■特集：CO2削減に貢献する蒸気レス最前線
○総論 CO2削減に貢献する蒸気レス最前線／東京電力／原田光朗

　蒸気レスとは、従来の直接燃焼や蒸気等に依存していた加熱・加湿を熱源転換やヒートポンプの採用により蒸気をなくしたり、蒸気発生の高効率化を図るという意味で使用されている。本稿では特集の総論として全体を俯瞰するとともに、CO2の削減手法について提案する。


○電気トレース転換による省エネルギー効果／テクノカシワ／新田治義／タイコ サーマルコントロールズジャパン／永田一衛

　クリーンな環境を保つため、工場におけるプロセス配管／機器の保温、凍結防止を電気トレースと蒸気トレースで経済性、制御性、環境性を比較。また最新の電気トレース技術による省エネルギー効果、CO2削減効果について紹介する。


○ヒートポンプによる蒸気発生／東洋製作所／外村 琢・二宮達

　産業界ではCO2削減の手段として、ヒートポンプを利用した空調・給湯機を多く導入しているが、蒸気製造についてはボイラに頼っている。本稿では商用機で世界初となる蒸気製造可能な排熱回収ヒートポンプ式蒸気・温水製造装置について紹介する。


○ボイラ補給水予熱の省エネルギー効果とCO2削減／Q研技術士事務所／杉村允生

　筆者は多様な蓄熱計画に関与し、合わせて温室効果ガス削減にも取り組んでいる。本稿では、一般給湯におけるCO2削減、そして蒸気ボイラにおけるCO2削減の2つの事例について、図・表を多用しながら詳述する。


○蒸気エネルギー回収による省エネ技術／神戸製鋼所／松隈正樹・上原一浩

　「スクリュ式小型蒸気発生機SteamStar」は蒸気の未利用エネルギーの有効利用を図る小型の蒸気発電機である。少量の蒸気でも高効率な発電ができ、同時に減圧機能によって必要とする低圧の減圧蒸気を作ることができる。本稿ではその活用事例について紹介する。


○CO2ヒートポンプ乾燥システム／前川製作所／町田明登・西田耕作・門脇仁隆

　産業用の乾燥システムや加熱システムをターゲットとし、当社の産業用・業務用CO2ヒートポンプ給湯機をベースに加熱能力100kW、最高120℃までの熱風を発生させることができるヒートポンプシステムの開発を行った。本システムは、従来のボイラシステムと比較して、CO2排出量を60～76％削減できる画期的システムである。


○ハイブリッド給湯・蒸気システム／日本サーモエナー／森田明夫

　産業用蒸気システムの省エネルギー化や地球温暖化の新しい対策として、従来のボイラと高効率であるヒートポンプ給湯機を組み合わせた、ハイブリッド給湯・蒸気システムの概要、および導入事例について紹介する。


○ターボ冷凍機の冷却水利用・温水供給システム／ダイキンアプライドシステムズ／松村一美

　ターボ冷凍機においてはCOP6を超えるものが多く採用されているが、熱源システム全体の高効率化には機器だけで行うには限界がある。本稿では、システム全体の効率アップをすべく冷却水を利用したもの、および温水供給のシステムについて紹介する。



■コーヒーブレイク
○半導体産業のちょっと気になる話／服部 毅

■解説
○シリコン表面におけるオクタノール分子の吸着脱離挙動／横浜国立大学／羽深 等・川原慎洋

　多成分系有機物吸着汚染モデルを用いてシリコン表面における有機物汚染挙動を記述するため、有効最大吸着表面濃度と吸着・脱離速度定数を体系的に決定する方法を提案する。併せて、その方法をオクタノールの吸着・脱離速度定数の決定に適用した例を紹介する。


○クリーンルーム省エネルギーの実態調査／日本産業機械工業会 クリーンルーム委員会

　電子関連施設におけるクリーンルーム省エネルギーの実態についてアンケート調査を行った。本調査により、機器・装置単体での省エネルギー対応は多いが、システムでの対応は相対的に少ないことがうかがえ、今後システムの工夫による省エネルギー効果の向上の余地があると考えられる。


○30nm以下粒子除去フィルターの新規定格方法／日本ポール／水野豪仁

　半導体クエーハ、デバイス製造において管理されるパーティクル径が30nm以下になり、従来のフィルター定格法では30nm以下に対応できない。本稿では金ナノ粒子およびDSL／ICP－MSを用いた新規定格法を紹介する。


○MRG滅菌技術／ウイングターフ／羽柴智彦／大阪大学／民谷栄一

　今まで不可能であったコンピュータ等の精密機器内部の滅菌が可能になり、医療用ロボット、ゲノム解析装置等の滅菌・ゲノムハザード対策を可能としたMRG滅菌システムについて、適用事例等とも合わせて紹介する。



■製品紹介
○デジタル静電電位、電荷量測定器／春日電機／八木新治
○PAT対応新型TOC計／ハック・ウルトラ／厚木辰三
○クリーンルーム内における包装資材の帯電防止について／アソー／桑村浩幸

■企業シリーズ
○半導体超純水の水質変化トレンドモニタ／セントラル科学／松永広助

■基礎講座：進化するプリント配線板とクリーン化技術入門 1
○プリント配線板の基礎知識／小林技術事務所／小林 正／長谷川技術事務所／長谷川堅一

■連載：半導体製造装置の新たなクリーン化の課題 2
○水分子による汚染とその対策／東京エレクトロン／守屋 剛・松井英章