<7月号目次>
■特集:クリーンテクノロジーの変遷と展望
【電子分野】
○半導体製造におけるクリーン化技術の変遷と展望 ㈱ルネサステクノロジ 林出吉生
○半導体クリーンルームの変遷と展望 第一施設工業㈱ 技術顧問 橋本孝禧
○クリーンルーム用部材のケミカル汚染対策の変遷と展望 清水建設㈱ 田中 勲・梶間智明
○液晶製造におけるクリーン化技術の変遷と展望 日本アイ・ビー・エム㈱ 北原洋明
○ハードディスク製造におけるコンタミネーションコントロールの変遷と展望 福井工業大学 浅田敏勝
【製薬・医療・食品分野】
○製剤工場の清浄化技術の変遷と展望 本誌編集委員 朝倉康之
○医薬品GMPの変遷と展望 JPC研究所 中村宥治
○HACCP技術の変遷と展望 ㈱GSIクレオス 学術顧問 倉田 浩
○バイオクリーン手術室の発展と展望 東京医科歯科大学 古橋正吉
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■解 説
○分子シュミレーションによるケミカル汚染物質の吸着挙動解析 新日本空調㈱ 神戸正純 東北大学 宮本 明
○クリーンルーム内高濃度有機ガスの温室浄化 清水建設㈱ 岡田 博
○ICP-MSによる半導体材料中の超微量金属元素の分析 ㈱三井化学分析センター 米重嘉寛
○光散乱式粒子計数器の校正方法とそれに関わる諸問題 (財)日本品質保証機構 片桐拓朗
○半導体工場の振動対策と条件 富士通㈱ 岩坪竜二
○65nmデバイスのエッジクリーニング効果 セミツール㈱ Dana.R.Scranton
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■「第13回ファインテック・ジャパン」開催記念 製品ガイド
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■製品紹介
○省エネ型ガス除去空調機「G-GET」 高砂熱学工業㈱ 永岡真紀
○多段式枚葉スピン洗浄システム「ASTRAIA」 エム・エフエスアイ㈱ 小林徳弘
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■コーヒーブレイク
○ベルギーにて ソニー㈱ 服部 毅
目次
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