■特集：半導体製造工程で使われている検査計測機器
○半導体カーブトレーサ/岩通計測㈱/成田芳正
○パワーデバイス向け信頼性検査装置/エスペック㈱/栗谷聡一
○非走査共焦点方式三次元形状計測/㈱高岳製作所/日名子達也
○光学式ウェーハ外観検査装置/東レエンジニアリング㈱/山本比佐史
○カラーチップ外観検査装置の最新検査手法/㈱トプコンテクノハウス/上村拓人
○生産効率および歩留まりの向上に貢献するプラズマ発行モニター技術/浜松ホトニクス㈱/増岡英樹
○半導体市場における新しい膜圧測定技術/フィルメトリクス㈱/井口恭
■特集：安全計装システムの現状2
○安全性と効率性を追求した安全計装システム/シーメンスジャパン㈱/雨宮祐介
○拡張性に優れた安全計装制御システム/ロックウェル　オートメーション　ジャパン㈱/吉田高志
○緊急遮断システムに対する信頼性の追求/東燃ゼネラル石油㈱/室屋耕一郎
○石油化学工場の安全計装導入事例/極東石油工業合同会社/大渕桂
■製品と技術
○クレーバースコープ/〔原文〕クレバースコープ社/Bart Schroder〔翻訳〕TUI　Solution㈱/村岡仁之
■連載
○PID制御系を支える周辺技術を支える深耕とその応用　第36回　(最終回)
制御技術の開発および応用に関する指針の提言/ワイド制御技術研究所/広井和男
○電気の世紀へ　第11４回
光電子増倍管と宇宙への挑戦/松本栄寿
○JCSS コーナーリニューアルのお知らせ/（社）日本電気計測器工業会
■製品ガイド
○面積流量計
■コラム
○技術者育成雑感（75）