計測技術

■特集：マスフローコントローラの最近の動向
○マスフローコントローラーの最新動向/EZ-Japan/黒田　誠
マスフローコントローラ（MFC）の最新技術動向として、その流量測定原理上、根源的問題である流体種毎の流量換算係数であるコンバージョンファクター（CF）の信憑性は議論されて久しい。この問題に対するメーカー、そして業界の最新の取り組みを紹介する。

○FA市場の装置組込み向けマスフローコントローラ/アズビル㈱/原田賢吾
本稿ではFA市場の装置に搭載するマスフローコントローラとして必要十分な性能・機能を厳選し、市場で散見されるノイズによる不具合に向き合い、IoTへの対応を見据えたうえで、小型化とコストダウンを両立させた商品を紹介する。

○Brooks Instrument QUANTIMRの最新の応用例/ITWジャパン㈱/荻尾卓也
Brooks Instrumentコリオリ式流量QUANTIM Rシリーズは、これまで液体流量の微小計測・精密制御が求められる様々な産業において実績を残している。本稿では、その最新の応用例について、その製品概要とともに解説する。

○応答性自己学習型マスフローコントローラ/日立金属ファインテック㈱/杉本真郷
当社がこれまで製品化してきたMFCの機能を振り返り、それらの特長を記すとともに、最新の機能である応答性自己学習機能を搭載するHG200シリーズの紹介とその詳細を記述する。

○MEMSコリオリ式マスフローコントローラ/ブロンコスト・ジャパン㈱/杉山彰教
微小流量流体の取り扱いのためには、高精度・高信頼性の機器と適切な運用が欠かせない。本稿では、ブロンコストが更なる小流量流体の測定・制御のために開発しているMEMSベースのコリオリ式マスフローコントローラなどの新製品と新技術について紹介する。

○流量標準技術の開発と製品への適用/㈱堀場エステック/奥山隆弘
半導体製造分野をはじめとする市場からの流量の高精度化の要求に対しては、高度な測定とデータの信頼性確保が必要である。そのために行った流量標準器の開発、ISO/IEC 17025認定取得について述べ、あわせてプロセスガス流量測定方法の標準化についての取組みを紹介する。

○高速応答サーマルマスフローコントローラ/㈱リンテック/中村篤志
熱式質量流量計で高速応答のマスフローコントローラが実現できれば、圧力方式のマスフローコントローラを補完することが可能となる。そこで高速応答熱式マスフローコントローラ「MC7000」シリーズを紹介する。

■製品と技術
○耐圧防爆形圧力・差圧スイッチCD77シリーズ/長野計器㈱/山田哲靖
CD77シリーズは各種プラントでの圧力監視に使用可能な耐圧防爆形の圧力・差圧スイッチで国際整合技術指針（Ex2015）の他にIECEx、ATEX、KOSHAの防爆認証を取得している。本稿ではCD77シリーズの概要や特長について説明をする。

■技術資料
○代謝活性評価のための微生物プラットフォームを開発/大阪府立大学
同研究グループは、導電性高分子を利用して微生物を基板に固定する方法を開発した。このことで、微生物によるバイオフィルム形成をリアルタイムで追跡することができ、また、通性嫌気性細菌と好気性細菌 の好気条件下における呼吸活性がほぼ同レベルであることを初めて実証。本開発は、食中毒菌検査、薬剤感受性試験や抗菌性物質のスクリーニングなど、微生物の活性を利用する様々な分析・計測に利用可能な技術として期待されている。

■連載
○センサ基礎講座　第５回/（一社）次世代センサ協議会/石垣武夫
光センサ、特に可視光センサと赤外線センサについて、概略の説明を行った。可視光センサでは、光導電セル、フォトダイオード、イメージセンサ（CCD、CMOS）について、また、赤外線センサでは、量子型と熱センサについて概説した。

○マフロー千夜一夜物語　第57回/EZ-Japan/黒田　誠
第57回の今回は、マスフローメータ＆マスフローコントローラを他の配管機器との接続するのには欠かせない継手に関する解説を行う。マスフロー自体がスタンドアロンで使用できる機器ではなく、配管システムを構成する機器の一つであり、流体の流路を繋げていく役割を果たすのが、継手である。今回はその代表的なものを取り上げ、解説する。

○食品のトレーサビリティ　第31回/食品トレーサビリティシステム標準化推進協議会/大野耕太郎
食品トレーサビリティの変遷からグローバリズムの本質を考察する。食品トレーサビリティシステムの発端はBSEであり、牛肉の世界的流通が食品のトレーサビリティを共有認識にしたと言える。しかしグローバリズムは技術の進化とともにトレーサビリティにも変化をもたらしている。当初の食の安心・安全からリスクマネジメントや決済を取り込んでいこうとしている。その背後に見えるグローバリズムの本質を探る。

■コラム
○第41回　体系化されるセンサ技術/山崎弘郎

■製品ガイド
○酸素計