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●特集１
酸化物半導体TFT最前線
●特集２
搬送・カッティング・位置決め技術と装置



【特集１　酸化物半導体TFT最前線】

酸化物半導体TFTの研究動向と課題
東京工業大学　神谷利夫，雲見日出也，細野秀雄 1

酸化物半導体TFTとプロセス技術
Ukai Display Device 9

溶液プロセスによる酸化物半導体TFTの大気圧形成技術
高知工科大学　古田 守，川原村敏幸 17

機能性有機分子をゲート材料とする新しい酸化物トランジスタ
東北大学　中野匡規，塚? 敦/理化学研究所/東京大学　川?雅司，岩佐義宏，十倉好紀 23

高オンオフ比動作P型酸化物半導体トランジスタ
ルネサスエレクトロニクス　砂村 潤 30

酸化物半導体の高信頼性化技術
奈良先端科学技術大学院大学　浦岡行治 36

酸化物半導体TFTの極薄フィルムへの形成
NHK放送技術研究所　中田 充，本村玄一 43

酸化物半導体用スパッタリング装置およびターゲット
アルバック　武井応樹 49

酸化物半導体TFT：装置から見たディスプレイ，バックプレーン技術の革命
Applied Materials Evelyn Scheer 54

【特集２　搬送・カッティング・位置決め技術と装置】
超音波振動を利用した基板の非接触搬送
長岡技術科学大学　磯部浩已 62

完全浮上搬送による新コーティングシステム
「UPDC（Ultrasonic Proximity Dryer Coater system）」
東レエンジニアリング　奥田大輔 67

極薄ガラスのハンドリングと搬送技術
機能性ガラス研究所　藤田 卓 73

位置決め装置について
ハイウィン　森 英彦 78

粘着加工製品の打ち抜き加工について（全抜き，ハーフカット）
K&Hオフィス　川口 弘 83

伝熱工学第７回「相変化を伴う熱伝達」
山口東京理科大学　鈴木康一 90