【特集】半導体製造を支えるクリーン化技術と周辺技術
＜総論＞
半導体クリーン化技術の最新動向 ソニー 服部 毅
半導体工場におけるクリーン化技術の最新動向 三菱電機 園田信夫
半導体工場における静電気対策 大成建設 上田俊彦・三宅伸幸

＜各論＞
ミニエンバイロメント内部高清浄化技術 日立プラントテクノロジー 久禮得男・頭島康博
インテリジェントガスセンサ 理研計器 村松晃司
MEMS技術を活用した小型ローコスト流量計 コフロック 吉田考一
クリーンルーム用新型ケミカルワッシャー 高砂熱学工業 岡村典明・稲葉 仁
クリーンルーム対応電動スライダ「EZlimo」 オリエンタルモーター 政田哲也
完全密閉型枚葉洗浄装置 リアライズアドバンストテクノロジ 鈴木則夫
Ｃｕ／Ｌｏｗ－ｋ用機能性薬品 関東化学 小田貴文
最新技術を用いたシリコンウェハ欠陥検査装置 ケメット・ジャパン 滝川聡・岸田文樹


今 月 の 人
標準品にこだわり，業界をリードする高電圧電源メーカー
米ウルトラボルト社 上席副社長 ジェームス・モリソン氏

連 載
半導体製造の基礎知識⑤ 寺子屋みほ 宇津木 勝
プラズマテレビで眺めてみれば⑤ 内池平樹
マーケットＩＮＤＥＸ(161） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(45) 日本起業家新聞社 森野 進

展示会レポート
第９回組込みシステム開発技術展 編集部

技術トピックス
３００mm対応超臨界装置のデモ機を開発し共同研究を開始 編集部
ASMLが40nm液浸露光装置「XT:1900i」を発表 編集部
「よこはま高度実装技術コンソーシアム」（YJC）が設立される 編集部

会議速報
第４回有機分子ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽに関する国際シンポジウム（ISOME2006）報告 兵庫県立大学 小野田光宣


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【特別レポート】 [連載]フランスのナノテクノロジー＜第４回＞
Ⅳ．パリ地域圏（イル・ド・フランス）のナノテク産業クラスター
本誌編集長 大島雅志