目次
特 集 ビギナーのためのＭＥＭＳ設計・製造技術
＜総 論＞
MEMSデバイスの基礎 東京大学 藤田博之
MEMS設計を支援する「Mems ONEシステム」 マイクロマシンセンター 廣部嘉道
＜製造技術編＞
MEMS向けフォトリソグラフィプロセス ウシオ電機 川北正人
MEMS工程中のCVD成膜 メムス・コア 宮崎 勝
深堀りプロセス 住友精機工業 田中雅彦
犠牲層エッチング 豊田中央研究所 島岡敬一
貫通電極形成 キヤノンアネルバ 松橋 亮・小出知昭・関口 敦
MEMS用CMPプロセス トーメンテクノソリューションズ 石阪正樹・エム・エー・ティー 中原 司
MEMS用CMPスラリー D-process 土肥英之・堀本 卓
陽極接合 ピーエムティー 荻野和也
MEMS実装工程 フジクラ 末益龍夫
MEMS検査工程 富士電機システムズ 友高正嗣
MEMSデバイスのウェハレベルテスト 東京エレクトロン 八壁正巳・東京エレクトロンAT 池内直樹
今 月 の 人 田端輝夫氏
三洋半導体社長（三洋電機 常務執行役員）
一般記事 高いバリア性を有する透明バリアフィルム「IBフィルム」 大日本印刷 三上浩一
連 載
プラズマテレビで眺めてみれば⑦ 内池平樹
マーケットＩＮＤＥＸ(163） グローバルネット 武野泰彦
ベンチャー企業の実像を探る(47) 日本起業家新聞社 森野 進
半導体製造の基礎知識⑦ 寺子屋みほ 宇津木 勝
展示会レポート
２００６実装プロセステクノロジー展 編集部
会議速報
APAC-SILICIDE2006報告 静岡大学 立岡浩一
第17回磁性国際会議（ICM2006）報告 東北大学 田口康二郎
産業NEWS BOX
国内スポット
業界の動き
会社の動き
商品の履歴書
技術トピックス
読書室
新製品ガイド
商品情報・内容
- 出版社：工業調査会
- 発行間隔：月刊
- サイズ：B5
■ 半導体デバイス・部品・材料と実装技術、ＦＰＤの専門技術誌
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