲男・木下博雄
○チャックレスでのSORI・TTV測定/エスオーエル㈱/中村将之
○液浸技術拡張による微細化/㈱ニコン/金谷玲二
○次世代リソグラフィ用マスクの現状と課題/凸版印刷㈱/秋間慎二
○ダブルパターニング技術による光露光技術の延命/東京エレクトロン㈱/小山賢一・八重樫英民
○半導体量産用LPP-EUV光源開発の現状と展望/ギガフォトン㈱　/溝口計・藤本准一
○協同インターナショナルの洗浄ソリューション技術/㈱協同インターナショナル/湯川弘之
■解説
○微弱放射線のモニタリング技術/金沢工業大学/南戸秀仁
○プラズモンアンテナ型分子センサによる極微量有機ガスの検出/早稲田大学/柳沢雅広
○放射性物質で汚染されたエアフィルタ/藤田保健衛生大学大学院/下道國
○室内空間における微生物対策の効果を定量的に検証/清水建設㈱/山口一
○バイオハザード対策用防護服材料の性能評価/国立感染症研究所/篠原克明・嶋崎典子
○医療施設における電磁環境計画技術の開発/大成建設㈱/遠藤哲夫
■製品紹介
○クリーンルームの省エネ事例/オムロン㈱/齋藤宏
○安定した研究・生産活動を支える空調設備/ダイダン㈱/山口太朗・古川悠