CONTENTS　６月号

特集：LTCCの最新技術動向
LTCCの最新技術動向－序論　・・・・・・・・・・・・・・・・5
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
防衛大学校　通信工学科　教授　　山本　孝　

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LTCCとLFC材料の歴史・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・6
－自動車用LTCC-ECU誕生の歴史とその応用－

Robert Bosch GmbH　AE/ETS1　技術顧問　　西垣　進 　

　低温焼成多層基板を使用したECU（電子制御回路系）が，世界で初めてドイツBosch社により大量
生産規模で，自動車用エンジンなどに直載可能な電装部品として実用化に成功した。これは日本企業
とグローバルな共生的取り組みの成果で，以下に誕生の歴史，LFC材料，LTCC-ECUの特徴，応用など
につき総括する。

～目次～
　１．はじめに
　２．類似技術LTCCの歴史(1975～90）
　　２．１　スーパーコンピューター用LTCCによる低温焼成化，多層化，高密度化技術
　　２．２　日の目を見なかった次世代ハイブリッドIC応用LTCC（ドイツBosch社では開花）(1980～90)
　　２．３　LTCCによる高周波小型部品の日本的ビジネスの台頭（携帯電話等無線通信用）（1989～95）
　３．自動車用”マイクロハイブリッドLTCC-ECU”の誕生の歴史（1985～2002）
　　３．１　Boschは厚膜ハイブリッドを大量に内製していた（1985～90）
　　３．２　Ｂoschとの接点はISHMでの発表が縁（1987）
　　３．３　Bosch-鳴海製陶のグローバルな提携が実現（技術移転，共同開発，材料供給，　
　　　　　　Boschでの本格生産開始）（1990～95）
　４．LFC材料（Ag多層同時焼成用ガラスセラミックス）の開発（1983～90）
　　４．１　幸運を呼んだLFCの初期目標の先見性
　　４．２　Ag多層同時焼成基板とは
　　４．３　LFCガラスセラミックスの焼成挙動について
　　４．４　LFCの同時焼成時の焼成収縮と信頼性
　　４．５　同時焼成基板へのPost-fire（Ag-Pd,RuO2抵抗，Cu導体）信頼性，製法，最終基　板特性
　５．自動車用LTCC-ECU”Microhybrid"の革新的技術，特徴ならびにその応用（1990～95）
　　５．１　新プロセス技術，新材料技術
　　５．２　自動車用ECUに使用されるLTCCの利点，特徴と応用
　６．おわりに


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LTCC基板の実用化　・・・・・・・・・・・・・・・・・・23

（株）大垣村田製作所　製造部　担当部長　　福田順三　　
（株）村田製作所　第３コンポーネント事業部　機能基板商品部　係長　仲　勝彦　　　

　近年，高周波用通信モジュールに用いられる実装用基板として，ＬＴＣＣ基板が注目を集めている。
そこで，ＬＴＣＣ基板の無収縮焼成を中心とする最新技術動向と，その実用化例としてCao-Al2O3-
SiO2-B2O3系ガラスとAl2O3よりなるLFCシステムを，実用化製品としての通信用 Blue Tooth用基板や
自動車用TCM（Transmission Control Module）用基板などを用い説明した。

～目次～
　１．はじめに
　２．LTCC基板動向
　３．無収縮焼成
　４．LTCC基板実用例
　　４．１　LFCシステムの特徴
　　４．２　製品化例
　５．おわりに

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高周波素子内蔵LTCC　・・・・・・・・・・・・・・・・・・29

京セラ（株）　機能部品事業部　技術開発部　部責任者　　　　小田　勉　
京セラ（株）　機能部品事業部　技術開発部　機能部品企画課　齋藤利之　

　携帯電話をはじめとして，近距離無線通信技術は多くの情報通信機器に採用されている。また，
これらの情報通信機器においては小型・高性能・高品質化が進んでいる。このユビキタス時代にお
いて，情報通信機器に使用される高周波モジュールの小型化，低背化高機能化は必要不可欠となる。
本論文では，これらの実現を可能とするLTCCの材料技術と高周波素子内蔵技術について述べる。

　～目次～
　１．はじめに
　２．高周波素子内蔵基板への要求
　３．高周波素子内蔵基板に必要な材料特性
　　３．１　小型化
　　３．２　高性能化
　　３．３　特性安定化
　　３．４　二次実装信頼性
　４．高周波素子内蔵基板の製品設計
　　４．１　誘導特性の設計
　　４．２　内蔵素子の設計
　５．今後の展開

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マイクロ波通信用LTCCの開発・・・・・・・・・・・・38
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
双信電機（株）　技術本部　本部長付　　小田切正　

　携帯電話，無線LANなどの無線通信はマイクロ波帯を使っており，端末器にはLTCCである積層誘
導体セラミックス部品が多数使われている。それらの部品の使用状況を説明し，積層誘導体セラミ
ックスに要求される特性，誘導体セラミックスの実例，部品の製品特性，さらに異種材料接合によ
り単機能部品から多機能部品へ集積した製品などについて解説した。

～目次～
　１．はじめに
　２．積層誘導体セラミックスフィルター
　３．誘導体セラミックスの誘導特性
　　３．１　高誘導率と低誘導率
　　３．２　低損失化
　　３．３　温度安定性
　４．誘導体セラミックスの開発
　　４．１　導体の選定
　　４．２　誘導体セラミックス
　　４．３　異種材料接合
　　４．４　プロセス
　５．製品構成
　　５．１　フィルター
　　５．２　バランスフィルター
　　５．３　マッチングフリーアンテナ
　６．おわりに

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ポストLTCCとしてのエアロゾルデポジション・・・・・・・・・・・・・47
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（株）富士通研究所　材料・環境技術研究所　
　　　マイクロエレクトロニクス材料研究部　主任研究員　　今中佳彦　
（独）産業技術総合研究所　先進製造プロセス研究部門
　　　　　　　　　　集積加工研究グループ　グループ長　　明渡　純　

　エアロゾルデポジション（AD)は，ナノレベルのセラミック粒子を基板上に高速噴射させることに
より成膜する手法で，(1)常温で膜形成が可能，（２）複雑組成のコントロールが容易などのユニーク
な特徴を有している。このために，特性の異なる種々のセラミック材料を組み合わせた多層膜構造の
形成が可能であり，各種受動部品を内蔵化した高周波小型機能基板の開発のためのポストLTCC技術と
して期待されている。本稿では，将来に向けてのLTCC技術開発内容と，将来求められている受動部品
内蔵基板を提示したうえで，エアロゾルデポジションの技術的ポテンシャルの高さについて解説する。

～目次～
　１．はじめに
　２．将来へ向けてのLTCCの技術開発
　　２．１　材料技術開発
　　２．２　プロセス技術
　３．ポストLTCCの背景
　４．ポストLTCCとしてのADプロセス
　５．ADセラミックス膜の開発現状
　６．おわりに

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高周波用LTCC材料技術の進歩とその応用展開・・・・・・・・57

太陽誘電（株）　総合研究所　材料開発部　　　川村敬三　
太陽誘電（株）　M.W.グループ　高周波開発部　井上　真　

　高周波機器の小型化のためのキーテクノロジーとして，LTCC（Low Temperature Cofired
Caramics）技術が注目を集めている。ここでは高周波の分野に焦点を絞り，最近のLTCC材料技術の
進歩とその応用製品について述べたい。

～目次～
　１．はじめに
　２．LTCC技術の歴史的背景と高周波への対応
　　２．１　LTCC技術の黎明期
　　２．２　樹脂系高密度配線基板の普及
　　２．３　高周波製品への展開
　３．高周波用LTCC材料に求められる材料特性
　　３．１　誘電率とその温度係数
　　３．２　材料Q
　　３．３　5GHz２段階積層BPFの材料Qと挿入損失
　　３．４　高周波回路モジュール基板
　４．高周波積層部品用のLTCC材料
　　４．１　ガラスコンポジット材料
　　４．２　結晶化ガラス材料
　　４．３　セラミック系低温焼成材料
　５．高周波デバイスへの適用例
　　５．１　分布安定型積層フィルターへの適用
　　５．２　集中定数型積層フィルターへの適用
　６．今後の展開

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機能材料連載講座　因果化学からみる材料の機能性（第５回）
何故、液晶光配向は起こるのか・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・64
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
東邦大学　理学部　特任教授　　市村國宏　

　トリガー増幅の例として，表面分子の光化学反応による液晶の配光制御を取り上げる。この系は
基板表面上の光化学反応による構造や配光の変化と，それによって引き起こされる液晶分子の配光
変化という２つの素課程から成り立つ。両者間での因果関係をもたらす界面で何かが起こっている
かを詳しく述べる。

　～目次～
　１．はじめに
　２．トリガー増幅としての分子配光の転写
　３．界面分子モデルの調整方法
　４．ホメオトロピック配光の液晶界面モデル
　５．動的な液晶界面モデル
　６．表面エネルギーからの考察
　７．おわりに

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連載：高分子材料の実用性（１）
衣料，レンズ，医療分野－その１・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・76
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
元理化学研究所　研究員　・元工学院大学　電子工学科；化学工学科　　鴨川昭夫　

　プラスチックは，日常生活で数多く使用されている。そのいくつかを例示すると，洋服としては
熱硬化性樹脂のポリエステル，しわにならないワイシャツ，防弾チョッキ，医用方面では血液バッグ
やチューブ，注射針など，その他レンズ，玩具類，マウスピース，口紅，文房具，運動具などが開発
されている。

　～目次～
　はじめに
　実用例－１　　形状記憶ワイシャツ，防弾チョッキ，卵パックのリサイクル…
　　　　　　　　　　－コンタクトレンズの歴史