■特集：スマート保安の現状④ 振動計測、監視技術とソリューション
○振動解析技術を用いた設備予兆監視システム/オムロン㈱/竹下勝治
近年、製造業はIoT化というキーワードとともに予兆保全の取り組みが注目されている。本稿では、予兆保全を実現する当社の振動解析技術を活用した「設備予兆監視システム」の紹介と予兆保全の実現ステップについて説明し、その導入事例を解説する。

○小型無線振動センサの搭載技術とその活用/㈱村田製作所/相坂祐子
世界シェアが高い圧電振動センサと無線通信モジュールおよび周辺部品に至るまで当社製品を応用し、ソフトウェア設計から製品評価まで当社の各種技術を用いた、IoT社会で活用できる振動センサを開発・販売している。本稿では、振動センサに搭載している主なハードウェア技術、ソフトウェア技術に関して紹介する。

○多点型レーザー振動計による設備の振動監視/沖電気工業㈱/藤井亮浩・木村広太・丹野洋祐・佐々木浩紀
光スイッチを用いて時分割的に計測対象を切り替えることで複数点での振動測定が可能となる多点型レーザー振動計の概要、及び評価結果を報告する。本装置により、100m四方に散在した大規模な製造現場やプラントの網羅的な振動測定が可能となる。

○設備監視用振動センサ/㈱イージーメジャー/濱本敏志
プラントの高経年化、設備保全ベテラン社員勇退等という環境の中、デジタルトランスメーション（DX）の一環として、AI・IoTによりプラント内各機器の振動監視ニーズが大きくなっている。本稿では、振動監視する際に重要な「振動監視用振動センサ」の専門メーカーであるCTC社製品を紹介する。

○製造DX向け音響・振動による産業機器のAI異常検知/富士通㈱/佐藤達博/㈱アニモ/大田恭士・今竹 渉
AIを使った音響・振動による異常検知により、製造の現場での生産設備の異常予兆検知、構造物点検、完成品検査などに活用が見込まれており、フリーロールの点検やカシメ機のパンチの劣化検知における導入事例で、その技術を紹介する。

■特集：活躍するマスフローコントローラ
○ひとめで制御状態を把握できる、高速応答・高精度なマスフローコントローラ/アズビル㈱/中島 陸
当社は独自のMEMS技術により、一目で制御状態を把握できる高速応答・高精度なデジタルマスフローコントローラ形F4Qを販売開始した。本稿では、様々な現場の課題に対して提供できる価値について、製品説明を通じて紹介する。

○サーマル式マスフローコントローラーの最新応用例/ITWジャパン㈱/荻尾卓也
Brooks Instrumentサーマル式マスフローSLA5800シリーズの最新情報をバイオ医薬品産業への応用例をもとに紹介する。

○石英製大流量気化器の開発/㈱リンテック/落合慧紀・林 柏亨・頼 穎賢・陳 侑群
我々が開発した石英気化器は、接液部に石英ガラスを使用し、メタルコンタミネーションフリーを実現した気化器である。本器を利用することで、金属腐食性のある薬液では困難であった、大流量且つ定濃度の気化ガスを供給することが可能となる。

○MFCの“いま”/コフロック㈱/田中雄大・岩﨑稜太
MFC本来の役割は流量制御だが、業界からのニーズに応えて様々な付加価値が生まれ多様化してきている。本稿では、PI機能付きMFCや各種通信規格に対応したデジタルマスフローなどを例に挙げ、MFCに“いま”求められている特殊な仕様や機能について紹介する。

○マスフローコントローラの現状と今後の展開/ヘンミ計算尺㈱/松永直己
当社マスフローコントローラの動作概要、特長であるセンサ・バイパス・バルブの説明と、マスフローコントローラの採用実績、今後の取り組みについて紹介をする。

○高速応答制御マスフローコントローラ/センシリオン㈱/井上敏夫
当社独自のCMOSensRテクノロジーによる高精度でワイドレンジな流量測定及び高速制御の性能は他社の追従を許さず、ガスの流量制御、あるいは体積量測定を重要視する検査機器、医療機器、半導体生産工程などの分野において、精度の高い流量制御が可能な製品である。

○マスフローコントローラ/エフコン㈱/山中邦昭
半導体製造装置に欠かせないマスフローコントローラは、高集積化や微細化が進む都と共に進化を続けている。今後さらにデジタル化が進みIoTやAIの活用は広がることが予測されており、半導体業界以外でもマスフローコントローラの将来的な有用性に期待したい。

■連載
○マスフロー千夜一夜物語 第75回/EZ-Japan/黒田 誠
「質量流量計」は熱式とコリオリ式に分類される。流体種、混合比率に支配されない“完全な質量流量計”であるコリオリ式は、製造プロセスの再現性を一気に向上させることができると高く評価されつつある。コリオリ式流量計を用いた最新の食品製造装置、半導体製造装置でのアプリケーション例を紹介する事で、その現状を解説する。

○食品のトレーサビリティ 第52回/食品トレーサビリティシステム標準化推進協議会/大野耕太郎
2020年武漢より発生した新型コロナウイルスは瞬く間に世界中を覆い尽くした。感染対策においてはPCR検査による陽性者の検出、メッセンジャーRNAワクチンという未知の取り組み。経済的には未曾有の財政出動、そしてサプライチェーンの変革と、まるで地球規模の実験場のようである。今もう一つの実験であるコロナウイルスの抑制を科学的知見で行うのかまたは国家主権の発動によるのかという実験であるについて考察したい。

■コラム
○第66回 オンライン開催されたIMEKO2021山﨑弘郎

■製品ガイド
○面積流量計