■特集：光MEMSの現状と展望
○光MEMSの顕微鏡への応用／オリンパス／宮島博志
○MEMSスキャナによる小型三次元計測システム／埼玉医科大学／吉澤 徹・若山俊隆
○MEMS技術による光ファイバ内視鏡／東京大学／年吉 洋・中田宗樹・藤田博之／santec／両澤 敦・諫本圭史・鄭 昌鎬
○MEMSの近接場光メモリーへの応用を目指して／東北大学／小野崇人・岩見健太郎・江刺正喜／東海大学／後藤顕也
○ECO SCAN／日本信号／山本大樹
■製品特集：半導体を評価するためのレーザーを使った装置
○非接触式基板厚さ計測装置の紹介／日本レーザー／鶴田逸人
○ウェーハ表面検査装置WMシリーズ／トプコン／柿沼隆司・深津邦夫
○レーザーを使用した半導体評価装置／清原光学／清原元輔
○マスク検査装置／アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー／村上進午
○米国ONDAX社製VHG技術とその応用／ティー・イー・エム／加賀尚博
■解説
○高出力ファイバーレーザーの基礎と新しい可能性／電気通信大学／植田憲一
■製品技術紹介
○高出力ファイバーレーザの加工特性とその応用例／レーザックス／荒谷 雄
■連載：実用光センシングをきわめる―基礎と実際―（最終回）
○人の感性の工学的な表現／（元）近畿大学／稲荷隆彦