電子材料 発売日・バックナンバー

特 集 1
パワーデバイスのすべて
省エネ革命の主要デバイスとして注目される次世代パワー半導体 アイサプライ・ジャパン 南川 明
ダイヤモンドウェハおよびパワーデバイスの開発動向 産業技術総合研究所 鹿田真一
パワー半導体用SiCエピタキシャルウェハの動向 昭和電工 百瀬賢治・佐藤貴幸
SiC基板の超精密研磨 フジミインコーポレーテッド 河田研治・堀田和利
SiC向け超音波ダイシング ディスコ 神長拓也


特 集 2
エレクトロニクス分野の環境対応技術
Siウエハのリサイクル技術 エフエーサービス 湯之上隆
研究開発段階におけるCO2削減効果の評価 富士通研究所 胡 勝治
CO2を見える化し、改善余地量を自動抽出する「ene-brain」
―企業の利益創出とCO2排出量削減の両立に向けて― オムロン 鈴木純子


一般記事
プログラム可能な電源回路による回路基板の信頼性向上と低コスト化 Lattice Semiconductor Troy Scott
現代都市型ナビゲーションにおける推測航法GPSの必要性
u-blox Etienne Favey・Alexander Somieski・Christine Hollenstein・Michael Ammann・Carl Fenger


連 載
てくテク散歩帖(27) 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(203） グローバルネット 武野泰彦
【連載】開発工学における知財戦略
＜第6回＞青色LED：いわゆる「ツーフロー特許」について －中村修二氏の発明－
馬場国際特許事務所 馬場玄式
ベンチャー企業の実像を探る(87) 日本起業家新聞社 森野 進


＜展示会レポート＞
第21回マイクロマシン／MEMS展 編集部

＜会議速報＞
2010 VLSIテクノロジーシンポジウム報告 ソニー 若林 整
2010 VLSIサーキットシンポジウム報告 神戸大学 永田 真

＜技術トピックス＞
富士通研が名古屋大と毒素タンパク質検出にDNA抗体を用いたバイオセンサを開発 編集部


産業NEWS BOX
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
国内スポット
読書室
新製品ガイド

特 集 1
次世代照明技術の基礎・応用・新展開 －LED，有機ELによる照明

LED照明技術の動向 山口大学 只友一行・岡田成仁
有機EL照明技術の動向 名古屋大学 森 竜雄
次世代照明市場動向 野村総合研究所 前原孝章
街路照明におけるニュートラルホワイトLED時代の幕開け Avago Technologies Germany Andreas Pohl
高輝度LEDアライナ技術 ズース・マイクロテック 鈴木克彦
青色LED用サファイアウェハ微細欠陥検査装置 田中機販 中川健二
LED用白色反射材 タムラ製作所 清田達也
高輝度LED向けレーザダイシング技術 ディスコ 伊藤祝子
LED向けパッケージング技術 住友金属エレクトロデバイス 手塚将志・三原芳和


特 集 2
エレクトロニクス分野の検査・計測・解析技術

エレクトロニクス分野の検査・計測の最新動向 明星大学 水野文夫
新型汎用DualBeamシステム「Helios NanoLab x50」―最先端デバイス開発のための解析ツール―
日本エフイー・アイ 鈴木直久
蛍光X線膜厚計「SFT-110」 SIIナノテクノロジー 的場吉毅
ポリマー硬化自動測定装置 ―誘電分析（DEA）による樹脂の硬化モニタリング― シスコム 森下春雄

一般記事
SRIのMEMSセンサ SRI International Drew Hanser・千葉正毅・大内聡美

連 載
てくテク散歩帖(26) 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(202） グローバルネット 武野泰彦
【連載】開発工学における知財戦略
＜第5回＞青色LED：いわゆる「ツーフロー特許」について －中村修二氏の発明－
馬場国際特許事務所 馬場玄式
ベンチャー企業の実像を探る(86) 日本起業家新聞社 森野 進

＜展示会レポート＞
PV Japan 2010 編集部
International LED and Green Lighting Seminar 2010／LED EXPO 2010 & OLED EXPO 2010
G.J.Tech 大西哲也

＜会議速報＞
SID2010 報告 技術コンサルタント 鵜飼育弘


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商品の履歴書
読書室
国内スポット
新製品ガイド

特 集
応用分野を拡大するマイクロマシン製品／MEMS技術

MEMS技術の最新動向 ―東北大学におけるプロジェクト― 東北大学 江刺正喜
TIAの展望 産業技術総合研究所 渡邉政嘉・小森和宏・岩田 普・奥村 元・前田龍太郎・湯村守雄
物質・材料研究機構 中村和夫 産業技術総合研究所 永翁龍一・森本慎一郎
サスティナビリティ社会に向けたMEMS 加藤伸一
単一マスク回転傾斜露光技術の応用展開 香川大学 鈴木孝明
人工筋肉アクチュエータの応用展開 SRIインターナショナル 千葉正毅
水晶MEMSジャイロセンサ エプソントヨコム 宮澤輝久・菊池尊行・八鍬恵美
μTAS接着装置「SUS504」 ウシオ電機 森田金市
MEMS用CMPスラリー D-process 笹川博章・渡邉秀夫
蛍光測定を用いたUVナノインプリント用樹脂の最適露光量の検討 リソテックジャパン 関口 淳
MEMSファウンドリーの展開 アルバック 不破 耕

一般記事
MOSFETとプリドライバのマッチング ON Semiconductor Bob Fugere

連 載
てくテク散歩帖(25) 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(201） グローバルネット 武野泰彦
【連載】開発工学における知財戦略
＜第4回＞カラオケの真の発明者は 馬場国際特許事務所 馬場玄式
ベンチャー企業の実像を探る(85) 日本起業家新聞社 森野 進

＜展示会レポート＞
JPCA Show 2010／ラージエレクトロニクスショー 2010／
2010マイクロエレクトロニクスショー／JISSO PROTEC 2010 編集部

＜会議速報＞
ホトマスクジャパン 2010 報告 凸版印刷 小西敏雄

＜技術トピックス＞
高純度化学研究所が本社新工場を稼働し短納期化を推進 編集部


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業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
国内スポット
読書室
新製品ガイド

特 集
電子回路・実装の注目製品・技術

エレクトロニクス実装技術の最新動向と将来展望 i-PACKS 塚田 裕
3次元積層型集積回路に向けた自己組織化チップ実装技術 東北大学 福島誉史・李 康旭・田中 徹・小柳光正
マイクロチップ接続技術の最新動向 日本アイ・ビー・エム 折井靖光・佐久間克幸・松本圭司・鳥山和重
高信頼性化に向けた鉛フリーはんだの最新動向 信頼性学会 伊藤貞則
実装基板向け洗浄技術の最新動向 荒川化学工業 前野純一
パッケージング向けレーザ描画装置とクリームはんだジェットプリンタ
マイクロニックジャパン 鈴木武司・辻村武彦
高精度ディスペンサを使ったエレクトロニクス産業における組立プロセスの改善
ノードソンEFD アート・タウセック
はんだ自動供給機搭載クリームはんだ印刷機 ソニーマニュファクチュアリングシステムズ 渡辺昭彦
熱硬化性はんだ接合材「M/M-ESC工法用接合材TPES」 タムラ製作所 柴田誠治・中林孝氏・柿田俊彦・島田利昭
低VOC・一液フラックス洗浄システム「マイクロクリーナーECO」 化研テック 赤松悠紀
小型高速汎用モジュラー ヤマハ発動機 三宅祥史
測長＆外観検査兼用装置「STシリーズ」 ステラ・コーポレーション 大竹信男
インラインX線検査装置「NEO-INSPECTOR」 ポニー工業 高田圭弘



連 載
てくテク散歩帖(24) 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(200） グローバルネット 武野泰彦
【連載】開発工学における知財戦略
＜第3回＞サービス化社会の到来 松蔭大学 角 忠夫
ベンチャー企業の実像を探る(84) 日本起業家新聞社 森野 進

＜展示会レポート＞
人とくるまのテクノロジー展2010 編集部

＜会議速報＞
エレクトロニクス実装学会 第24回学術講演大会報告 高木技術士事務所 高木 清

＜技術トピックス＞
三菱電機がスマートグリッドの実証実験を開始 編集部


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業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
国内スポット
読書室
新製品ガイド

特 集 半導体プロセスを支える製造・試験装置と材料

hp32/22nmノードに向けたFEOLの技術動向 ソニー 若林 整
hp32/22nmノードに向けたBEOLの技術動向 ―hp22nm世代に向けためっきと研磨の実現解―
荏原製作所 辻村 学
量産用EUV露光機向け光源 サイマー 大賀敏浩
ミリ秒アニール装置「Applied Vantage Astra DSA」 アプライド マテリアルズ ジャパン 阿世知大
低誘電率層間絶縁膜材料「ULKS Ver.3」
アルバック 平川正明・加賀美剛・山崎貴久・東條一誠・中山高博・村上裕彦
CMP技術の最新動向 D-process 笹川博章・渡邉秀夫
超極薄ウェハの裏面研削・研磨技術 ラップマスターSFT 三瓶陽輔
Spectroscopic Ellipsometryを利用した表面および薄膜の分析と偏光測定の応用
Ellipso Technology Kim Sang-Youl・Kim Jong-Jin・Park Sang-Uk・Seo Young-Jin・Ryu Jang-Wi
翻訳：ミワオプト 藪内一雄
金属イオン除去フィルタを用いた有機溶媒精製 日本インテグリス 神山 哲

一般記事
プログラム可能なクロック管理によるソースシンクロナスのスループット向上
Lattice Semiconductor Srirama Chandra

連 載
【連載エッセイ】珠江デルタLED事情（香港珠三角州灯LED）(10) G.J.Tech 大西哲也
てくテク散歩帖(23) 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(199） グローバルネット 武野泰彦
【連載】開発工学における知財戦略
＜第2回＞「エンジニアリング・ブランド」というブランドを構築して，新規市場を創生する
イー・ブランド21 小平和一朗
ベンチャー企業の実像を探る(83) 日本起業家新聞社 森野 進

＜展示会レポート＞
第20回ファインテック・ジャパン 編集部
第2回次世代照明技術展 編集部
先端技術館＠TEPIA 編集部

＜会議速報＞
ISSCC 2010 報告 日立製作所 河原尊之

＜技術トピックス＞
富士通研究所がヒューマンセントリックなネットワーク社会に向けた開発を推進 編集部
AMATがタッチパネル向けにITO成膜装置を強化 編集部
キヤノン財団が第1回研究助成プログラムの助成先を決定 編集部

産業NEWS BOX
業界の動き
会社の動き
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国内スポット
読書室
技術トピックス
新製品ガイド

特 集 １
ビギナーのための「よくわかる2次電池」

リチウムイオン電池の最新技術動向 首都大学東京 金村聖志
リチウムイオン電池用正極材料の最新動向 産業技術総合研究所 田渕光春・竹内友成・辰巳国昭
リチウムイオン電池用負極材料の最新動向 鳥取大学 薄井洋行・坂口裕樹
リチウムイオン電池用電解液の最新動向 山口大学 江頭 港
リチウムイオン電池用セパレータの最新動向 JSTイノベーションプラザ京都 辻岡則夫
ラミネートシート型リチウムイオン電池 エナックス 齋藤喜美雄
光で充電する蓄電池 鹿児島大学 野見山輝明


特 集 ２
電子ディスプレイを支える製造・試験装置と材料

液晶ディスプレイの最新技術動向 UDDI 鵜飼育弘
プラズマディスプレイの最新技術動向 内池平樹
有機ELディスプレイの最新技術動向 FPD技術コンサルタント 米田 清 ・ コダック 辻村隆俊
タッチパネルの最新技術動向 タッチパネル研究所 中谷健司
電子ペーパーの最新技術動向 東海大学 面谷 信
高性能大型ガントリXYテーブル NTN 鈴木克義


連 載
【連載エッセイ】珠江デルタLED事情（香港珠三角州灯LED）(9) G.J.Tech 大西哲也
【連載】開発工学における知財戦略
＜第1回＞インテルの知的財産戦略 馬場国際特許事務所 馬場玄式
てくテク散歩帖(22) 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(198） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(82) 日本起業家新聞社 森野 進

＜展示会レポート＞
PV EXPO 編集部

＜会議速報＞
Mate2010報告 大阪大学 福本信次

＜技術トピックス＞
ナノ粒子技術をアピールしたnano tech 2010 編集部
LED市場向けに目白プレシジョンのDOF戦略に基づくASSの需要が拡大 編集部
田中機販が欠陥可視化検査装置のアプリを拡大 編集部



業界の動き
産業NEWS BOX
読書室
新製品ガイド

特 集 太陽電池・燃料電池の最新トピックス

＜太陽電池編＞
高効率多結晶シリコン太陽電池の開発 三菱電機 森川浩昭・有本 智・西村邦彦・松野 繁
アプライドマテリアルズ社の太陽電池事業 アプライドマテリアルズジャパン 佐藤辰哉
CIGS化合物系薄膜太陽電池向けメカニカルパターニング装置 三星ダイヤモンド工業 岡本慶太郎
太陽電池セル測定用ソーラシミュレータ 三永電機製作所 永墓宏光
太陽電池EL画像測定装置 アイテス 高野和美・谷畑 潤
あらゆる太陽電池の変換効率分布を非破壊で高速可視化するMAPシリーズの開発
－太陽電池変換効率分布測定機－ レーザーテック 米澤 良
有機太陽電池用材料 シグマアルドリッチジャパン 吉田優香
＜燃料電池編＞
全面供給型の多孔体金属セパレータによる燃料電池の出力向上 北海道大学 首藤登志夫


一般記事
フレキシブルエレクトロニクス向けウェブコーティング装置「Applied SmartWeb」
Applied Materials Reiner Kukla


連 載
【連載エッセイ】珠江デルタＬＥＤ事情（香港珠三角州灯ＬＥＤ）(8) G.J.Tech 大西哲也
てくテク散歩帖(21) 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(197） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(81) 日本起業家新聞社 森野 進

＜展示会レポート＞
ネプコンジャパン 編集部

＜技術トピックス＞
パナソニックが3D対応PDPテレビとBDレコーダを市場投入 編集部
ルネサスが次世代アプリをも睨みモータ制御機器向けマイコンを製品化 編集部
ノードソンEFDが日本でディスペンサの直販を開始 編集部



国内スポット
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
産業NEWS BOX
読書室
新製品ガイド

特 集ナノテクノロジーのビジネス創出

ナノエレクトロニクスのビジネスの新展開 日立製作所 芝 健夫
ナノカーボン材料によって繰り広げられる新たなエレクトロニクス
北陸先端科学技術大学院大学 藤原明比古
フラクタルナノテクノロジーの最新動向と産業応用 北海道大学 眞山博幸
ナノバイオデバイス研究の最新動向と将来展望 名古屋大学 馬場嘉信
ナノテク応用による脱臭システム「においを消す技術」 慶應義塾大学 白鳥世明
ナノインプリント用モールドの最新動向 NTT-ATナノファブリケーション 増田 修
次世代HDDとナノインプリント用欠陥可視化マクロ検査装置 田中機販 中川健二
物理モデルシミュレーションによる次世代リソグラフィの予測的モデリング
KLA-Tencor Mark D. Smith・Stewart A. Robertson・John J. Biafore・Trey Graves・Sanjay Kapasi
翻訳：リソテックジャパン ロゼ・イロナ ・松澤敏晴


特設記事 電子工場における防振・免振対策とその事例

事業継続マネージメントの観点から見た半導体・LCD工場の地震対策
サクセスインターナショナル 沢田憲一
大規模地震に対応する強震計測システム リオン 蓮見敏之


今 月 の 人
オリジナル技術のフェライトが「IEEEマイルストーン」に認定 TDK代表取締役社長 上釜健宏 氏


一般記事
実装工学 －これからの10年に向けて 東京大学 須賀唯知・明星大学 大塚寛治
周辺環境からエネルギーを収穫する固体マイクロエネルギーセル技術
Infinite Power Solutions ティム・ブラドウ


連 載
【連載エッセイ】珠江デルタＬＥＤ事情（香港珠三角州灯ＬＥＤ）(7) G.J.Tech 大西哲也
てくテク散歩帖(20) 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(196） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(80) 日本起業家新聞社 森野 進




国内スポット
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業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
読書室
技術トピックス
新製品ガイド

特 集 先端電子材料の技術シーズと市場ニーズ

鉄系高温超伝導体の特徴 科学技術振興機構（JST） 神原陽一・ 東京工業大学 細野秀雄
応力物性高速評価システム 東京大学 菊月達也・高橋竜太・ リップマー・ミック
金属ガラスの特徴と成形加工技術 次世代金属・複合材料研究開発協会（RIMCOF） 西山信行
ナノ酸化物熱電変換材料の開発 名古屋大学 河本邦仁
エキゾチック高分子複合材料の特徴と応用 神戸大学 西野 孝


特設記事 エレクトロニクス実装による製品の高付加価値化

先端電子機器における実装技術からみる材料の課題 エー・アイ・ティ 加藤凡典
ラージエレクトロニクス関連市場への期待 野村総合研究所 近野 泰・西村祐介
プリンテッドエレクトロニクスの最新技術動向 DNKリサーチ 沼倉研史
SiP技術の最新動向と今後の展開 ルネサステクノロジ 菊池隆文
表面実装用クリームはんだの低コスト化 千住金属工業 島村将人・大西 司・吉川俊策
VOCフリーフラックス アサヒ化学研究所 高橋義之
導電性接着剤「TKペースト」 化研テック 市川絢子
RFID特殊対応タグとその使用例 ニッタ 吉田隆彦
廃電子基板の可溶化および貴金属・レアメタルの回収 産業技術総合研究所 加茂 徹
レーザ直接描画用に最適な全固体ＵＶレーザ コヒレント・ジャパン 山崎達三


新春アンケート 2010年のエレクトロニクス業界はどうなるか


連 載
【連載エッセイ】珠江デルタＬＥＤ事情（香港珠三角州灯ＬＥＤ）⑥ G.J.Tech 大西哲也
てくテク散歩帖⑲ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(195） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(79) 日本起業家新聞社 森野 進


展示会レポート
セミコン・ジャパン2009 編集部


国内スポット
産業NEWS BOX
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
読書室
技術トピックス
新製品ガイド


特別企画 ネプコン ジャパン２０１０誌上ガイド
① ネプコンジャパン2010の見どころ
② ネプコンジャパン／実装技術関連広告特集
③ 出展社一覧
④ 会場案内図（出展小間配置図）

特 集次世代電子ディスプレイの最新動向

有機EL材料の新たな可能性に向けて 九州大学 安達千波矢
フレキシブル有機ELディスプレイ NHK放送技術研究所 山本敏裕
有機ELディスプレイの市場動向と今後の展望 アイサプライ・ジャパン 増田淳三
低分子有機ＥＬ材料の最新動向 出光興産 荻原俊成
高分子有機ＥＬ材料の最新動向 住友化学 関根千津・津幡義昭・山田 武
有機ELパネルへのグラビア印刷技術の適用 大日本印刷 武田利彦
エレクトロスプレイデポジション法による有機EL製造プロセス 理化学研究所 山形 豊・朱 正明
有機EL製造装置の最新動向 長州産業 田尾鋭司
OLEDバックプレーン用TFTの最新技術動向 Ukai Display Device Institute 鵜飼育弘
レーザプロセスによるＯＬＥＤおよびＬＣＤの製造 コヒレント・ジャパン 大竹正敏


今月の人 キヤノン副社長 生駒俊明


連 載
【連載エッセイ】珠江デルタＬＥＤ事情（香港珠三角州灯ＬＥＤ）⑤ G.J.Tech 大西哲也
てくテク散歩帖⑱ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(194） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(78) 日本起業家新聞社 森野 進


展示会レポート
FPD International 2009 編集部


会議速報
SSDM2009国際学会報告 産業技術総合研究所 遠藤和彦・東北大学 寒川誠治


国内スポット
産業NEWS BOX
業界の動き
会社の動き
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読書室
技術トピックス
新製品ガイド


＜総目次＞ 「電子材料」２００９年 第４８巻 第１号～第１２号

【特集】化合物半導体の製造技術とデバイスへの応用

＜デバイス編＞
通信用フォトダイオードの技術動向 京セミ 大村悦司
InAsSbを用いた赤外線検出素子 浜松ホトニクス 須村大介・三宅崇之
SiC半導体デバイスの技術動向 ローム
光モジュール用パッケージの技術動向 住友金属エレクトロデバイス 築山良男
＜材料編＞
InP基板の最新技術動向 日鉱金属 桃井 元・野田 朗・栗田英樹・中村正志
化合物太陽電池用スパッタターゲット 高純度化学研究所 海野貴洋・安部秀吉
＜製造技術編＞
CZTS薄膜太陽電池の作製法と特徴 長岡工業高等専門学校 片桐裕則
化合物半導体製造用MOCVD装置 丸文 成毛祐一
ICPエッチング装置 サムコ 高橋宏行

一般記事

電源電圧の低減で実現する低消費電力携帯型電子機器 マイクロチップ・テクノロジー Aditya Rao
ドライ・ウェット・ハイブリッド枚葉処理装置による高ドーズイオン注入フォトレジスト剥離
Hattori Consulting International 服部 毅

連 載
【連載エッセイ】珠江デルタＬＥＤ事情（香港珠三角州灯ＬＥＤ）④ G.J.Tech 大西哲也
てくテク散歩帖⑰ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(193） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(77) 日本起業家新聞社 森野 進

展示会レポート
CEATEC JAPAN 2009 編集部
CIOE2009LED展と2009広州LED採購大会 G.J.Tech 大西哲也

技術トピックス
イーサネットの低消費電力化技術 マーベルセミコンダクター社
日本オルボテックが２４０面／ｈｒの生産性を実現した高速全自動ＬＤＩシステムを発表 編集部
三洋電機が超薄型ＨＩＴ太陽電池セルで変換効率22.8％を達成 編集部

会議速報
ＤＡシンポジウム２００９報告――ｼｽﾃﾑＬＳＩ設計技術とＤＡ―― 九州大学 石原 了

国内スポット
業界の動き
会社の動き
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新製品ガイド

【全冊特集】最先端電子機器を支えるプリント配線板技術

＜総 論＞
最先端高機能電子機器を支えるプリント配線板技術の最新動向 （高木技術士事務所）高木 清
【展示会レポート】 ネプコンサウスチャイナ G.J.Tech 大西哲也

＜材料・基材・配線板編＞
プリント配線板用層間絶縁フィルム 味の素ファインテクノ 真子玄迅
高機能ガラスクロス 旭化成イーマテリアルズ 吉川真士
ファインピッチ回路基板用ポリイミドフィルム「ポミラン」 荒川化学工業 濱澤晃久・合田秀樹
低誘電・高耐熱多層プリント配線板材料「MEGTRON4」 パナソニック電工 今井雅夫
低Agはんだ合金の高信頼性化およびソルダペースト 弘輝 入澤 淳
高放射率小型アルミナ平板による携帯機器搭載ＬＳＩの放射冷却法の検討
キヤノンマーケティングジャパン 品川啓介・西村陶業 西村元延・キヤノンマーケティングジャパン 廣川秀児・武藤康永

＜めっき・表面処理プロセス技術編＞
LED用高反射白色ソルダレジスト 太陽インキ製造 関本晃男
ビルドアップ絶縁樹脂用デスミア，銅めっきプロセス ローム・アンド・ハース電子材料 西脇裕之
CO2ダイレクトレーザ用銅表面処理「メックVボンドダイレクト」 メック 中村幸子

＜製造／試験装置・製造技術編＞
電子写真印刷法によるFPC基板のﾚｼﾞｽﾄﾀﾞｲﾚｸﾄｲﾒｰｼﾞﾝﾝｸﾞ装置 大日本スクリーン製造 田村 宏
デジタル露光システム「INPREX」 富士フイルム 平島卓哉
ステップ＆リピート投影露光装置「UX-5シリーズ」 ウシオ電機 友永竹彦
ファインパターン回路形成用レジスト技術･エッチング技術 三菱製紙 中川邦弘・金田安生
新型ＥＴ極薄研磨機 石井表記 増成誠治
微細穴あけ加工機「Xシリーズ」 碌々産業 杉浦雅光
基板穴あけ用レーザ加工機「ML605GTWⅢ-5200U」 三菱電機 佐藤東洋司
低VOC対応パレット洗浄システム「ﾊﾞﾚｯﾄｸﾘｰﾅｰ」 化研テック 上川路 優・小野 敏
ULF（ウルフ）コートの開発 ユニオンツール 津坂英夫・大内清明・星 幸義・風間悠作
光学式自動リペア（AOR）システム「PerFix /Ultra PerFix」 日本オルボテック 木村 泰

【特集】エレクトロニクス分野の検査・計測・解析技術の最新動向

＜総論＞
エレクトロニクス分野の検査・計測の最新動向 明星大学 水野文夫
LCDアレイ工程における歩留り管理技術 日本オルボテック 五十嵐大作
＜検査・計測技術編＞
CD-SEM「CG4000」および設計データ応用計測システム「DesignGauge」
日立ハイテクノロジーズ 栄井英雄
新機能付きエッジプロファイルモニタ コベルコ科研 赤松 勝
プリント配線板用外観検査システム「PI-9500」 大日本スクリーン製造 赤木祐司
＜解析・評価技術編＞
原子分解能分析電子顕微鏡「JEM-ARM200F」
日本電子 石川 勇・奥西栄治・堀まどか・寺尾光央・菅野正彦・丹波真一・山崎和也・沢田英敬・岡本公治・大藏善博・近藤行人
大型試料用SPM「Dimension Icon」 日本ビーコ 寺田 昇
ラマン分光測定装置「inVia ラマンマイクロスコープ」 レニショー 石沢憲章
ハロゲンフリー化に対応した電子材料中の塩素･臭素測定 三菱化学アナリテック 檢見﨑 潤
ArF液浸露光におけるリーチングの分析 リソテックジャパン 関口 淳
イメージング FT-IRによる微小異物分析 アイテス 山本陽一，連 晴美，多田勝己


一般記事

太陽光発電セルの製造工程におけるターボ分子ポンプの活用 大阪真空機器製作所 正司 毅


連 載
【連載エッセイ】珠江デルタＬＥＤ事情（香港珠三角州灯ＬＥＤ）③ G.J.Tech 大西哲也
てくテク散歩帖⑯ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(192） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(76) 日本起業家新聞社 森野 進

展示会レポート
第２０回マイクロマシン／ＭＥＭＳ展 編集部

会議速報
２００９ＶＬＳＩテクノロジーシンポジウム報告 パナソニック 丹羽正昭
２００９ＶＬＳＩサーキットシンポジウム報告 ＮＥＣ 水野正之

国内スポット
産業NEWS BOX
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
読書室
新製品ガイド

【誌上見本市】半導体製造装置・材料・周辺機器製品ファイル
――半導体デバイスの製造を支える製造装置，材料から周辺機器・部材，工場設備の製品情報が満載――

本誌では，８月号特集として，昨年に引き続き「【誌上見本市】半導体製造装置・材料・周辺機器製品ファイル」を企画しました。半導体デバイスの製造を支える製造装置，材料から周辺機器・部材，工場設備の製品情報を満載した特集号です。半導体デバイス製造に関連する製品の要素技術，特徴，仕様が簡潔にまとめられ，製品の技術ポイントが明確につかめるよう編集されています。今回から，太陽電池関連の製品情報欄を新設しました。以下の製品カテゴリーに分類されています。

① 半導体製造装置
② 半導体組立･実装装置
③ 半導体試験装置
④ 半導体周辺機器
⑤ 電子材料／半導体プロセス用材料
⑥ 電子部品
⑦ MEMS／マイクロマシン
⑧ その他関連機器･材料
⑨ 太陽電池関連製品



一般記事
多層基板・機能部品向け非熱曲線切断技術 ディスコ 立岩 聡


今 月 の 人 高演色性白色ＬＥＤの開発で究極の照明光源を実用化 山口大学教授 田口常正

連 載
【連載エッセイ】珠江デルタＬＥＤ事情（香港珠三角州灯ＬＥＤ）② G.J.Tech 大西哲也
てくテク散歩帖⑮ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(191） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(75) 日本起業家新聞社 森野 進

＜展示会レポート＞
PV Japan 2009 編集部

＜カメラルポ＞
パナソニックエコテクノロジーセンター 編集部

＜会議速報＞
ナノ学会第７回大会報告 東京大学 丸山茂夫・塩見淳一郎・千足昇平

国内スポット
産業NEWS BOX
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
読書室
新製品ガイド

特 集 １
新材料，新プロセスに対応する電子ディスプレイ
In-Cell化技術の動向と将来展望 UDDI 鵜飼育弘
ＩＴＯ膜代替ターゲットへの要求性能 日鉱金属 矢作政隆
タッチパネル用ペースト材料 太陽インキ製造 塩沢直行
次世代スパッタリング装置 アルバック 佐藤重光・石野耕司・市橋祐次・磯部辰徳
有機デバイスシミュレータ「setfos」
――有機ELと有機太陽電池のシミュレーション―― サイバネットシステム 川島一政

特 集 ２
ＭＥＭＳ技術のパッケージ分野への応用
ＭＥＭＳのウェハレベルパッケージング 東北大学 江刺正喜
集積化ＣＭＯＳ－ＭＥＭＳ技術とその応用 ＮＴＴアドバンステクノロジ 町田克之・
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 森村浩季・武藤伸一郎・佐藤康博
次世代パッケージ用薄膜材料の最新動向 アイパック 越部 茂


一般記事
超微細欠陥・可視化マクロ検査装置「Micro-MAXシリーズ」の特徴と応用 田中機販 中川健二

連 載
【連載エッセイ】珠江デルタＬＥＤ事情（香港珠三角州灯ＬＥＤ） G.J.Tech 大西哲也
てくテク散歩帖⑭ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(190） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(74) 日本起業家新聞社 森野 進

展示会レポート
JPCA Show 2009/2009マイクロエレクトロニクスショー/JISSO PROTEC 2009/06/09 編集部

会議速報
ホトマスクジャパン２００９報告 ルネサステクノロジ 細野邦博

技術トピックス
アイテスが断面からのエミッション発光解析とTEMによるLEDのリーク解析の手法を開発
編集部
パナソニック電工が低伝送損失、高耐熱プリント配線板用材料「MEGTRON４」を発売 編集部


国内スポット
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