■特集：半導体プロセスで活躍する計測技術・機器
○半導体材料ガス漏洩監視のソリューション/理研計器㈱/小菅 哲
当社のマルチガス検知器GD-84D型は１台で最大４種類までガス漏洩を監視することができる新しいタイプのガス検知器である。数多くのガス検知器を使用する半導体工場において大幅なコストダウンを図りつつ、安心・安全なガス漏洩監視を実現できるソリューションを紹介する。

○DX時代のエッジコントローラ＆I/O/横河電機㈱/南 雅輝
製造現場におけるAIや機械学習、クラウドなどを用いたDX（デジタルトランスフォーメーション）導入に必要なエッジの役割について解説し、現場へのスムーズな導入に役立つエッジコントローラ（e-RT3 Plus）およびリモートIO（VZ20X）を活用例と併せ紹介する。

○最先端半導体デバイス製造における最新の流量制御技術/ITWジャパン㈱/荻尾卓也
最先端半導体デバイスはアーキテクチャの転換期を迎え、プロセスはますます高度化している。クリティカルな要求に応えるBrooks Instrument社の半導体向け製品をその応用例とともに紹介する。

○耐食性材料 “MATR21”適用マスフローコントローラ/日立金属ファインテック㈱/板谷真明
半導体製造技術の発展により、ガス種／流量／温度／圧力／差圧など様々な条件で使用できるマスフローコントローラ（MFC）が求められている。接ガス部分の腐食についてMFCへ与える影響と現在の腐食対策を述べるとともに、その解決策の一つとして当社開発耐食性合金の適用について紹介する。

○半導体製造施設における信頼性の高いレベル計測/日本エマソン㈱/Varshneya Sridharan
ローズマウントのレベル計が半導体ユーザーに課せられた技術的課題を解決した二つの具体的なケーススタディを紹介する。

○高速応答液体微小流量センサー/センシリオン㈱/井上敏夫
当社独自のCMOSensR技術は流路に対して非接触にもかかわらずuL/minレベルの微小流量を測定することができることから、液体の流量監視、体積量測定を重要視する半導体生産工程の分野において、精度の高い流量測定が可能である。

○半導体製造における「超音波濃度計」の活用性例/富士工業㈱/大隅清博
半導体業界において計装品に求められる内容と、超音波利用の濃度計、粘度計の現状や今後の対応を、測定原理、運用時の課題などの他、計装品メーカーとしての考えを含め紹介する。

○走査型液中ナノパーティクルカウンターによる3 nm液中計測/日本カノマックス㈱/平崎太一
走査型液中ナノパーティクルカウンター3（STPC3）は、最先端の半導体製造分野での超純水（UPW）や、UPWにより希釈した化学薬品のトータル品質モニターとして、3 nm以上の液中粒子、および粒子前駆物質の計測を可能にする。

○環境計測及び揮発性有機化合物（VOC）検知器とその応用/新コスモス電機㈱/中川博司
当社の低濃度検知に優れた熱線型半導体式ガスセンサの原理と特徴について解説し、このセンサを搭載した製品と応用事例について紹介する。

○3元形状測定と抵抗測定の測定技術/フィルメトリクス㈱/井口 恭
形状測定・粗さを含む３次元表面形状測定と抵抗測定について、半導体のプロセス管理や品質管理で利用されている測定事例を紹介する。

○現場で活躍する顧客ニーズに合ったオンラインTOC連続測定システム/㈱ティ・アンド・シー・テクニカル/矢作 昇
オンライン分析計は、水質汚濁防止の観点より用いられており、各種産業毎で、管理指標を設定した水質管理にも幅広く用いられている。本稿では、全有機炭素計（TOC）と導入事例を紹介する。

■連載
○マスフロー千夜一夜物語 第76回/EZ-Japan/黒田 誠
質量流量計であるマスフローメーター、マスフローコントローラー。これらの中でも非常に特殊な存在である高温用マスフローという分野にスポットライトを当て、250 ℃という今までに存在しなかった超高温対応製品を紹介し、そのブレイクスルーとなった技術を解説する。

■コラム
○第67回 半導体工場の火災の影響/山﨑弘郎

■製品ガイド
○レベル計

◆2021年 年間総目次