特 集
応用分野を拡大するマイクロマシン製品／MEMS技術

MEMS技術の最新動向 ―東北大学におけるプロジェクト― 東北大学 江刺正喜
TIAの展望 産業技術総合研究所 渡邉政嘉・小森和宏・岩田 普・奥村 元・前田龍太郎・湯村守雄
物質・材料研究機構 中村和夫 産業技術総合研究所 永翁龍一・森本慎一郎
サスティナビリティ社会に向けたMEMS 加藤伸一
単一マスク回転傾斜露光技術の応用展開 香川大学 鈴木孝明
人工筋肉アクチュエータの応用展開 SRIインターナショナル 千葉正毅
水晶MEMSジャイロセンサ エプソントヨコム 宮澤輝久・菊池尊行・八鍬恵美
μTAS接着装置「SUS504」 ウシオ電機 森田金市
MEMS用CMPスラリー D-process 笹川博章・渡邉秀夫
蛍光測定を用いたUVナノインプリント用樹脂の最適露光量の検討 リソテックジャパン 関口 淳
MEMSファウンドリーの展開 アルバック 不破 耕

一般記事
MOSFETとプリドライバのマッチング ON Semiconductor Bob Fugere

連 載
てくテク散歩帖(25) 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(201） グローバルネット 武野泰彦
【連載】開発工学における知財戦略
＜第4回＞カラオケの真の発明者は 馬場国際特許事務所 馬場玄式
ベンチャー企業の実像を探る(85) 日本起業家新聞社 森野 進

＜展示会レポート＞
JPCA Show 2010／ラージエレクトロニクスショー 2010／
2010マイクロエレクトロニクスショー／JISSO PROTEC 2010 編集部

＜会議速報＞
ホトマスクジャパン 2010 報告 凸版印刷 小西敏雄

＜技術トピックス＞
高純度化学研究所が本社新工場を稼働し短納期化を推進 編集部


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