＜8月号目次＞
■ 特集：純水を取り巻く技術と現状
○ 最近の洗浄技術動向 日本エスイーゼット 増本哲己
○ 原水処理から2次純水まで、排水回収を含む 栗田工業 小林秀樹
大澤公伸
○ 超純水装置のバルブ 野村マイクロ・サイエンス 草野 徹
○ 純水・超純水の清浄度表示法のＪＩＳ化提案 横浜国立大学 松本幹治
○ 半導体産業排水の処理技術 オルガノ 恵良 彰
○ 最新の純水精製技術 日本ミリポア 石井直恵
金沢旬宣
■ 製品紹介
○ 超純水システムの保守管理 野村マイクロ・サイエンス 阿部俊和
○ 超クリーンＰＴＦＥ製渦流タービンポンプ ニクニ 亀井正志
和田公一
○ 耐食FRP製機器の評価について ニッポリエンジニアリング 阿曽隆幸
○ 超純水設備用プレート式熱交換機 日阪製作所 田原靖士
○ 超純水用分離膜 日東電工 田原伸治
別府雅志
○ ラボラトリ用新超純水製造システム オルガノ 鈴木菜穂子
■ コーヒーブレイク
○ ますます多様化するＩＴＲＳ 服部 毅
■ 解説
○ ナノデバイス時代の静電気対策 職業能力開発総合大学校 岡野一雄
○ 先端半導体ウェハーの表面評価技術 MIRAI-ASET／超先端電子技術開発機構 杉山直治
○ 大幅な省エネ化を実現したクリーンルームシステム空調設備 柳町空気調和エネルギー研究所 柳町 潔
■ 製品紹介
○ リアルタイムで測定可能な新しいタイプの粒子カウンター 東京ダイレック 濱 尚矢
○ 精密洗浄用超純水電解オゾン水製造装置 クロリンエンジニアズ 土門宏紀
○ 交流式防爆型除電装置 春日電機 八木新治