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機能材料 2021年12月号 (発売日2021年12月07日)

シーエムシー出版
【特集】フォトレジスト最前線

機能材料 2021年12月号 (発売日2021年12月07日)

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機能材料 2021年12月号 (発売日2021年12月07日) の目次

著者一覧
前川紘之  関西大学
工藤宏人  関西大学
有光晃二  東京理科大学
青木大亮  東京理科大学
中屋敷哲千  (株)ADEKA
青木健一  東京理科大学
関淳志  東京理科大学
関口淳  大阪府立大学
渡邊健夫  兵庫県立大学 
佐々木実  豊田工業大学 
横田裕基  日本電気硝子(株) 
井上義之  ホソカワミクロン(株)


目次
-------------------------------------------------------------------------

【特集】フォトレジスト最前線

-------------------------------------------------------------------------

新規レジスト材料の動向について
Development of New Resist Materials

 フォトリソグラフィ技術は,極端紫外線(EUV)露光を用いて解像度10nm台の量産技術の確立に向けて検討中である。その中で,EUV用レジスト材料の開発が最重要課題として考えられるようになった。本稿では,解像度,露光感度,パタンのラフネスのレジスト特性を同時に改善するために検討された例について紹介する。

【目次】
1 はじめに
2 EUV用レジスト材料の分子設計
3 レジスト材料を構成する分子のサイズとレジストパタンの関係
4 分子レジスト材料に要求される項目
5 フェノール樹脂型
6 カリックスアレン型
7 特殊骨格型
8 主鎖分解型ハイパーブランチポリアセタール
9 PAGバウンド
10 EUV高吸収元素を含有するEUVレジスト
11 デュアルインソルブルレジスト材料
12 まとめ

-------------------------------------------------------------------------

酸・塩基増殖反応を用いた高感度フォトレジスト材料
Highly Sensitive Photoresist Materials Using Acid and Base Proliferation Reactions

 光酸発生剤と酸分解性高分子からなる化学増幅レジストの感度を向上させる目的で,自己触媒的に分解して酸触媒を発生する酸増殖反応を開発した。この酸増殖反応を化学増幅レジストに組み込むことで飛躍的な感度の向上に成功した。ここではその詳細に加え,塩基増殖反応を利用した化学増幅レジストの高感度化についても述べる。

【目次】
1 はじめに
2 酸増殖レジスト
 2.1 酸増殖ポリマーの設計と分解挙動
 2.2 感光特性評価
 2.3 EUVレジストとしての評価
3 塩基増殖レジスト
 3.1 ネガ型レジストへの塩基増殖剤の添加効果
 3.2 塩基増殖ポリマーの設計
 3.3 増殖反応の潜在能力
4 おわりに

-------------------------------------------------------------------------

フォトレジスト用添加剤
Additives for Photoresist
 
 フォトレジストの耐久性を向上するために酸化防止剤や紫外線吸収剤を添加すると,パターン形成時にUV硬化を阻害するため,目標の膜物性が得られにくい課題があった。今回フォトリソグラフィープロセスにてUV硬化反応を阻害せずに,酸化防止能や紫外線吸収能を付与することができる新規添加剤を開発したので紹介する。

【目次】
1 はじめに
2 フォトレジスト材料
3 フォトレジスト用添加剤
 3.1 フォトレジスト用添加剤とは
 3.2 フォトレジスト用添加剤の評価
4 まとめ

-------------------------------------------------------------------------

デンドリマー型フォトポリマー材料の創製と特性評価
Facile Synthesis and Properties of Dendritic Photopolymers

 デンドリマーは,多分岐構造に由来する高い化学反応性および特徴的な物理物性など,フォトポリマー材料によく適合した性質を示す。その一方,合成が煩雑であり大量生産性に欠いているため,これまでのデンドリティックフォトポリマーに関する研究は,大半が分子量分布の大きなハイパーブランチポリマー(HBP)を用いて行われている。本報では,これまで報告されているHBP型フォトポリマー材料の研究動向を概観したのち,当研究室で取り組んでいるクリック反応を利用したデンドリマー骨格母体の大量合成法,およびそれを用いたデンドリマー型フォトポリマー材料の特性について,近年の成果をまとめて報告する。

【目次】
1 はじめに
2 デンドリマー型フォトポリマーの大量合成
3 デンドリマー型フォトポリマーの特性評価
 3.1 ラジカル硬化型フォトポリマー
 3.2 デンドリマーを利用した化学増幅型レジスト
4 おわりに

-------------------------------------------------------------------------

レジスト評価のためのシミュレーション技術
Simulation Technology for the Resist Evaluation

 感光性樹脂のリソグラフィー評価は,感光性材料をSi基板に塗布し,ステッパやアライナーなどの露光機を用い,微細なパターンを転写して現像,電子顕微鏡(SEM)を用いてその形状を観察するのが一般的である。この方法を直接評価法と呼ぶ。直接評価法では,リソグラフィーの最終目的である現像後のレジストパターンの形状をSEMにて直接観察できるため,確実な評価方法といえる。しかし,ステッパやアライナーなどの露光装置は大変高価であり,評価ラインを整備することは大きな投資となる。また,EUVなどの最新の露光装置を入手することは難しい。そこで,ステッパやアライナーを用いず,リソグラフィー・シミュレータを用いてリソグラフィー特性の評価を行うバーチャル・リソグラフィー評価システムVLES(Virtual Lithography Evaluation System)を紹介する。VLESは実際にパターニングするのではなく,リソグラフィー・シミュレータを用いてリソグラフィーの評価を行うところに特徴がある。

【目次】
1 バーチャル・リソグラフィー評価システムの概要
2 VLES法のための評価ツール
 2.1 露光ツール(UVESおよびArFESシステム)
 2.2 現像解析ツール(RDA)
 2.3 測定原理
3 現像速度を利用した感光性樹脂の現像特性の評価
4 リソグラフィー・シミュレーションを利用したプロセスの最適化
 4.1 シングルシミュレーション
 4.2 CD Swing Curve
 4.3 Focus-Exposure Matrix
5 まとめ
 
-------------------------------------------------------------------------

EUVリソグラフィの現状と今後の展開
Current Status and Prospect for EUV Lithography

 半導体製造技術には前半工程の微細加工技術と後半工程の3次元実装技術が不可欠である。その中で極端紫外線リソグラフィ(EUVL)技術は2019年にスマートフォン向けの7nm nodeロジックデバイスの量産技術として適用され,2020年には5nm nodeロジックデバイスの本格的な量産技術に適用された。この技術の現状と課題,そして今後の展開について紹介する。

【目次】
1 はじめに
2 EUVリソグラフィ技術の歴史
3 EUVリソグラフィの技術課題
 3.1 EUVレジスト
 3.2 EUVマスク
4 今後の展開
 4.1 高NA化
 4.2 短波長化

-------------------------------------------------------------------------

3次元フォトリソグラフィ
Three-dimensional Photolithography

 立体サンプルに適用できる3次元フォトリソグラフィについて,2つのアプローチを紹介する。一つはスプレー成膜,もう一つは水溶性ポリマー層を持つシートを利用するものである。両技術で重要となるフォトレジスト特性に言及しつつ,垂直壁面と円筒面への微細パターン転写技術について紹介する。

【目次】
1 はじめに
2 スプレー成膜
3 水溶性ポリマーシート
 3.1 垂直側壁の電極付きサブマウント
 3.2 圧延ロール円筒面のテクスチャリング
4 まとめ

-------------------------------------------------------------------------
[Material Report-R&D-]

無色透明ゼロ熱膨張結晶化ガラス「Cerapure™」
Colorless and Transparent Zero Thermal Expansion Glass Ceramic “Cerapure™”

 温度変化に対して体積がほぼ変化しない「ゼロ熱膨張材料」として,Li2O-Al2O3-SiO2系結晶化ガラス(以下,ゼロ熱膨張LAS-GC)が幅広い分野で使用されている。従来のゼロ熱膨張LAS-GCは黄色く着色しており,この無色透明化は半世紀以上にわたって極めて困難とされていた。この度,日本電気硝子㈱はゼロ熱膨張LAS-GCの無色透明化に成功し,本材料を「Cerapure™」として発表した。本報ではCerapure™の特長などについて述べる。

【目次】
1 はじめに
 1.1 色調
 1.2 熱膨張
2 ゼロ熱膨張結晶化ガラス
 2.1 使用例と課題
 2.2 結晶化工程
 2.3 黄色に着色する理由
3 Cerapure™
 3.1 組成設計と技術的障壁
 3.2 Cerapure™の誕生
 3.3 材料の特長
 3.4 応用例
4 おわりに

-------------------------------------------------------------------------

機能性粒子作製の最新動向
Latest Trends in the Fabrication of Functional Particles

 粉体を作るという作業は,それ自体が材料に機能性を与える単位操作であり,中でも数μmの微粒子やナノ粒子を作る技術,微粒子の表面処理として液体の噴霧,ワックスやナノ粒子などの超微粉の表面への固定化・被覆化,固定化と同時に非晶質化を行うといった,いわゆる粒子設計技術が高機能性材料を作るときに活用されている。

【目次】
1 はじめに
2 粉砕技術による機能性材料の製造
3 ナノ粒子合成技術による機能性材料の製造
4 表面改質技術による機能性材料の製造
 4.1 混合機による機能性付与
 4.2 乾式粒子複合化による機能性付与
  4.2.1 メカノフュージョン
  4.2.2 ノビルタ
  4.2.3 ナノキュラ-P
 4.3 スプレー噴霧型装置による機能性粒子の製造
5 おわりに

-------------------------------------------------------------------------
[Market Data]

フラットパネルディスプレイの市場動向

1 フラットパネルディスプレイ市場
2 液晶ディスプレイ市場
3 有機EL市場

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[Material Profile]

窒化ケイ素

機能材料 雑誌の内容

あらゆる材料の高機能化に対応する総合機能材料情報誌
本誌は日本で初めての総合機能材料情報誌として創刊1981年以来、あらゆる材料・形態の高機能化情報を提供して参りました。弊社の豊富な蓄積と情報網をもとに、機能材料関連の動向を深く広範囲に正確に捉え、「仕事に直結する」最新技術・市場情報を掲載しております。

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 データ解説 コロナ禍の社会変化?
 ついに始まったmRNA 医薬の時代
 変異株を追跡 暴かれたオミクロン株の正体
 コロナ後遺症が変えた慢性病のとらえ方
 実験室から現場へ 検査を革新したPCR技術
 なおも消えないウイルス起源の陰謀論
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●火をもって火を制す
オーストラリア先住民の人々が伝統的な火入れを復活させて、増加傾向にある大規模な森林火災を抑えようとしている。
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ガボンの森林では、夜の気温上昇や降雨量の減少によって果実の量が減り、マルミミゾウが脅かされている可能性がある。
●森林を救う四つの方法
別の土地へ移植するか、植林を進めるか、DNAを改変するか、それとも、何もせずに自然に任せるか?炭素を吸収してくれる森林を助けるには、どの方法がベストだろう?

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数十年の間に世界の森林がどのように変化してきたかを、詳細なグラフィックと地図で見てみよう。

【コラム】
●PROOF 世界を見る「春を告げる霧幻の森」
山形県の白川ダム湖では、雪解け水が流れ込み、1か月だけ、水の中から木々が生えているかのような幻想的な光景が現れる。写真家の小関一成が記録した。
●EXPLORE 探求するココロ
「伐採されなかった森」「3.6億年前の森は?」「森づくりで豊かな漁場を」「白いセコイアの木」

●読者の声
●テレビでナショジオ
●次号予告
●日本の百年「干潟に立つ大鳥居」
●今月の表紙:デンマークの首都コペンハーゲンの郊外にある森につくられた高さ45メートルのらせん形の通路。新しい視点で森を眺めて、楽しむことができる。

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目次: 【特集】
〇手軽なシステムで迫力の天体像を観る
自宅ではじめる電視観望/Sam
特集は「自宅で始める電視観望」。最近注目されている新たな観望スタイルが「電視観望」です。市街地の空からでも星雲などの天体を色味のある姿で観察することができ、かつ手軽な機材で始められるため、人気が高まっています。電視観望とはどのようなものかを紹介しながら、まずは自宅で楽しむための具体的な方法をじっくりと紹介します。



〇天体観望が変わる!?
デジタル望遠鏡 eVscope 2/沼澤茂美
ニコンとユニステラ社のコラボレーションによる新時代の望遠鏡「eVscope 2」。ワンタッチで見たい天体を視界に入れることができ、眼視で見にくい天体も明瞭な姿として観望することができる、新時代の望遠鏡です。フィールドでの試用インプレッッションを紹介します。



〇5月27日 昼間の金星食/早水 勉
5月27日の昼間に金星食が起こります。食が見られるのは九州南部~南西諸島で、九州南部の限界線の近くでは金星の一部がかくされます。そのほかの地域でも27日と28日の明け方に月と金星の接近を楽しむことができます。注目の現象を詳しく紹介します。



〇コニカミノルタ プラネタリアYOKOHAMAオープン/塚田 健
3月24日に横浜のみなとみらいエリアにオープンした「コニカミノルタ プラネタリアYOKOHAMA」。昨秋オープンの「コニカミノルタ プラネタリウム満天NAGOYA」と同じく自発光するドームシステムを採用した同社直営の最新型プラネタリウムです。プラタリアYOKOHAMAの目玉は番組投影中にプラネタリウムの空を視聴者がスマホで撮影できること。オープン初日に取材、注目のプラネタリウム館を紹介します。

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目次: トップリーダーに訊く「環境配慮型経営」
第9回
経済合理性と環境が正しく循環する社会を目指して
カルビー株式会社代表取締役社長兼CEO伊藤秀二 氏

特集1
株式市場再編で加速するカーボンニュートラル
2022年4月より、東京証券取引所は「プライム」「スタンダード」「グロース」体制へ
東京証券取引所

TCFD賛同企業No1の日本 環境立国として、世界をリードできるか
一橋大学CFO教育研究センター長  TCFDコンソーシアム会長 伊藤邦雄氏

CO2排出量算定・削減クラウドサービス+ SXコンサル支援の両方を提供
アスエネ

サステナビリティ戦略の強化が企業成長のカギ
みずほリサーチ&テクノロジーズ

積極的な情報開示で脱炭素系技術を投資家にアピール
経済産業省

第24回環境ビジネスフォーラムレポート
脱炭素経営の実践へ
CO2削減とエネルギーの効率化

CO2削減と事業の進化・創出を
ボストンコンサルティンググループ

緩和と適応で多角的な対策を推進
カルビー

カギは手法・削減量・費用の明確化
ソコティック・サーティフィケーション・ジャパン

特集2
環境先進企業が取り組むCO2排出削減量の可視化

カーボンニュートラル社会に向けた企業の長期戦略の重要性
三菱総合研究所

国内外サプライヤーの排出削減意識と調達側企業の意識との間に温度差
ジェトロ

カゴメはサプライヤーの削減努力をスコープ3に反映する算定方法を探る
カゴメ

配合飼料トップメーカーが業界を牽引し、 ESG/SDGsに取り組む
フィード・ワン

温室効果ガス排出量削減につながる可視化から実行まで伴走で支援
NTTデータ

特集3
COP26で注目が集まる市場メカニズムとビジネスチャンス

パリ協定6条運用ルールが合意 世界共通の巨大な COクレジット市場が誕生
環境省

クレジットの質が問われる時代 国内外の状況を見極めた戦略が重要
伊藤忠総研

拡大するカーボン・クレジット市場
需要と供給、守りと攻めのバランスがビジネスのポイント
ボストンコンサルティンググループ

クレジットの本質を見極め正しい価値観でビジネスを行うことが重要
みずほリサーチ&テクノロジーズ

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三菱商事FIT上限の 1/2価格で総落札 洋上風力発電事業の根底を覆す
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環境ビジネス編集部

三菱商事は洋上風力の再エネ電力を産業界全体でフル活用する
環境ビジネス編集部

水揚げ日本一銚子漁港の 30年後を見据え 漁業との共生と新産業の創出を探る
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市場が急縮小の中、野心的な目標を掲げる JPEA
太陽光発電協会

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事業者の開発意欲と市場規模の維持が必要
環境ビジネス編集部

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気候原理主義?欧州社会にしっかり根をおろすグレタ世代

スペシャル対談
企業の脱炭素経営と働き方改革をオフィス面からサポート
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TOPICS
洋上風力発電で「国内・地域サプライチェーン」

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デジタルとグリーンの融合で、新領域を開拓していくコンサル部隊
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FOCUS
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データ入力作業なしで、 CO2排出量を自動算出
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BUSINESS CASE
百貨店が挑戦する環境配慮型の売り場づくり

COLUMN
日本文明を環境から解き明かす 第19回
「初めての都市のダム」
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日本文明を環境から解き明かす 第20回
「平和から生まれた国土と共同体-260年間の江戸時代-」
元国土交通省河川局長竹村公太郎氏

Circular Economy リーディングカンパニーの挑戦
SDI

ハダニの薬剤抵抗性が教えてくれた多様性の意義
国立環境研究所五箇公一氏

GREEN ECONOMY
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リーガルチェック!
株式会社タイムマシーンアンダーライターズ稲田行祐氏/シティユーワ法律事務所齋藤崇氏

森田正光の一体何が問題なの!?
気象予報士森田正光氏

洋上風力発電と漁場
農林水産政策研究所上席主任研究官梶脇利彦氏

Offshore Wind
日本気象高祖研一氏

洋上風力発電を成功に導くために
渋谷潜水工業渋谷正信氏

漁業と洋上風力との共存の道を探る
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  • 2020/09/15
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8 設備と管理

オーム社

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設備と管理

2022年05月11日発売

目次: 「設備と管理」創刊55周年 記念企画号
1967(昭和42)年3月に創刊した「設備と管理」は,
2022年4月号で創刊55周年を迎えました.
今月の記念号では,5月20日(金)に行われる
記念セミナー「高圧受電設備の操作・保守体験講座」の
補佐資料としても役立つ「受変電設備の基礎と操作」を特集としました.
時代は移り,ビル管理業界を取り巻く社会の情勢も,
ビル管理業務で用いられる技術や製品も大きく変化してきましたが,
今後も読者の皆様に役立つ記事を発信してまいりますので,
引き続きご愛読賜りますようお願い申し上げます.

■付録
ポケット版 4月1日改正対応版
ビル管理実務資料集 Part13[建築物衛生法編]

■ライセンス
法改正で正解が変わる!? ビル管理試験の過去問題
建築物衛生法施行令と施行規則が昨年に改正され,2022年4月1日に施行された.
改正された内容が今年のビル管理試験で出題される可能性があることをふまえ,
過去の問題がそのまま出題された場合,政省令改正が正解や解説内容に影響を及ぼす
13問を2012~2021年にわたって抽出し,解説した.

■特集
・受変電設備の基礎と操作[前編]
 皆川 邦雄(第一種電気主任技術者)
 受変電設備の構成を知り,具体的な操作方法や注意点,過去のトラブル事例を学ぶ.
 それによって,維持管理者の知識・技能の向上を図り,
 作業効率の向上や安全性を確保することを目的とする.

・換気設備のイロハ
 換気設備の必要風量を計算してみよう[後編]
 松本 健一,吉田 友夫(三機工業株式会社)
 新型コロナウイルスとの共存が現実的になった昨今,
 換気による空気清浄の知識は,ビル管理者にとって必須である.
 換気・空気調和設備・排煙設備について,法規の確認と有効換気量法の計算方法について解説する.

■解説
現場DXを実現する スマートグラス最前線
編集部
人材不足に悩む中,ビル管理・建設業界では人材の確保とともに重要なのが
AI・IoTを利用した省人化の推進・技術継承である.
昨今,進化のスピードが目まぐるしいスマートグラスを使った最新の現場DXを紹介する.

■インタビュー
新製品ができるまで 技術の原点!
アイデアや技術を組み合わせて,これまでになかった製品をつくる.
その発想はどこからやってくるのか.製品の核となる「技術の原点」を探る.

■ニュースラインナップ
・二酸化炭素消火設備事故の検討結果報告書を公表

・除じん型床面清掃ロボットのJISを制定

・屋外設備の耐風設計の基本的考え方を公開

・2021年度空気調和・衛生工学会賞

■フォトギャラリー
東京都公文書館

■道草の拾い読み
東京・港区 微熱山丘 SunnyHills

■連載
・事例に学ぶ設備お悩み相談室/92. 改修提案の作成方法(その2)

・のぞき窓を閉めないで/人類はホントに進化しているのだろうか?!

・完全図解 電子回路とディジタル回路の基礎知識/第1編 電子回路/第4章 パルス回路
 10. フリップフロップ回路とシュミット・トリガ回路

・マンションを100年持たせる再生シナリオ(実践編)/58. 大型店舗を保有するマンションの耐震化(前編)

・現場ではたらくビル管INTERVIEW/129. 谷口 亘さん(株式会社サンケイビルマネジメント)

・けろさんの設備探訪記/9. 設備が見える! 歴史的建造物

・ビル管 キャリアUPガイド/10. 資格vs実務経験,試験取得vs認定取得

参考価格: 1,650円

ビル・工場の設備を管理するエンジニアとマネージャのための専門誌

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