特 集
マイクロマシン/ＭＥＭＳの量産を支える設計・製造技術

＜総論＞
ＭＥＭＳ技術の動向と課題 産業技術総合研究所 前田龍太郎
ＭＥＭＳ産業の現状－－MEMSの進化・市場・産業インフラ－－
Yole Développementジャン・クリストフ・エロイ・グローバル インフォメーション 小野沢 隆
＜デバイス編＞
ＭＥＭＳ加速度センサ STマイクロエレクトロニクス 坂田 稔
超小型ＭＥＭＳマイクロフォンを実現する設計技術 オムロン 若林秀一
ＭＥＭＳ発振器「SiResシリーズ」 サイタイム 櫻井俊二
＜製造技術編＞
量産対応高速シリコンディープエッチング装置「ASE-PEGASUS」 住友精密工業 野沢善幸
ディジタル投影によるマスクレス露光装置「DL-1000」 レイテックス 木村一彦
強誘電体MEMS用圧電素子成膜・エッチング技術
アルバック 小風 豊・木村 勲・神保武人・鄒 紅コウ
MEMSウェットエッチング装置「microxシリーズ」
エス・イー・テクノ 村田 務
MEMS用R&D CMPシステム エム・エー・ティ 中原 司
MEMSウェハ接合装置－－試作機から量産まで－－ アユミ工業 本庄啓嗣
マイクロ光造形機「ACCULAS」 ディーメック 寺本俊夫
量産におけるMEMSオンウェハ評価 アジレント・テクノロジー・インターナショナル 中村光宏
オンウェハMEMSテストシステム
SUSS MicroTEC Test Systems フランク･マイケル･ヴァーナー・ジョシュア･M・プレストン
超精密非接触3次元表面性状測定機「タリサーフCCI 6000」 テーラーホブソン 高橋章文
顕微赤外/ラマン/紫外可視/近接場分光装置 日本分光 赤尾賢一
MEMS用高アスペクトレジスト「SU-8」フィルムタイプ 日本化薬 小野禎之
高速シリコン異方性エッチング液「ELM-SiMシリーズ」 三菱ガス化学 矢口和義・真田吉人
MEMS用LTCCパッケージ基板 ＫＯＡ 不動雅之
MEMSデバイスに用いられる気密封止材 NEOMAX鹿児島 平 純司
ウェハレベルMEMS封止用非蒸発型ゲッター「PaGeWafer」
サエス・ゲッターズ・ジャパン 山本雅彦
MEMS洗浄・乾燥薬液「3Mノベック HFE」 住友スリーエム 﨑間弘美
MEMS用CMPスラリー D-process 笹川博章・酒井謙児


今 月 の 人 半導体研究開発における生産性のさらなる向上を図る
インターモレキュラー社CEO デビッド・ラゾフスキー（David Lazovsky）氏

特別記事
ハードディスクドライブの最新技術動向 （日立グローバルストレージテクノロジーズ）城石芳博

連 載
プラズマテレビで眺めてみれば（17） 内池平樹
マーケットＩＮＤＥＸ(173） グローバルネット 武野泰彦
シンプリファイド・テクニカル・イングリッシュ(７) テドプレスジャパン 石川 諭
ベンチャー企業の実像を探る(57) 日本起業家新聞社 森野 進
半導体製造のための統計基礎⑦ 寺子屋みほ 宇津木 勝
「2007年度版日本実装技術ロードマップ」に見る今後のJisso技術のあるべき姿
＜第2回＞ 機器セットから見た将来の実装技術 カシオ計算機 間仁田 祥


展示会レポート
ＣＥＡＴＥＣ ＪＡＰＡＮ ２００７ 編集部

会 議 速 報
DAシンポジウム2007報告――システムLSI設計技術とDA―― 九州大学 石原 享


特別レポート ［連載］ベルギー・フランダースのICT最新レポート
Ⅵ．ベンチャーキャピタル（VC）の役割――３D計測ベンチャーMetris社とVCのGIMV社――
本誌編集長 大島雅志




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