計測技術

特集：半導体プロセスで活躍する計測技術・機器及びそのアクセサリー
■プロセスを進化させる新開発の隔膜真空計
／アズビル㈱　佐藤公洋
日々進化する半導体プロセス装置のニーズに合わせて当社が開発したサファイア隔膜真空計 形 V8を紹介する。形 V8はMEMS技術を駆使して実現した優れた耐デポ性能、高温環境への対応、応答速度向上等の特長により従来の課題を解決し、顧客要望に応える。
■半導体プロセス向け液体濃度計測
／ヴァイサラ㈱　夏井敬史
当社の半導体プロセス向け屈折計P R-33-Sは、泡・微粒子の影響を受けることなく半導体薬液の濃度計測が可能。長期にわたってメンテンナンスも不要のためCMPスラリー中の過酸化水素濃度をはじめとする用途で数多くの実績がある。
■ 低コスト基板を量産でテストする：課題とその取り組み
／キーサイト・テクノロジー㈱　Shawn Lee
低価格エレクトロニクス製品の需要増加に伴い、製造業者はコスト削減や生産効率向上が求められているが、それらに使用される回路基板のテストプロセスでも同様の課題がある。本稿では、複数の基板を同時にテストする高速インサーキットテスターで、量産時の課題に対処する方法を紹介する。
■半導体プロセスにおける液体流量・液体温度の計測
／コフロック㈱　古川俊太
半導体プロセスにおいて液体流量を計測するということ及び温度変化に対する対応を活躍する計測技術・機器及びそのアクセサリーという視点で紹介する。
■ ハイブリッドレーザによる銅溶接技術
／古河電気工業㈱　土橋優香
省エネ化・省電力化の動向を背景に、高耐圧で大電流の通電が可能なパワーデバイスの需要が高まっている。これらパワーデバイスを構成している銅材料の加工ニーズに応えるため、近赤外光のファイバレーザと青色半導体レーザを組み合わせたハイブリッドレーザ技術による銅加工のソリューションをについて紹介する。
■熱式・コリオリ式質量流量計・コントローラ
／ブロンコスト・ジャパン㈱　杉山彰教
半導体プロセスにおいて、原料供給やパージなどのために多様なガス及び液体の流量を測定・制御する場面で、熱式及びコリオリ式の質量流量計・コントローラがしばしば用いられる。本稿では、ブロンコスト製品の半導体プロセスにおける適用例を３点紹介する。
■静電容量型隔膜真空計の要素技術開発
／㈱堀場エステック　神鳥沙都季
真空プロセスの高度化・複雑化に伴い、様々な材料ガスの使用、微小な圧力変化の測定が必要であることから、ガス依存性のない高精度な真空計のニーズは高まっている。当社はこの要求に応えるため、静電容量型隔膜真空計VGシリーズを開発した。本稿では、VGシリーズの要素技術開発について報告する。
■ 半導体の製造に欠かせない微生物測定のオンライン化
／メトラー・トレド㈱　八木橋義仁
半導体製造で使用される超純水の微生物測定では、結果判明まで数日を要する培養法が用いられている。微生物測定をオンライン化する事により、最終製品、超純水の品質管理、工程制御の向上が見込まれる。

解説
■PCによる産業フィールドバス活用技術
／㈱マイクロネット　篠崎勝利
産業フィールドバスは、制御システムの通信やI/Oを効率化する重要な技術である。特に、EtherCATはその高速性とリアルタイム性により、多くの産業分野で注目されている。本稿では、PCベースで制御コントローラを開発する際の選択肢となる、EtherCATマスターソフトウェアRSI/RSW-ECATに焦点を当て、その機能、メリット、および開発方法について紹介する。また、適用事例を用いて、産業制御システムの開発にどのように貢献するか、および、どのような効果があるのかについて解説する。

特設記事
■発電所における制御機器と配管系の管理
／東芝エネルギーシステムズ㈱　山本隆弘
本稿では、蒸気弁制御機器および制御油圧系統の解説とともに制御機器のトラブル未然防止の管理手法について紹介する。

製品と技術
■ PCとリアルタイムOSで動作するソフトウェアPLCの紹介
／㈱マイクロネット　石川克之
PCとリアルタイムOS「INtime」を使用してWindowsを並列仂作させながら最速0.1ミリ秒の制御性能を持つ産業用リアルタイムソフトウェアPLC「INplc」を紹介する。

連載
■食品のトレーサビリティ　第70回
／ 食品トレーサビリティシステム標準化推進協議会　大野耕太郎
ロシア・ウクライナ戦争以降、食料安全保障がクローズアップされてきた。ことに食料自給率が低く、輸入に依存する我が国においては、客観情勢の激変に伴い、60年ぶりに食料基本法の改正がなされる。今まで安全保障は外交ことに防衛力において使われていたが、にわかにエネルギー・食料にも安全保障という言葉が飛び交うようになった。その元となる食料主権とは何か、様々な論説が飛び交う中、この「主権」について考察してみたい。
■計測の小史　第16回
／㈱武藤技術研究所　武藤一夫
本連載では、計測工学の原点を見つめなおす、ということで計測の小史について見ている。本稿では、第16回目として、近世の19世紀後半の1859年までの計測の小史について見てみる。

製品ガイド
■酸素計

★★★★☆2021年10月23日 kt 会社員
計測技術はまれにピンポイントでいい記事がでます

★★★★☆2020年05月13日 いし 社長
専門的な情報が充実しており大変参考になる。

★★★★☆2009年07月07日 いぶし銀 会社員
計測機器メーカーがお客様なので、どんな部品をなぜ必要としているのか、他にどんなご要望があるのかを知りたくて購読しています。おかげさまで、どんな製品をお勧めすればよいか納得することができ、お客様との打ち合わせでも話が弾むようになりました。こういう知識は一からお客様にお尋ねするのははばかられるので、お会いする前の基礎知識をつけるのに最適です。

★★★★☆2009年01月08日 つくばの邦ちゃん 無職
環境問題がクローズアップされている現在、一昔前までは化学物質の分析などに数多く使用されていたし、計量法の検定対象とされていたガラス製体積計についての構造や使用上の注意点などの基礎が書かれており、原点を学ぶ大切さを教えてくれる〔解説〕で大いに参考になる記事である。