<1月号目次>
■ 特集1:イオン、プラズマを使ったクリーン化最前線
○ 空気イオンとその清浄化性能に関する検証 国立保健医療科学院 柳 宇
池田耕一
鍵 直樹
○ 酸素ラジカルによるアレルゲンの不活性化 高砂熱学工業
理化学研究所 阪田総一郎
阪口雅弘
○ 放電と触媒を用いた有害ガス分解除去技術 三菱電気 古橋拓也
○ プラズマCVD装置内でのダストの静電除去 広島大学 島田 学
林 豊
○ 大気圧非熱平衡プラズマによるVOC除去 東京大学 小田哲治
○ コロナ放電により発生するイオンの質量分析 高知工業高等専門学校 長門研吉
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■ コーヒーブレイク
○ 米国ロスアンゼルスにて 本誌編集委員 服部 毅
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■ 特集2:自然災害(地震・台風・雷)における安全対策
○ 瞬低対策機能付きNAS電池システム 東京電力
明電舎 鈴木健一
真鍋裕一
○ 瞬低補償用SMESのフィールド稼働状況および今後の動向 中部電力 長屋重夫
○ 無停電電源装置(UPS)の最新動向 富士電機システムズ 東海林義弘
○ バックアップ電源(UPS)の動向と山洋電機のUPS 山洋電気 奥井芳明
○ オムロンの無停電電源装置の紹介 オムロン 林 昭
○ 指月電機 バッテリーレス高圧瞬低対策装置の紹介 指月電機製作所 矢部久博
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■ 解説
○ 半閉止板を用いた天井レターン方式クリーンルーム 日立プラント建設 横田繁夫
○ 6インチウェハ用超臨界微細構造乾燥装置 日立サイエンスシステムズ 高須久幸
高堀 栄
岩谷 徹
平島智康
○ ミニエンバイロメント内部高清浄化技術 日立プラント建設 頭島康博
渡邊浩之
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■ 製品と技術
○ 次世代Cu/Low-K材の平坦化実現解 荏原製作所 辻村 学
○ 簡易型クリーンブース「フワクリーン」 高砂熱学工業 荒川宏樹
目次
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