電子材料 2007年11月号 (発売日2007年10月28日) 表紙
  • 雑誌:電子材料
  • 出版社:工業調査会
  • 発行間隔:月刊
  • サイズ:B5
電子材料 2007年11月号 (発売日2007年10月28日) 表紙
  • 雑誌:電子材料
  • 出版社:工業調査会
  • 発行間隔:月刊
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電子材料 2007年11月号 (発売日2007年10月28日)

工業調査会
特 集
マイクロマシン/MEMSの量産を支える設計・製造技術

<総論>
MEMS技術の動向と課題 産業技術総合研究所 前田龍太郎
MEMS産業の現状--MEMSの進化・市場・産業イン...

電子材料 2007年11月号 (発売日2007年10月28日)

工業調査会
特 集
マイクロマシン/MEMSの量産を支える設計・製造技術

<総論>
MEMS技術の動向と課題 産業技術総合研究所 前田龍太郎
MEMS産業の現状--MEMSの進化・市場・産業イン...

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2007年10月28日発売号単品
この商品は現在休刊となっております。

目次

特 集
マイクロマシン/MEMSの量産を支える設計・製造技術

<総論>
MEMS技術の動向と課題 産業技術総合研究所 前田龍太郎
MEMS産業の現状--MEMSの進化・市場・産業インフラ--
Yole Développementジャン・クリストフ・エロイ・グローバル インフォメーション 小野沢 隆
<デバイス編>
MEMS加速度センサ STマイクロエレクトロニクス 坂田 稔
超小型MEMSマイクロフォンを実現する設計技術 オムロン 若林秀一
MEMS発振器「SiResシリーズ」 サイタイム 櫻井俊二
<製造技術編>
量産対応高速シリコンディープエッチング装置「ASE-PEGASUS」 住友精密工業 野沢善幸
ディジタル投影によるマスクレス露光装置「DL-1000」 レイテックス 木村一彦
強誘電体MEMS用圧電素子成膜・エッチング技術
アルバック 小風 豊・木村 勲・神保武人・鄒 紅コウ
MEMSウェットエッチング装置「microxシリーズ」
エス・イー・テクノ 村田 務
MEMS用R&D CMPシステム エム・エー・ティ 中原 司
MEMSウェハ接合装置--試作機から量産まで-- アユミ工業 本庄啓嗣
マイクロ光造形機「ACCULAS」 ディーメック 寺本俊夫
量産におけるMEMSオンウェハ評価 アジレント・テクノロジー・インターナショナル 中村光宏
オンウェハMEMSテストシステム
SUSS MicroTEC Test Systems フランク・マイケル・ヴァーナー・ジョシュア・M・プレストン
超精密非接触3次元表面性状測定機「タリサーフCCI 6000」 テーラーホブソン 高橋章文
顕微赤外/ラマン/紫外可視/近接場分光装置 日本分光 赤尾賢一
MEMS用高アスペクトレジスト「SU-8」フィルムタイプ 日本化薬 小野禎之
高速シリコン異方性エッチング液「ELM-SiMシリーズ」 三菱ガス化学 矢口和義・真田吉人
MEMS用LTCCパッケージ基板 KOA 不動雅之
MEMSデバイスに用いられる気密封止材 NEOMAX鹿児島 平 純司
ウェハレベルMEMS封止用非蒸発型ゲッター「PaGeWafer」
サエス・ゲッターズ・ジャパン 山本雅彦
MEMS洗浄・乾燥薬液「3Mノベック HFE」 住友スリーエム 﨑間弘美
MEMS用CMPスラリー D-process 笹川博章・酒井謙児


今 月 の 人 半導体研究開発における生産性のさらなる向上を図る
インターモレキュラー社CEO デビッド・ラゾフスキー(David Lazovsky)氏

特別記事
ハードディスクドライブの最新技術動向 (日立グローバルストレージテクノロジーズ)城石芳博

連 載
プラズマテレビで眺めてみれば(17) 内池平樹
マーケットINDEX(173) グローバルネット 武野泰彦
シンプリファイド・テクニカル・イングリッシュ(7) テドプレスジャパン 石川 諭
ベンチャー企業の実像を探る(57) 日本起業家新聞社 森野 進
半導体製造のための統計基礎⑦ 寺子屋みほ 宇津木 勝
「2007年度版日本実装技術ロードマップ」に見る今後のJisso技術のあるべき姿
<第2回> 機器セットから見た将来の実装技術 カシオ計算機 間仁田 祥


展示会レポート
CEATEC JAPAN 2007 編集部

会 議 速 報
DAシンポジウム2007報告――システムLSI設計技術とDA―― 九州大学 石原 享


特別レポート [連載]ベルギー・フランダースのICT最新レポート
Ⅵ.ベンチャーキャピタル(VC)の役割――3D計測ベンチャーMetris社とVCのGIMV社――
本誌編集長 大島雅志




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