CONTENTS　9月号

Material　Rｅｐｏｒｔ
Review
　極限CMOS開発の現状と将来展望・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・5
　Present Status and Prospect of Ultimate CMOS

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　平本俊郎

　Toshiro Hiramoto　 　東京大学　生産技術研究所　教授　

　VLSIを構成するMOSトランジスタのサイズは急速に微細化している。ゲート長が10nm以下にまで
微細化された極限CMOSは，将来の高度情報通信化社会を根底で支える基盤デバイスである。本稿で
は，MOSトランジスタの微細化の現状と，極限CMOSの将来について紹介する。

　～目次～
　１．はじめに
　２．トランジスタの微細化とスケーリング則
　３．半導体技術ロードマップにみるMOSトランジスタの微細化
　４．サブ10nmトランジスタ
　５．トランジスタの微細化限界
　６．極限CMOSの重要性
　７．極限CMOS開発の課題と解決策
　８．おわりに


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R&D
　カーボンナノコイルの合成と特性・・・・・・・・・・・・14
　Synthesis and Properties of Carbon Nanocoils

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　中山喜萬

　Yoshikazu Nakayama　 　大阪府立大学大学院　工学研究科　電子物理工学分野　教授　

　ナノコイルは特異な形態から，電磁波吸収材や電子源，微小領域の磁場発生・検出素子，ナノの
バネ，さらに電気や熱の伝導性，機械的強度，伸縮性などに優れた高機能性ナノコンポジット素材
として期待される。本稿ではこういったナノコイルの合成法，成長機構，大量合成に向けた取り組
みについて，また機械的特性および電界放出特性についても概説する。

　～目次～
　１．はじめに
　２．合成法
　３．Fe/ITO触媒を利用したコイル合成９，１０）
　４．触媒の機能
　５．コイル径制御
　　５．１　流量による制御
　　５．２　鉄・インジウム・スズ合金酸化膜による制御
　６．微粒子触媒の開発
　７．ナノコイルの特性
　　７．１　機械的特性
　　７．２　電界放出特性
　８．おわりに


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　カーボンナノコイル・ナノツイストの合成・・・・・・・・・・・・23
　Syntheses of Carbon Nanocoils and Nanotwists

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　滝川浩史

　Hirofumi Takikawa　 　豊橋技術科学大学　電気・電子工学系　助教授　

　らせん形状を呈したカーボンナノファイバーは，カーボンナノチューブの合成法と同じ触媒CVD法
によって合成できる。その形状は，触媒やプロセス条件などによって変化する。本稿では，コイル形
状を呈したカーボンナノコイルの量産的合成，およびねじれ形状を呈したカーボンナノツイストの膜
状合成について概説する。

　～目次～
　１．はじめに
　２．ヘリカルカーボンナノファイバー
　　２．１　合成方法
　　２．２　合成物
　３．カーボンナノコイル（CNC）の量産
　４．カーボンナノツイスト（CNTw）膜の合成
　５．おわりに


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　制振合金M2052製据え付けマウントによる研削加工性能の向上・・・・29
　Improvement of the Quality in a Surface Grinding Machine by using a Mount made of the Damping Alloy ，M2052

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　細谷武司

　Takeshi Hosoya　 　（株）セイシン　常務取締役　

　研削加工は，平滑で高精度な仕上げ面を得るための加工法であるが，その精度を左右する因子は
工作物砥石間の相対振動変位である。本研究は今までのアプローチである剛性と重量による共振周
波数対策ではなく，高強度で加工性の良い制振合金M2052を据え付けマウントと砥石フランジに利
用して，簡便で効果的な性能向上を実現した。

　～目次～
　１．背景
　２．据え付けマウントと砥石フランジ部へのM2052の応用
　３．実験方法
　４．評価結果
　５．おわりに


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　カラー舗装用着色バインダー・・・・・・・・・・・・・・・・・38
　Color Binder for Color Pavement

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　博多俊之

　Toshiyuki Hakata　 　戸田工業（株）　創造本部　課長　

　カラー舗装道路を施工する場合に，従来はアスファルトプラントで別々に添加し，混合されていた
アスファルトと顔料をプレミックスし，2～30mm程度の固形状としたことにより，作業性に優れ，かつ
特性面においても優れたバインダーとした。今後さまざまな応用が期待されるカラー舗装用着色バイ
ンダー（当社製，品名：CSファルト）について紹介する。

　～目次～
　１．はじめに
　２．CSファルトの特長－作業面での特長－
　３．アスファルト特性
　　３．１　バインダー特性
　　３．２　アスファルト混合物特性
　　３．３　低温カンタブロ試験
　　３．４　舗装面の退色性
　４．おわりに


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　反応性プラズマ蒸着法によるGa添加酸化亜鉛透明導電膜・・・・44
　Transparent Conductive Ga doped ZnO Thin Films Prepared by Reactive Plasma Deposition Method

　　山本哲也　＊1　　岸本誠一　＊2　　池田圭吾　＊3　　酒見俊之　＊4　　粟井　清　＊5
　　白方　祥　＊6　　碇　哲雄　＊7　　中田時夫　＊8　　仁木　栄　＊9　　矢野哲夫　＊10

*1 Tetsuya Yamamoto 高知工科大学 総合研究所マテリアル・デザイン研究センター センター長・教授
*2 Seiichi Kishimoto 高知工科大学 総合研究所マテリアル・デザイン研究センター 助教授　
*3 Keigo Ikeda　 　 高知工科大学 総合研究所マテリアル・デザイン研究センター
*4 Toshiyuki Sakemi 住友重機械工業（株）　
*5 Kiyoshi Awai　 　住重試験検査（株）　
*6 Sho Shirakata　 愛媛大学 工学部 電気電子工学科　
*7 Tetsuo Ikari　 　宮崎大学 工学部 電気電子工学科　
*8 Tokio Nakata　 　青山学院大学 理工学部 電気電子工学科　
*9 Shigeru Niki　 （独）産業技術総合研究所 光技術研究部門 光エレクトロニクス材料グループ
*10 Tetsuo Yano　 （独）産業技術総合研究所 海洋資源環境研究部門 海洋環境材料開発研究グループ　

　Gaドーピングした酸化亜鉛薄膜（GZO）を反応性プラズマ蒸着法によって成膜した。基板温度は
200℃であり，Gaの含有量は3wt％である。本成膜条件での成膜速度は170nm/minであった。
抵抗率2×10－4Ω・cm ，キャリア濃度は8×1020cm－3，最大ホール移動度は29cm2/V ・secである。
可視光領域で透過率90％以上のものが得られた。反応性プラズマ蒸着法は酸化亜鉛薄膜の大面積製膜
も可能であり，1m角の大きさのGZO製膜に成功した。

　～目次～
　１．はじめに
　２．反応性プラズマ蒸着法（RPD法）
　３．実験結果と考察
　　３．１　SEM像
　　３．２　X線回析測定
　　３．３　透過率
　４．大面積製膜
　５．おわりに

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機能材料連載講座：因果化学からみる材料の機能性（７）
　能動的な表面で液体を動かす・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・55
　Displacement of Fluids by Active Surfaces

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　市村國宏

　Kunihiro Ichimura　 　東邦大学　理学部　特任教授　

　固体表面の構造変化は濡れ性を変える。熱，化学吸着，光，電場などによって誘起される表面の
構造変化が，濡れ性の変化として増幅されているとみなすことができる。固体の表面エネルギーに
これらの外部刺激によって勾配を設けることができれば，マランゴニ効果に基づいて液滴が動く。
これらについて，最近の研究動向を紹介する。

　～目次～
　１．はじめに
　２．マランゴニ効果
　３．温度変化で濡れ性を変える
　４．電場印加で濡れ性を変える
　５．表面吸着反応により液滴を動かす
　６．光照射で濡れ性を制御する
　７．デバイス化への道
　８．おわりに

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連載：高分子材料の実用性（３）
衣料，レンズ，医療分野－その３・・・・・・・・・・・・・・・・・66
　Foreign Clothes of Polyester,Lens of Plastics,Plastic of Medical Science

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　鴨川昭夫

　Akio Kamogawa　 　元・理化学研究所　研究員／元・工学院大学　電子工学科；化学工学科　

　～目次～
　実用例－３
・引っ張っても切れない人工毛髪，台所用スポンジ…
－しわにならないワイシャツ
－生体になじむアクリル樹脂
－カードも紙も再利用時代に
－形状記憶樹脂の点滴針

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機能材料マーケットデータ　
電池用構成材料ケミカルスの現状・・・・・・・・・・・・・・・・・74

　～目次～
　１．概要
　２．各種電池における開発・材料動向
　　２．１　一次電池
　　２．２　リチウムイオン電池
　　２．３　ニッケル水素電池
　　２．４　リチウムポリマー電池
　３．二次電池の市場動向
　４．二次電池メーカーの動向
　５．二次電池材料メーカー