電子材料 発売日・バックナンバー

特 集 １
太陽光発電技術の最新動向
薄膜系化合物太陽電池の最新動向
――CIS太陽電池の製造プロセスを中心に―― 龍谷大学 和田隆博
色素増感太陽電池の最新動向 桐蔭横浜大学 宮坂 力
ＳＰＤ法による色素増感太陽電池製造技術 ＳＰＤ研究所 金子正治
有機薄膜太陽電池向けドナー材料 東レ 北澤大輔
集光型太陽電池の最新動向 大同特殊鋼 荒木建次・大同興業 三溝裕司
量子ﾄﾞｯﾄ増感太陽電池の開発動向 電気通信大学 豊田太郎・沈 青

特 集 ２
プリンテッド・エレクトロニクス最前線
プリンテッド・エレクトロニクスの展望 ＤＫＮリサーチ 沼倉研史
スクリーン印刷技術の最前線 エスピーソリューション 佐野 康
銀ナノ粒子による焼成不要の電子回路配線技術 三菱製紙 志野成樹
銅ナノ粒子を用いた配線形成技術 大日本印刷 北條美貴子
インクジェット印刷技術による有機デバイス 富山大学 岡田裕之・中 茂樹


【連 載】
てくテク散歩帖⑬ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(189） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(73) 日本起業家新聞社 森野 進


展示会レポート
第４回RFIDソリューションEXPO 編集部


カメラルポ
エコアイディアハウス 編集部


技術トピックス
個別半導体と受動部品の分野で幅広い製品群を有するビシェイ社 編集部
帝国データバンクが太陽電池関連企業の実態調査を実施 編集部


国内スポット
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
産業NEWS BOX
読書室
新製品ガイド

【特集】ＣＭＰ平坦化技術／極薄ウェハ加工の最新動向

＜総 論＞
ＣＭＰ平坦化加工技術の最新動向 九州大学 土肥俊郎・黒河周平
めっきとCMPプロセスの最新技術動向
――hp22nm世代に向けためっきと研磨の実現解 荏原製作所 辻村 学

＜ＣＭＰ／極薄ウェハ加工編＞
半導体ウェハトリートメント装置「EAC３００bi-hp」 荏原製作所 小野澤益信
極薄ウェハの研削と研磨技術 ラップマスターSFT 鈴木幹雄
ＣＭＰ受託加工･生産サービス D-process 笹川博章

＜ＣＭＰ／極薄ウェハプロセスを支える機器･材料編＞
Ｃｕ／バリア膜ＣＭＰ用スラリー 日立化成工業 小山直之
砥粒規則配列のＣＭＰコンディショナ 旭ダイヤモンド工業 水谷圭一
Cu/Low-k用CMP後洗浄液 関東化学 持田耕平

＜ＴＳＶ技術編＞
TSVプロセス対応バックグラインダ「GDM300」 岡本工作機械製作所 宮﨑生成
貫通電極形成における高速Ｖｉａめっき技術 日立協和エンジニアリング 門田裕行
3次元積層用電極形成プロセスを一貫サポートするＴＷＳＳ 信越ポリマー 田中清文


今月の人
プリンデッド･エレクトロニクス市場拡大に無限の可能性 大阪大学産業科学研究所教授 菅沼克昭氏


一般記事

半導体デバイスの歩留りに対するノンビジュアル欠陥（NVD）の影響
Qcept Technologies社 ラルフ・スパイサー
【連 載】
てくテク散歩帖⑫ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(188） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(72) 日本起業家新聞社 森野 進

展示会レポート
第１９回ファインテック・ジャパン 編集部
先端技術館＠ＴＥＰＩＡ 編集部

技術トピックス
ダウ･ケミカルが電子積層板向けエポキシ特殊樹脂「プロロジック」を開発 編集部
KLA-Tencorが３２nmノード対応全平面レチクル検査装置を開発 編集部
菱化ｼｽﾃﾑがﾘｱﾙｶﾗｰ３D表示を標準装備した非接触表面･層断面形状計測システムを開発 編集部

会議速報
SPIE Advanced Lithography 2009報告 極端紫外線露光システム技術開発機構（EUVA） 笠間邦彦


国内スポット
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
産業NEWS BOX
読書室
新製品ガイド

特 集 ビギナーのための「よくわかる次世代照明技術」
――高輝度ＬＥＤを支える材料・製造装置から応用まで
＜総論＞
高輝度ＬＥＤの開発と次世代白色照明技術 山口大学 田口常正
次世代照明市場動向 野村総合研究所 前原孝章
中国でも注目のLED照明技術――LED China 2009／第５届（回）広州国際LED展覧会
G.J.Tech 大西哲也
ＬＥＤの発光原理と関連材料 早稲田大学 一ノ瀬昇 ・ 物質・材料研究機構 島村清史
＜製造装置＞
ＬＥＤ向け量産用ドライエッチング装置 アルバック 岡 正
高輝度ＬＥＤ製造へのナノインプリント技術の適用と専用装置の開発 東芝機械 小久保光典
白色ＬＥＤ用蛍光体樹脂充填スクリーン印刷機 ミナミ 村上武彦
ＬＥＤ印刷封止とレンズ形成工法 サンユレック 奥野敦史
＜ＬＥＤ部品･材料編＞
高出力パワーＬＥＤに対する高効率設計に関するモデリング アバゴ・テクノロジー Oon Siang Ling
高発熱ＬＥＤ用複合材料 アイパック 越部 茂
波長変換キャップを用いた白色ＬＥＤの特長と応用 朝日ラバー 市川 明
ＬＥＤ実装向けIMST基板 三洋半導体 草部隆也
サイン向け導光板「サンロイドルミキング」 住友ベークライト 山口恭宏
＜ＬＥＤ応用編＞
ＬＥＤ照明器具「LIFELED’S」 ＮＥＣライティング 三好知明
バータイプＬＥＤ照明「SpectraTrue」 モリテックス 岩本俊夫
直管型ＬＥＤ照明機器「美蛍」 東神電気 長坂明彦
電球型ＬＥＤランプ ＬＥＤフィラメント電球「Let」 ウシオライティング 松岡智巳
白色ＬＥＤバックライト搭載カラー液晶モジュール NEC液晶テクノロジー 前田一郎

一般記事
セラミックス基板の革新的レーザ加工技術
――ＴＬＳ加工原理と応用，プロセス変更の可能性 リッカーマン 林 俊夫
【連 載】
てくテク散歩帖⑪ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(187） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(71) 日本起業家新聞社 森野 進

展示会レポート
nano tech 2009 編集部
PV EXPO 2009 編集部

技術トピックス
三洋電機などが高い導電率を実現した導電性高分子膜の新製法を開発 編集部
目白プレシジョンが新コンセプトのステッパ「応用露光機」を開発 編集部
ディスコがウォータジェットを用いた加工アプリケーションを提案 編集部
テクノアルファが実装工程でボイドを少なくする蒸気圧真空リフロー装置を販売 編集部

会議速報
Mate2009報告 大阪大学 岩田剛治

国内スポット
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
産業NEWS BOX
読書室
新製品ガイド

全 冊 特 集
45nm／32nm世代の半導体製造・試験装置

＜総論＞
半導体製造装置産業の最新展望 野村證券 和田木哲哉
32nmノード以降の計測技術 富士通マイクロエレクトロニクス 河村栄一

＜半導体製造装置･周辺機器＞
エッチング洗浄技術「ﾍﾞﾍﾞﾙｴｯﾁﾝｸﾞﾁｬﾝﾊﾞ（BEC）」 大日本スクリーン製造 李 年慶
新型レジスト／残渣除去装置「ENVIRO-Xceed400」
アルバック 小風 豊 ・ULVAC Technologies Paul Diamond ・ アルバック Han Xu ・ 鄒 弘綱
擬似リモートプラズマＣＶＤ装置「ＭＡＰＬＥ」 三菱重工業 嶋津 正
絶縁膜エッチング装置「Enabler E5」 アプライドマテリアルズ Jong Mun Kim 他
ハードマスク／シリコン用エッチング装置「M-8170XT」 日立ハイテクノロジーズ 京田良彦
枚葉式高エネルギーイオン注入装置「Optima XE」 アクセリステクノロジーズ 佐藤 修
貫通電極形成用ウェハハンドリングシステム「ゼロニュートン」に対応した
300mmシリコンウェハ用量産装置「TWM12000シリーズ／TWR12000シリーズ」 東京応化工業 大箭哲史

＜半導体試験･検査・分析装置＞
FIB-SEM-ArB複合装置「トリプルビーム」
エスアイアイ・ナノテクノロジー 藤井利昭・山本 洋・鈴木秀和
32/22nmノードをターゲットにした超薄膜対応自動膜厚計「UTFTA-200」 リソテックジャパン 関口 淳
ウェハ外観検査装置「インスペクトラ7000SR/3000SRシリーズ」 東レエンジニアリング 山本比佐史
極高分解能イメージング装置「Magellan」 日本エフイー・アイ 鈴木直久
次世代エネルギー変換デバイス用ALDバルブ
スタンフォード大学 Tim Holme ・ Fritz Prinz・ スウェージロック社 John Baxter

＜半導体プロセス用材料＞
半導体用ＰＶＤ・ＣＶＤ・ＡＬＤ材料 高純度化学研究所 東 慎太郎・鈴木正和
次世代Ｈｉｇｈ－ｋ材料 ADEKA 和田仙二
ＴＳＶ対応平坦化ＣＭＰとそのスラリー
D-process 笹川博章・協同インターナショナル 丸岡 聡・伊藤忠プラスチックス 福島 浩


展示会レポート
ネプコンワールドジャパン 編集部


新製品ガイド

【特集1】太陽電池の製造技術

太陽電池用高品質シリコンバルク多結晶の製造技術
東北大学 宇佐美徳隆・藤原航三・沓掛健太朗・中嶋一雄
薄膜太陽電池一貫ライン アルバック 砂賀芳雄
薄膜系太陽電池向け計測技術 大日本スクリーン製造 杉本克雄

太陽電池関連ＮＥＷＳ 編集部


【特集2】ナノテクノロジーと微細加工技術

Floor cushion processによるＵＶナノインプリントにおけるNano-imprint残膜厚の均一化技術
リソテックジャパン 関口 淳
ナノインプリント用モールドの開発状況 NTT-ATナノファブリケーション 増田 修
インクジェット技術の最新動向 大阪大学 菅沼克昭
ナノコーティング技術の最新動向――ウェットプロセスナノコーティングと応用技術
慶應義塾大学 白鳥世明
フェムト秒レーザによる微細加工技術 北海道大学 三澤弘明



今 月 の 人 超ＬＳＩ共同研の体験踏まえ内外の共同研究プロジェクトを検証
武田計測先端知財団常任理事 垂井康夫

【連 載】
てくテク散歩帖⑩ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(186） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(70) 日本起業家新聞社 森野 進


技術トピックス
インテルが2009年度の経営方針と製品戦略を発表 編集部
アルバックがXPSにGCIBを搭載し，低損傷深さ方向の表面分析を実現 編集部
ルネサスが車載情報端末向けに画像処理機能内蔵のデュアルコアSoCを製品化 編集部
東北大 小柳教授が異種デバイスを一括搭載するシステム集積化技術を開発 編集部


国内スポット
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
新製品ガイド
産業NEWS BOX
読書室

【特集】カーエレクトロニクス技術の現状と将来展望
自動車の電磁環境とデバイス設計 カルソニックカンセイ 冨永 保
車載向け画像認識技術 ルネサステクノロジ 廣川祐介
次世代の車載ＬＡＮ「FlexRay」の最新動向 ベクター・ジャパン 丹野清嗣
世界の車載情報端末・ITSサービスの動向 野村総合研究所 阿波村 聡
丸文とフリースケールの協業によるカーエレクトロニクスの事業戦略 編集部


【特設記事】実装プロセス･材料の最新動向
ポリマー抵抗体内蔵プリント配線板の技術動向 アサヒ化学研究所 師岡 功
樹脂CMPを用いたウェハレベル多層配線技術 NEC 菊池 克
３次元ポリマー導波路の製造とその応用 富士通コンポーネント 大工原 治
2軸補正Ｘ線基準穴あけ機 モトロニクス 菅 康慈




【新春アンケート】 2009年のエレクトロニクス業界はどうなるか

【連 載】
＜連載エッセイ＞太陽光発電ノート
[第10回]産総研太陽光発電研究センターのミッション 産業技術総合研究所 仁木 栄
てくテク散歩帖⑨ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(185） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(69) 日本起業家新聞社 森野 進


展示会レポート
セミコン・ジャパン２００８ 編集部

技術トピックス
NEDOがhp32nm以降向けLow-k膜の実用化技術を開発 編集部
アルバックが薄膜リチウム2次電池の一貫量産技術を開発 編集部


国内スポット
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
産業NEWS BOX
読書室
新製品ガイド


＜特別企画＞ネプコンワールドジャパン２００９誌上ガイド
① ネプコンワールドジャパン2009の見どころ
② ネプコンワールドジャパン/実装技術関連広告特集
③ 実装技術レビュー
④ 出展社一覧
⑤ 会場案内図（出展小間配置図）

【特集】電子ディスプレイの製造を支える最新技術

電子ディスプレイの市場動向 アイサプライ・ジャパン 増田淳三
電子ペーパーディスプレイ「QR-LPD」の開発動向と応用 ブリヂストン 田辺逸夫
大型ガラス基板露光装置 日立ハイテクノロジーズ 南 博文
小型液晶向け真空貼り合わせ装置 芝浦メカトロニクス 横田典之・白川義広
大型ガラス基板非接触搬送装置 ソーラーリサーチ研究所 明石 博
自動2次元・3次元座標測定機 ソキアファインシステム 高野彰久
＜ＦＰＤ関連ＮＥＷＳ＞ 編集部

一般記事
完全ＳＰＭレス枚葉洗浄装置 富士通マイクロエレクトロニクス 佐藤俊哉



今 月 の 人 エレクトロニクス実装学会・会長 塚田 裕 氏


連 載
【連載エッセイ】 太陽光発電ノート
＜第１０回＞産総研の太陽光発電研究センターのミッション 産業技術総合研究所 仁木 栄
てくテク散歩帖⑧ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(184） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(68) 日本起業家新聞社 森野 進


展示会レポート
FPD International 2008 編集部


会議速報
SSDM2008報告 半導体先端テクノロジーズ 最上 徹

国内スポット
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
技術トピックスス
産業NEWS BOX
読書室
新製品ガイド

総目次 『電子材料』2008年 第４７巻 第1号～第12号

【特集】エレクトロニクス分野の環境技術と環境計測

家電製品の省エネルギー技術 パナソニック 佐藤成広
家電製品の省エネルギーに貢献するパワーデバイス 三菱電機 ゴーラブ・マジュムダール ・ 岩上 徹
半導体工場における温室効果ガス（ＰＦＣ）排出削減技術 カンケンテクノ 塚田 勉
ケミカルフィルタを用いた化学汚染物質の除去技術 ダン・タクマ 吉澤 巌
半導体業界における気中，ガス中および液中パーティクルカウントの進化 近藤工業 須川政人
電子回路基板における蛍光X線装置を使った新たな評価法 ｴｽｱｲｱｲ･ﾅﾉﾃｸﾉﾛｼﾞｰ 金本征代
次世代環境対応鉛フリーはんだ技術 弘輝 入澤 淳
新たに動き始めたEuP指令とは何か？ 日本環境技術推進機構 青木正光


一般記事

可視発光機能を付加したナノシリコン粒子の製造法とその応用 物質･材料研究機構 佐藤慶介
樹脂コアバンプ付きマイクロ配線技術 ミクロ技術研究所 佐郡裕行

今 月 の 人
確かな先見力と実践力で太陽光発電新時代を切り開く 太陽光発電技術研究組合 桑野幸徳 氏

連 載
【連載エッセイ】 太陽光発電ノート
＜第9回＞連載開始からの1年間で太陽光発電を取り巻く状況はどのように変わったか
産業技術総合研究所 増田 淳
てくテク散歩帖⑦ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(183） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(67) 日本起業家新聞社 森野 進

展示会レポート
CEATEC JAPAN 2008 編集部

技術トピックス
東北大 小池教授が大画面液晶配線技術を低抵抗Cu合金で形成 編集部
NECELが半導体ものづくり推進センターにて保全技能の人材育成を強化 編集部
インベラ社の統合モジュール・ボード（ＩＭＢ）技術 編集部
サーモフィッシャーが分析の高度化に向け新製品を投入 編集部
新日本無線がAFレンズ位置検出に最適なフォトリフレクタを開発 編集部


国内スポット
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
産業NEWS BOX
読書室
新製品ガイド

【全冊特集】高密度化・高機能化進むプリント配線板技術

＜総 論＞
高密度化・高機能化進むプリント配線板の最新技術動向 高木技術士事務所 高木 清
カーエレクトロニクスの動向とそれを支える実装技術 デンソー 神谷有弘
RFID特殊対応タグ用シート ニッタ 吉田隆彦

＜材料・基材・配線板編＞
低スティフネス性ハロゲンフリーカバーレイ 京セラケミカル 新楽 尚
低反発FPC フジクラ 荒木祐一
次世代薄型パッケージ基板用低熱膨張材料「MCL-E-679GT」
日立化成工業 高根沢伸･森田高示・坂井和永・竹越正明
自動車電子部品用接着・シーリング材／ポッティング材 旭化成ワッカーシリコーン 神谷正人
低熱膨張・高弾性率ガラスエポキシ樹脂銅張積層板 利昌工業 西口賢治
高機能薄型多層FPC 日本メクトロン 高野祥司

＜めっき・表面処理プロセス技術編＞
最新型極薄研磨機「HS-700シリーズ」 石井表記 矢田芳広
水平装置を使用したスルーホールフィリング技術 アトテックジャパン 藤原俊弥
完全鉛フリー最終表面処理「メルプレートNi/Pd/Auプロセス」 メルテックス 田嶋和貴
配線材料の高機能化を支える表面処理剤および表面処理技術 日鉱金属 相場玲宏・大内高志
プラズマ処理システム「TAIKAI」 荏原ユージライト 上山浩幸

＜製造装置・試験装置編＞
ハイグレードＳＭＴ用スクリーン印刷機「MK888svMA」 ミナミ 白石陽二
ステップ＆リピート投影露光装置「UX-5シリーズ」 ウシオ電機 友永竹彦
ディジタルダイレクト露光機 日立ビアメカニクス 入江 明
プリント配線板穴あけ用CO2レーザ加工機 三菱電機 本木 裕
プリント配線基板専用CNC超高速精密外形加工機「Σ-Rシリーズ」 碌々産業 天野知典
新型モジュラーマウンタNPM パナソニックファクトリーソリューションズ 永尾和英
モジュール型高速多機能装着機「NXTⅡ」 富士機械製造 服部友彦
次世代インテリジェントモジュラー「YSシリーズ」 ヤマハ発動機 花村直己
自動欠陥修正装置「PerFix」 日本オルボテック 木村 泰

【特集】電子材料の製造・評価技術
スパッタリングターゲットの製造技術 日鉱金属 福世秀秋･矢作政隆・鈴木 了・栗原敏也
高機能バイオプラスチックの開発と電子機器への応用 ＮＥＣ 位地正年
電磁波吸収ナノコンポジット 日立製作所 日高貴志夫
湿式微粒化装置「スターバースト」によるナノ電子材料の微粒化 スギノマシン 原島謙一
高周波誘電率測定装置 エーイーティー 大舘康彦
プリント配線板の信頼性評価技術 ＩＭＶ 川田浩二・徳光芳隆

＜特設記事＞真空技術の応用事例
メタリック不導体成膜スパッタリング装置 アルバック 橋本雄介・桃野 健・多田 勲
次世代真空ポンプ（ドライポンプ） エドワーズ 樋掛正俊


一般記事
エレクトロニクスにおけるグリーンデザイン
DSMエンジニアリングプラスチックス Tamim P. Sidiki・Ine Cox・Rinus de Vos
多彩な応用分野で成長するタッチスクリーン市場
米アイサプライ ジェニファー・コールグローブ ・ アイサプライジャパン 増田淳三


今 月 の 人 ＮＯＲ型を中心に各種メモリを手掛け，最適セットを提供
ニューモニクス社ＣＥＯ ブライアン･ハリソン（Brian Harrison）氏

連 載
【連載エッセイ】 太陽光発電ノート
＜第８回＞世界各国で太陽光発電の普及にはどのような取り組みがなされているか
産業技術総合研究所 大関 崇
てくテク散歩帖⑥ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(182） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(66) 日本起業家新聞社 森野 進

展示会レポート
PV Japan2008 編集部

技術トピックス
ＡＭＡＴのソーラー事業戦略 編集部
インドにおける太陽光発電 編集部
パワー半導体製品のはんだ付けに最適な真空リフロー装置 テクノアルファ 松村勝正

会議速報
２００８ＶＬＳＩテクノロジーシンポジウム報告 松下電器産業 丹羽正昭
２００８ＶＬＳＩサーキットシンポジウム報告 ＮＥＣ 水野正之


国内スポット
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
産業NEWS BOX
読書室
新製品ガイド

【誌上見本市】
半導体製造装置・材料・周辺機器製品ファイル

――半導体デバイスの製造を支える製造装置，材料から
周辺機器・部材，工場設備の製品情報が満載――

本誌では，８月号特集として，昨年に引き続き「【誌上見本市】半導体製造装置・材料・周辺機器製品ファイル」を企画しました。半導体デバイスの製造を支える製造装置，材料から周辺機器・部材，工場設備の製品情報を満載した企画です。半導体デバイス製造に関連する製品の要素技術，特徴，仕様が簡潔にまとめられ，製品の技術ポイントが明確につかめるよう編集されています。以下の製品カテゴリーに分類されています。


① 半導体製造装置
② 半導体組立･実装装置
③ 半導体試験装置
④ 半導体周辺機器
⑤ 電子材料／半導体プロセス用材料
⑥ 電子部品
⑦ MEMS／マイクロマシン
⑧ その他関連機器･材料


今 月 の 人 ステッパの実用化に賭けた精密機械技術者の心意気
ニコン相談役 吉田庄一郎氏


連 載
【連載エッセイ】 太陽光発電ノート
＜第７回＞ 太陽電池性能の評価技術と現状 産業技術総合研究所 菱川善博
てくテク散歩帖⑤ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(181） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(65) 日本起業家新聞社 森野 進

＜展示会レポート＞
Bio Fuels World 2008 編集部

＜技術トピックス＞
第１５回ＬＳＩ・オブ・ザ・イヤー２００８ 編集部
低融点鉛フリーはんだ（BiSn42）とはんだ量管理 テクノアルファ 松村勝正
オスラム社照明事業戦略 編集部

＜会議速報＞
第５回有機分子エレクトロニクスに関する国際シンポジウム報告 兵庫県立大学 多田和也

業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
読書室
新製品ガイド

特集１ 電子ディスプレイと有機エレクトロニクス

有機半導体材料のデバイスへの応用 千葉大学 工藤一浩
電子ディスプレイ材料の基盤技術（液晶と有機ＥＬ） 元･チッソ 多羅尾良吉
有機ELディスプレイの市場動向 アイサプライ･ジャパン 増田淳三
次世代ﾃﾞｶｯﾌﾟﾘﾝｸﾞﾃﾞﾊﾞｲｽ「ﾌﾟﾛｰﾄﾞﾗｲｻﾞ」小型品の特徴と応用 ＮＥＣトーキン 坪田一成
有機エレクトロニクス･ディスプレイ関連材料 シグマアルドリッチジャパン 吉田優香
液晶ディスプレイ用光学部材の開発動向 日本ゼオン 荒川公平・宮城孝一・小西一郎・堀 登志彦


特集２ ＭＥＭＳ技術を活かした製品開発

MEMS技術の最新動向 東北大学 江刺正喜
MEMS技術を用いたマイクロデバイス開発 山武 木村重夫・図師信彦･米田雅之
波長可変型大面積ＬＩＧＡプロセスの開発と高輝度液晶バックライトユニットへの応用
兵庫県立大学 内海裕一
MEMSファウンドリーサービスとMEMES開発実例 松下電工 岡 直正
光MEMS技術を用いた光配線用受発光素子アレイ 浜松ホトニクス 奥山欣宏･牧野健二
熱型マイクロ温度センサ 東北学院大学 木村光照


今 月 の 人 次世代コンセプトを提案する新しい製造装置メーカーを目指す
リンクスタージャパン社長 亀井政行 氏

連 載
【連載エッセイ】 太陽光発電ノート
＜第６回＞太陽光発電システムに求められる価値の変化 産業技術総合研究所 小西正暉
てくテク散歩帖④ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(180） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(64) 日本起業家新聞社 森野 進


＜展示会レポート＞
ＪＰＣＡ Ｓｈｏｗ２００８ 編集部


＜技術トピックス＞
松下ホームアプライアンス社が「環境宣言」 編集部
アルミナ粒子からのCNC丸刈り採取を可能にしたサワーナノコレクターを開発 編集部
ＪＵＫＩが高速モジュラーマウンタを発売 編集部

＜会議速報＞
ホトマスクジャパン２００８報告 ルネサステクノロジ 細野邦博

国内スポット
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
新製品ガイド
産業NEWS BOX

【特集】半導体・電子デバイス・FPD分野の検査・計測技術

＜解析・検査技術編＞
高輝度放射光SPring-8のエレクトロニクス計測・解析への活用 高輝度光科学研究センター 渡辺義夫
テスト・システム「T2000」 アドバンテスト 藤井康雄
半導体故障解析と光技術 浜松ホトニクス 平井伸幸
電子光学機器による最新の観察･分析技術 日本電子 小野昭成
電子材料分野におけるFRIRのアプリケーション 島津製作所 土渕 毅
電子ディスプレイの解析技術――低温ポリシリコンの解析について―― アイテス 北川みゆき・高橋真治
＜計測・検査機器編＞
新発想の積層マルチコンタクトプローブ 清田製作所 清田茂男・MTS 土井良彦
層流エレメントと音速ノズルエレメントを利用した質量流量測定装置 大手技研 大手孝悦
粒度・形状分布測定器「PITA-1」 セイシン企業 大角道夫
非接触計測・測定装置「CHRocodile」 プレシテック・ジャパン 御堂河内広宗

基礎解説
ＴＥＧから学ぶ 半導体評価の基礎
――配線プロセスを中心に―― 次世代半導体材料技術研究組合（CASMAT） 滝本嘉夫


今 月 の 人 わが国半導体のシニアを結集して早くも10周年を迎える
半導体シニア協会会長 川西 剛 氏

連 載
【連載エッセイ】 太陽光発電ノート
＜第５回＞未来の太陽電池にはどのようなものがあるか 産業技術総合研究所 斉藤和裕
てくテク散歩帖③ 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(179） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(63) 日本起業家新聞社 森野 進

＜展示会レポート＞
富士通フォーラム２００８ 編集部

＜技術トピックス＞
エルピーダとキマンダが技術提携し4F2 DRAMセルを共同開発 編集部

＜会議速報＞
エレクトロニクス実装学会講演大会報告 高木技術士事務所 高木 清


国内スポット
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
産業NEWS BOX
新製品ガイド
読書室

【特集】半導体プロセス技術最前線
――ＣＭＰ・多層配線技術／Ｓｉ貫通電極プロセス――

＜総 論＞
ＣＭＰ／Low-kインテグレーション技術の最新動向 荏原製作所 辻村 学
＜注目技術①＞CMP・多層配線技術
ストラスバー社製ＣＭＰ装置の特徴 ティーピーエスシステム 犬塚 仁
ＣＭＰ用スラリーの最新動向 フジミインコーポレーテッド 平野達彦・赤塚朝彦
ＣＭＰスラリーの最新管理テクノロジー
野村マイクロ・サイエンス 池嶋規人・阿部 嗣・飯山真充・船越考雄
ＣＭＰインテグレーションプロセスの効率・収率向上への挑戦
ＡＴＭＩジャパン 鈴木 肇・三洋化成工業 小木曽直人
＜注目技術②＞Ｓｉ貫通電極プロセス
シリコン貫通電極（TSV）の製作プロセスと問題点 長野県工科短期大学校 傳田精一
プラズマ加工を用いたダイシング工法 パナソニックファクトリーソリューションズ 針貝篤史
貫通電極エッチング深さ検査装置「WASAVIシリーズTSV300」 レーザーテック 達本剛隆
薄厚ウェハの検査ソリューション 編集部

【一般記事】
ＳＥＭＩ教育プログラム「第２回ハイテク･ユニバーシティin 茨城」 編集部
「先端技術館＠TEPIA」――新しいスタイルの体験･体感型の展示館 編集部

今 月 の 人 ＨＰ，アジレントから伝わる半導体テストソリューションを提供
ヴェリジー社長 佐藤憲二氏
連 載
【連載エッセイ】 太陽光発電ノート
＜第４回＞ シリコン原料の不足にどのように対処するか 産業技術総合研究所 荒谷復夫
てくテク散歩帖② 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(178） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(62) 日本起業家新聞社 森野 進

＜展示会レポート＞
第18回ファインテック・ジャパン（フラットパネルディスプレイ研究開発・製造技術展） 編集部

＜技術トピックス＞
超低消費電力リフロー炉を開発したエイテックテクトロン 編集部
アルバックが３００ｍｍウェハ対応ＣＮＴ成膜装置を開発 編集部

＜会議速報＞
Ｍａｔｅ２００８報告 大阪大学 岩田剛治
Ｍ＆ＢＥ研究会～有機ストレージ・メモリーの将来展望～報告 産業技術総合研究所 吉田郵司

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【特集】ビギナーのための「よくわかる太陽光発電」
＜総論＞
新たな飛躍の時代を迎えた太陽光発電 太陽光発電技術研究組合 桑野幸徳
日本の太陽光発電システム本格普及に向けての針路 資源総合システム 一木 修
世界の太陽光発電システムの市場動向と企業分析 ジェイスター 豊崎禎久
2030年に向けた太陽光発電ロードマップ（PV2030） 新ｴﾈﾙｷﾞｰ・産業技術総合開発機構 松原浩司
＜種類別太陽電池の動向＞
太陽電池の種類と特徴 シャープ 佐賀達男
多結晶シリコン太陽電池の技術動向 三菱電機 有本 智
球状シリコン太陽電池の技術動向 京セミ 熊谷直人
印刷で作るプラスチック色素増感太陽電池モジュール 桐蔭横浜大学 宮坂 力
ナノ構造酸化亜鉛めっき膜とカラフル有機色素を用いたプラスチック太陽電池 岐阜大学 吉田 司
＜太陽電池の製造技術・評価装置＞
太陽電池ウェハ製造ライン 石井表記 坂田暢正
太陽電池モジュール製造ライン「SunFab Thin Film Line」 ｱﾌﾟﾗｲﾄﾞﾏﾃﾘｱﾙｽﾞｼﾞｬﾊﾟﾝ 佐藤辰哉
太陽電池製造向けスクリーン印刷機 西進商事 阪本 淳
エッジデリーション工程に最適な薄膜スクライバ装置 ミヤチテクノス 三浦栄朗
ロッドレンズを用いたアモルファスSi用ソーラーシミュレータ 朝日分光 三浦いずみ
太陽光発電効率評価装置（ＩＶカーブトレーサー） 英弘精機 千葉 勇
＜太陽電池用部品・材料＞
太陽電池用材料 デンギケン 杉本榮一
表面電極用銀ペースト 三菱マテリアル 植杉隆二
太陽電池の発電効率を向上させる微細凹凸チタニア膜形成技術 ｻｽﾃｨﾅﾌﾞﾙ・ﾃｸﾉﾛｼﾞｰ 緒方四郎

今 月 の 人 ハイエンドのＣＭＯＳイメージセンサ市場で主導権狙う
ＣＭＯＳＩＳ社社長（ＣＥＯ） ギー・メイナンツ（Guy Meynants）氏

連 載
【連載エッセイ】 太陽光発電ノート
＜第３回＞太陽電池にはどのような種類があるか？ 産業技術総合研究所 坂田 功
新企画 てくテク散歩帖① 技術コンサルタント 鵜飼育弘
マーケットＩＮＤＥＸ(177） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(61) 日本起業家新聞社 森野 進

＜展示会レポート＞
PV EXPO 2008（第1回国際太陽電池展） 編集部
nano tech2008（国際ナノテクノロジー総合展･技術会議） 編集部

＜会議速報＞
発光型／非発光型ディスプレイ合同研究会報告 NHK放送技術研究所 田中 克


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