クリーンテクノロジー 発売日・バックナンバー

■ 特集：次世代超大型ガラス基板ＦＰＤ工場の生産革命動向
○ 次世代超大型ガラス基板液晶工場の生産革命動向 イーキャッツ 林 武秀
○ 電子部品製造工程からの有機排気ガスの処理方法 大気社 田中信平
○ 次世代超大型ガラス基板用搬送システム ジェイティエンジニアリング 栗原弘明
○ アルバックG8対応縦型スパッタリング装置 アルバック 佐藤重光
○ 芝浦メカトロニクスのG8対応縦型洗浄装置 芝浦メカトロニクス 廣瀬治道
○ G8対応縦型枚葉評価装置 ナプソン 細川理彰
○ 第8世代対応ガラス基板検査装置 日立ハイテクノロジーズ 南 博文

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■ コーヒーブレイク
○ 今年の半導体産業の景気を占う 本誌編集委員 服部 毅

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■ 解説
○ ギ酸を用いた低温ドライクリーニング技術の
Ｃｕ/Ｌｏｗ－ｋ配線プロセスへの応用 富士通 瀧川幸雄
○ 家電製品からのＶＯＣｓ放散測定 エスペック 瀬川荘司
森本雅文
浜口祐一
井餘田敏之
○ 材料からのSVOC放散促進要因の解明 東京大学
慶應義塾大学 加藤信介
勝又寛子
村上周三
○ ホルムアルデヒド気中濃度予測手法の研究 長谷工コーポレーション
千葉工業大学 木村 洋
小峯裕己
○ クリーンルームにおける気流設計と除電対策の概説 三機工業 植村 聡
○ 発熱負荷のあるクリーンルーム室内環境に関する検討 三建設備工業 何原一平
大阿久一輝
水谷国男

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■ 製品紹介
○ 次世代マクロ観察検査ツールGEOSCAN（ジオスキャン） 日本ミニ
コンピュータシステム 小瀧健一
○ 地球環境対応型フッ素系洗浄剤 日本ゼオン 木山晴之　

■ 特集１：薬事法改定をふまえた医薬品製造
○ 薬事法改定による製薬産業の将来展望 Show Q Corporation 朝倉康之
○ 日本版無菌医薬品の製造ガイドラインの紹介 国立感染症研究所 佐々木次雄
○ 医薬品製造用水の微生物管理 大阪大学　 馬場貴志
那須正夫

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■ コーヒーブレイク
○ サムスン恐るべし！（上） 本誌編集委員 服部 毅

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■ 特集２：我社の静電気防止機器及び部材
○ ヒューグルエレクトロニクスの静電気防止装置の紹介 ヒューグルエレクトロニクス 下村浩一
○ 高密度除電処理・除塵処理システム 春日電機 野村信雄
○ 「制電・ノンハロ難燃トリカルネット」について タキロン 日野林譲二
松山眞三
○ クリーンエリアのイオナイザー使用について シムコジャパン 伊藤宗孝
○ シシド静電気の静電気防止装置 シシド静電気 和泉健吉

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■ 解説
○ VOC気中濃度予測手法に関する研究 長谷工コーポレーション 木村 洋
千葉工業大学 小峯裕己
○ 鉛フリーはんだと導電性接着剤実装技術 大阪大学 菅沼克昭
○ 空気清浄のためのAMCsの分析/評価方法(Ⅰ) 住化分析センター 平 敏和
飯田裕幸
竹田菊男
藤本武利
○ 半導体製造用クリーンルームにおける
空気清浄化方法の変遷と今後の動向 朝日工業社　 本田重夫
○ エアフィルタの種類と変遷 進和テック 武田隼人
○ イメージング遠隔パーティクルカウンター 日本原子力研究所
開発機構 大図 章
新日本空調 岡本隆太
川北裕司
○ 改良型２流体ノズルによるダメージレス洗浄 ルネサンステクノロジー 菅野 至
鄒 紅コウ

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■ 製品紹介
○ シリコンウェハーエッジ部及び（裏面）の洗浄技術 日本エスイーゼット 松井 淳
○ アルバックのＭＥＭＳ用エッチング装置 アルバック 森川泰宏

■ 特集１：１５周年記念
○ 15周年記念「クリーンテクノロジー」15周年記念号によせて 日本空気清浄協会 中江 茂
○ 「クリーンテクノロジー」15周年に寄せて Show Ｑ　Corporation 朝倉康之
○ “「クリーンテクノロジー」15周年を迎えて 日立プラント建設 鈴木道夫
○ 「クリーンテクノロジー」15周年に寄せて 三機工業 長谷川勉
○ 「クリーンテクノロジー」15周年に寄せて 新日本空調 水谷 旬

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■ 特集２：半導体製造装置のクリーン化技術
○ 次世代半導体製造のクリーンテクノロジー ソニー
ソニーセミコンダクタ九州 服部 毅
清田久晴
○ プラズマエッチング装置のパーティクル低減 東京エレクトロンAT
広島大学 守屋 剛
島田 学
奥山喜久夫
○ 半導体製造装置からの発塵 三菱電機 園田信夫
○ 半導体LSIクリーン化の現状と将来 NECエレクトロニクス 白水好美

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■ コーヒーブレイク
○ 凋落する日本の半導体製造技術 本誌編集委員 服部 毅

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■ 特集３：ＭＥＭＳ市場と技術の動向
○ 総論 : MEMS市場と技術の動向 東北大学 江刺正喜
○ ＭＥＭＳプロセスとＬＳＩプロセスの類似点と相違点 東北大学 羽根一博
○ MEMSの魅力と技術動向 メムス・コア 本間孝治
○ 大日本印刷のＭＥＭＳファンドリー 大日本印刷 鈴木浩助
○ 松下電工のＭＥＭＳ技術とファンドリーサービス 松下電工 富井和志
○ 住友精密のMEMS加工装置とプロセス技術 住友精密 田中雅彦
○ 常温接合を用いたウェーハ接合装置 三菱重工業 井手健介
○ サムコのMEMS製造装置 サムコ 野中知行
倉富直行
中野博彦

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■ 解説
○ 空気清浄のためのAMCsの分析評価方法（Ⅱ） 住化分析センター 飯田裕幸
平 敏和
竹田菊男
藤本武利

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■ 製品紹介
○ 湿式コロナ放電装置の開発 リコーエレメックス 緒方禎浩
怒木博昭
加藤哲也

＜１月号目次＞
■ 特集1：イオン、プラズマを使ったクリーン化最前線
○ 空気イオンとその清浄化性能に関する検証 国立保健医療科学院 柳　宇
池田耕一
鍵 直樹
○ 酸素ラジカルによるアレルゲンの不活性化 高砂熱学工業
理化学研究所 阪田総一郎
阪口雅弘
○ 放電と触媒を用いた有害ガス分解除去技術 三菱電気 古橋拓也
○ プラズマCVD装置内でのダストの静電除去 広島大学 島田 学
林 豊
○ 大気圧非熱平衡プラズマによるＶＯＣ除去 東京大学 小田哲治
○ コロナ放電により発生するイオンの質量分析 高知工業高等専門学校 長門研吉

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■ コーヒーブレイク
○ 米国ロスアンゼルスにて 本誌編集委員 服部　毅

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■ 特集２：自然災害（地震･台風・雷）における安全対策
○ 瞬低対策機能付きNAS電池システム 東京電力
明電舎 鈴木健一
真鍋裕一
○ 瞬低補償用SMESのフィールド稼働状況および今後の動向 中部電力　 長屋重夫
○ 無停電電源装置（UPS）の最新動向 富士電機システムズ 東海林義弘
○ バックアップ電源（UPS）の動向と山洋電機のUPS 山洋電気 奥井芳明
○ オムロンの無停電電源装置の紹介 オムロン 林 昭
○ 指月電機 バッテリーレス高圧瞬低対策装置の紹介 指月電機製作所 矢部久博

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■ 解説
○ 半閉止板を用いた天井レターン方式クリーンルーム 日立プラント建設　 横田繁夫
○ 6インチウェハ用超臨界微細構造乾燥装置 日立サイエンスシステムズ 高須久幸
高堀 栄
岩谷 徹
平島智康
○ ミニエンバイロメント内部高清浄化技術 日立プラント建設 頭島康博
渡邊浩之

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■ 製品と技術
○ 次世代Cu/Low-K材の平坦化実現解 荏原製作所 辻村 学
○ 簡易型クリーンブース「フワクリーン」 高砂熱学工業 荒川宏樹

＜12月号目次＞
■ 特集：クリーンルーム・熱源設備におけるCO2削減実績の紹介
○ 総論：クリーンルームにおける
高効率熱源システムの構築とCO2削減対策 高砂熱学工業 渡部純三
○ 「コージェネレーション→系統電力」による
CO2削減と省エネルギー エヌアールイーハピネス 杉本有司
佐伯昭博
○ 「ターボ⇒高効率ターボ冷凍機更新」による
CO2削減＆省エネルギー事例紹介 ソニー 桑原康浩
○ 冷凍機システム更新による冷凍電力削減 サッポロビール 吉田茂広
○ 熱源設備のCO2削減への取り組み 沖環境テクノロジー 松木幹雄
中村　淳
○ 高効率ターボ冷凍機と電力貯蔵用電池システム
（ナトリウム・硫黄電池）の導入効果 国立環境研究所 竹内　正

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■ コーヒーブレイク
○ 目で見る”セミコン・ウエスト2005” 本誌編集委員 服部毅

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■ 解説
○ 空調システムにおける微生物汚染の対策（その１） 国立保健医療科学院 池田耕一
柳　宇
鍵　直樹
○ 超純水中の微粒子計測についての現状と今後 栗田工業 福井長雄
○ クリーンルームは省エネの宝庫 山武 塚越隆啓

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■ 製品紹介
○ 電動スライダー「Ezlimo」クリーンルーム対応の紹介 オリエンタルモーター 政田哲也
○ 耐熱性PTFEフィルター 日本精線 越智隆裕
○ Ｓｕｒｆｅｘを用いた複雑形状表面粒子測定 ソナック 池田卓司
○ ホルムアルデヒド試験紙による室内空気の
簡易検出法とその応用 関東化学 藤川敬浩
○ エッジ研磨技術の採用で歩留まりが大幅に向上 日立ハイテクトレーディング 福田一
○ KAMATAクリーンブース 蒲田工業 百済直範
○ 純水から各種液体の脱気・ガス溶解に適した分離膜 セルガード 大嶺　浩
○ ケミカルフィルタによるAMCｓ除去と寿命予測 日本マイクロリス 大屋敷靖
○ 超高純度ガス自動分析システム 大同エアプロダクツ・エレクトロニクス 川崎文男
エア・ウォーター 小南隆二
吉田英明

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■ その他
○ セミコン・ジャパン2005の見どころ SEMIジャパン

＜11月号目次＞
■ 特集１：HDD製造を支える周辺技術の最新動向
○ クリーンルーム環境におけるSO2によるHDDディスク基盤の表面汚染と腐食 金沢大学 大谷吉生
並木則和
山形富士通 小松明弘
○ HDD業界動向 富士キメラ総研 塩原一平
○ HDD製造における汚染物質の分類とクリーンルームの汚染制御技術 テクノ菱和 田村　一
○ 粒子モニタリングシステム 九州リオン 櫛山一利
リオン　 東　圭
阿部敏之
蛭田陽一

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■ コーヒーブレイク
○ 続・アルバニーにて 本誌編集委員 服部毅

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■ 特集２：クリーンルームにおける静電気対策
○ 各種帯電防止床材と使用方法 東京都中小企業振興公社 殿谷保雄
○ クリーンルームの静電気対策 大成建設 三宅伸幸
上田俊彦
○ 今後の静電気対策及びクリーン化技術 アキレス 西島正敬
○ クリーンルーム用靴と床材の関係について 住友スリーエム 沼口敏一
中川徹
○ 「CNT静電シリーズ」について タキロン 井平　誠
○ 液化ガス洗浄装置内のウエハーハンドリングにおけるPWPの測定 Ion System(米国) L.B.Levit
Rob.K.Brown
翻訳：原田産業 鋒治幸
駒形泰史
○ 床材評価用機器の紹介 シシド静電気 和泉健吉
○ イオナイザの性能評価について トレック・ジャパン 高橋忠

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■ 解説
○ 生ゴミの処理に関する実践的研究 福井工業大学 浅田敏勝
木下雄介
西東栄介
川越敬介
○ 微生物制御の現状と将来　　　　　　　　 大阪大学 芝崎勲

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■ 製品と技術
○ 我社の新製品について 春日電機 稲川剛幸

＜10月号目次＞
■ 特集：パーテイクル計測技術
○ パーテイクル計測技術の動向 東京工業大学 藤井修二
○ ＦＯＵＰ内のコンタミネーションの評価 三菱電機 園田信夫
○ 空気中のパーティクル計測機器 日本カノマックス 宮田　雄二
○ 空気中のパーティクル計測 トランステック 角間　健二
○ シリコンウェーハ上のパーティクル計測 ソニー 岡本彰
岡安仁
服部毅
○ パーティクル計測器と管理・校正 日本品質保証機構 片桐拓朗
○ ウェーハ上のパーティクル計測 ケーエルエー・テンコール 田中隆志
○ ガス中のパーテイクル計測 ソナック 池田卓司
○ 薬液中のパーティクル計測について 関東化学 小田貴文

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■ コーヒーブレイク
○ アルバニー（ニューヨーク州都）にて 本誌編集委員 服部毅

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■ 解説
○ 東京大学武田先端知クリーンルーム 東京大学 杉山正和
○ 滅菌に関する国際規格の動向 サクラ精機 高橋治
○ 省エネルギー型外調機「エコワッシャ」 沖環境テクノロジー 松木幹雄
中村淳
大気社 大城匡豊
村田耕一
○ 食品工場における微生物制御の現状 国立医薬品食品衛生研究所 高鳥浩介
○ 衣類からのホルムアルデヒド、ＶＯＣ発生に関する研究 東北文化学園大学 野崎淳夫

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■ 連載:有機EL素子劣化要因解明のための評価技術
○ 有機EL素子劣化要因解明のための評価技術 東レリサーチセンター 宮本隆志
松延剛
大槻亜紀子
中川善嗣

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■ 製品紹介
○ ソフト酸化水（ハイクロソフト酸化水） オーク 相原實

＜9月号目次＞
■ 特集1：最新のＨＡＣＣＰ対応工場の紹介
○ ＨＡＣＣＰ対応飲料工場の紹介 大成建設 田中研二
○ 最新のＨＡＣＣＰ対応飲料工場充填ライン技術 澁谷工業 田端修蔵
○ ＨＡＣＣＰを支援する物流システム技術 岡村製作所 山下佳一
○ レトルト殺菌機のＨＡＣＣＰ技術 日阪製作所 岡本亮一

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■ 特集2：無菌操作法による無菌医薬品の製造指針
○ 無菌医薬品製造に関する国内外の規制動向 大塚製薬 川村邦夫
○ 無菌医療品の製造区域の昆虫管理 シーアンドエス 谷壽一
○ 無菌バイオ原薬の定置洗浄・定置滅菌について 千代田化工建設 町田進

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■ コーヒーブレイク
○ 目で見る半導体クリーンテクノロジーの変遷２ 本誌編集委員 服部毅

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■ 解説
○ ポーラ美術館における火山ガスに対する空気浄化 竹中工務店 呂俊民
ポーラ美術館 内呂博之
○ 拡散シュミレーションに基づく汚染源個所推定法 大林組 諏訪好英
○ クリーンルームの扉開閉の動特性と開閉によるクロスコンタミネーション 朝日工業社 本田重夫
○ 銅プロセス排水処理装置 荏原製作所 柏木誠
○ 半導体製造装置の有機物汚染対策 東京エレクトロン 斉藤美佐子
林輝幸
○ PFCガスリサイクルシステム オルガノ 田嶋義宣

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■ 連載:ＦＰＤの基礎講座
○ FEDの基礎2 CNT-FED研究コンサルタント 梶原和夫
名古屋大学 齋藤弥八

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■ シリーズ
○ におい識別装置による環境のにおい測定 島津製作所 青山佳弘

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■ 製品紹介
○ 0.3μｍ検知・エアロゾルセンサ 神栄 奥村聡
○ ダイレクト露光装置　仕様書(暫定版) ユメックス 千木慶隆

＜８月号目次＞
■ 特集1：地球温暖化防止に貢献するＰＦＣ対策
○ 温室効果ガスの排出抑制対策の現状について JEITA半導体環境安全委員会 大越隆之
○ GWPの問題点と新評価指標 産業技術総合研究所 関屋章
○ 最近のＰＦＣ排出量測定について 大塚電子 新田哲士
○ CVDチャンバクリーニング排ガス処理への大気圧プラズマ除害装置の応用 エアー・リキード・ラボラトリーズ 佐藤美鈴
リーチュン・ハオ
野澤成偵
日本エア・リキード 田畑真大
リコー 山本秀巳
○ ＰＦＣ除害後の排水中のフッ素処理技術 松下環境空調エンジニアリング 立木悦二
○ 300mm工場のPFC除害に関して カンケンテクノ 別府達郎

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■ コーヒーブレイク
○ 目で見る半導体クリーンテクノロジーの変遷１ 本誌編集委員 服部毅

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■ 特集2：研究施設の安全性と変風量型ドラフトチャンバの紹介
○ 研究・実験室施設の安全について shoow Q Corporation 朝倉康之
○ 実験・研究施設のドラフトチャンバーの紹介 理化学研究所 吉識肇
○ 研究施設の可変風量制御の考え方 ダルトン 春原伸次
○ 大型卓上フード付き実験台 島津理化器械 齋藤督
○ ＶＡＶヒュームフードシステム オリエンタル技研工業 佐藤謙志

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■ 解説
○ 300mm半導体工場と搬送ニーズ・設備技術の動向 ダイフク 堀田卓宏
○ 実温度条件下における材料から放散される準揮発性有機化合物測定法の開発と応用 ジーエルサイエンス 星野邦広

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■ 連載:クリーンルームの汚染対策
○ クリーンルームの総合的分子汚染対策３ 大気社 村田耕一

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■ シリーズ
○ 厨房排気の臭気測定における注意点 大同工業大学 光田恵

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■ 製品紹介
○ 「クリーンイーラ」クリーンルーム消耗品シリーズ 中外商工 川上正彦
○ 半導体製造工程における洗浄技術 エム・エフエスアイ 小林徳弘
○ バイオテクニカル　クリーンルーム対応滅菌 茨城シーアイシー研究所 伊村智安

＜7月号目次＞
■ 特集：京都議定書(CO2削減)に貢献する「クリーンルーム空調の省エネルギー技術」
○ 京都議定書の発効とCO2削減対策 環境省 瀧口博明
○ JEITAのCO2削減対策と方針について 電子情報技術産業協会 遠峰徹
○ 冷房用高効率熱源システムの構築と事例紹介 ソニー 桑原康浩
○ 半導体工場における空調設備の省エネ対策 東芝 大下繁之
○ 高効率電動冷凍機によるCO2削減効果と蓄熱・蓄電技術 東京電力 原田光朗
○ 水冷インバータースクリュチラー「ハイエフミニ」の紹介 神戸製鋼所 住元弘明
○ インバーター駆動ターボ冷凍機 三菱重工業 関亘
○ インバータ・ターボ冷凍機の適応 日本アメリカン・スタンダード・トレイン 松村一美
○ 大容量対応高効率空冷フレックスモジュールチラー 東芝キャリア空調システムズ 清水直明
○ 新型高効率ファンフィルターユニットの開発 東プレ 吉田聡
○ 竪型温度成層水蓄熱槽の特徴と構造 エヌ・ワイ・ケイ 杉崎吉明
○ クリーンルーム用エアワッシャー ニチアス 美濃部智
今井章博
○ クリーンルーム用純水・水処理設備の省エネルギー手法 栗田工業 小野寺剛
○ スーパーアイスシステムの概要と導入事例 高砂熱学工業 神白雅治
○ 冷凍機用ポンプ流量制御システム ダイダン 中野一樹
○ 凍結濃縮システム 新日本空調 黒田尚紀
○ 空調省エネ最適化制御システム 日立プラント建設 杉浦匠
宮島裕二
大島昇
○ クリーンルームシステム関連機器 ヤシマ・エコ・システム 北林厚生
○ インバーターオイルフリースクュ圧縮機 神戸製鋼所 新村剛
○ 半導体工場における室内水噴霧加湿技術 三機工業 植村聡

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■ 解説
○ 純水を用いたインピンジャーによるNOx測定について 清水建設 梶間智明

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■ 連載:FPDの基礎講座
○ FEDの基礎1
CNT-FED研究コンサルタント
名古屋大学 梶原和夫
齋藤弥八

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■ 話題の製品と技術
○ VOCガス簡易測定法へのアプローチ バイオメディア 羽柴智彦
NPO消費者情報交流協会 出口一幸
上泰治

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■ コーヒーブレイク
○ ウッドローン（ニューヨーク郊外）にて 本誌編集委員 服部毅

■ 特集：ＨＡＣＣＰの動向
○ 最新のＨＡＣＣＰ対応セントラルキッチンの計画技術 大成建設 飯野嘉嗣
○ 最新のＨＡＣＣＰ対応セントラルキッチンの建築設備技術 大成建設 飯野嘉嗣
○ HACCPを支援する温度管理ｼｽﾃﾑ技術 中央設備エンジニアリング 伊藤健一郎
○ HACCPを支援する物流ｼｽﾃﾑ技術 大成建設 渡辺誠司
豊田自動織機 齋賀久佳
○ HACCP対応のホースについて 東葛工業 細井良則
○ ｾﾝﾄﾗﾙｷｯﾁﾝにおける廃棄物処理技術 大成建設 岡部善幸
大場美保

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■ 特集:医薬品製造施設とクリーンテクノロジー
○ 医薬用製剤工程等における室圧制御について 高砂熱学工業 柴田克彦
○ 医薬品施設とモニタリングシステムについて エスビー・プラント 嶋田幸寛
○ 新型ＴＯＣ分析計SIEVERS900型ｼﾘｰｽﾞ セントラル科学 江原康夫

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■ コーヒーブレイク
○ 半導体ウエーハプロセス3 本誌編集委員 服部毅

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■ 解説
○ 大型ＦＰＤ連携研究体で実施した省エネ検討の事例 フューチャービジョン 永坂茂之
　 川端洋成
産業技術総合研究所 井上善規
○ 喫煙場所における換気装置と空気清浄装置の効果 ミドリ安全 国安修
八太豊
香川雅彦
高橋大介
○ 超臨界二酸化炭素によるケミカルフィルタの再生 ダイダン 田村和也
○ クリーンルームの維持管理 東京美装興業 山野裕美
○ 光触媒による室内空気汚染低減効果の評価 国立保健医療科学院 池田耕一
柳宇

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■ 連載:クリーンルームの汚染対策
○ クリーンルームの総合的分子汚染対策２ 大氣社 村田耕一

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■ シリーズ
○ やっと感じるにおいを測る嗅覚測定法 環境管理センター 遠藤孝二

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■ 製品紹介
○ ドレンレス空調機 新日本空調 小倉朋子
○ マイクロバブルを利用した風呂の紹介 資源開発 奥村敏孝

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■ 話題の製品と技術
○ ジェットエアー式除水機「スイパー」 春日電機 福田勝喜

■ 特集:医薬品製造施設とクリーンテクノロジー 1
○ 医薬品製造施設におけるクリーン化技術の動向 千代田テクノエース 河島勇・宇治勝幸
○ バイオバーデン・環境菌測定法、問題点ならびに解決法 国立医薬品食品衛生研究所 新谷英晴
○ 医薬品工場施設における建築技術の具現化 鹿島建設 坂本和美
○ 医薬品工場施設における建築・設備技術 大成建設 加藤美好・三宅伸幸・久保田祥彰
○ GMP対応医薬品モデル工場　「ｅｰPACKAGE」 清水建設 山内正美
○ 次世代固形剤製造システムとクリーンルーム 日立プラント建設 内山拓・岩淵忠敏・長谷川悟・増田洋人
○ 医薬品工場施設における空調設備 新日本空調 堀秋義・牧野京二
○ 医薬品工場における空気調和設備と滅菌 テクノ菱和 海老根猛・川尻昭雄・品田宜輝
○ 無菌製剤施設の空調設備とバリデーション 大氣社 助宮賢治
○ PATに対応する新無菌充填システム 渋谷工業 大島康補
○ 医薬品製造施設のパーティクルカウンター ジャパンマシナリー 前田真一
○ ＴＯＣ連続測定システム ティ・アンド・シー・テクニカル
○ 医薬分野における液中微粒子計測器の紹介 川商エレクトロニクス 大木康成
○ サニタリー用導電率計 堀場アドバンスドテクノ 鈴木理一郎・長谷川雅一
○ 医薬品における品質保証とIT化技術 ＩＴエンジニアリング 横井昭彦・下河原薫

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■ コーヒーブレイク
○ 半導体ウエーハプロセス2 本誌編集委員 服部毅

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■ 解説
○ 環境科学技術研究所先端分子生物科学研究センターについて 環境科学技術研究所
千代田テクノエース 松本恒弥
江上基治・熊倉喜久

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■ 連載:クリーンルーム設計・施工基礎講座
○ 第５章クリーンルームの維持・管理　2 テクノ菱和 田村一

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■ 連載:ＦＰＤの基礎
○ 第３回　ＴＦＴ－ＬＣＤの製造プロセス 日本アイ・ビー・エム 北原洋明

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■ 随筆・見聞録

○ 第１８回「インターフェックスジャパン」の見どころ リードエグジビションジャパン 中島明日加

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■ 製品紹介
○ クリーンルーム環境をリアルタイムに可視化するF-Planetシリーズ「クリーンルーム環境センサ」 富士電機システムズ 中村貴之
○ 帯電防止粉体塗料「イノバックスＣＤタイプ」 神東塗料 阿部修三

■ 特集:フラットパネル製造ラインの汚染対策
○ ＴＦＴ液晶製造ラインにおける汚染対策 日本アイ・ビー・エム 北原洋明
○ 有機EL用クリーンルームの有機汚染対策と空調設備 日立プラント建設 平田順太
○ 有機ELディスプレイにおける汚染対策の最新の動向 有機エレクトロニクス研究所
鈴木譲治・米田清
○ 液晶パネル表示異常の分析技術 東レリサーチセンター 村木直樹・林智之・萬尚樹・田口嘉彦
○ ＦＰＤ用洗浄技術 栗田工業 井田純一
○ クリーンルーム内の汚染計測について 堀場製作所 光成京子
○ クリーンルームにおいて（ＦＰD・液晶）の洗浄技術 野村マイクロ・サイエンス 自在丸隆行
○ 排水・回収水系における水質管理 ティ・アンド・シー・テクニカル 福田愛二

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■ 小特集:有機ELの最新の動向 2

○ 有機ＥＬ製造装置デバイスの基礎と製造装置 アルバック 根岸敏夫
○ 有機ＥＬ計測評価装置 オプテル 住田哲夫・宮崎智

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■ コーヒーブレイク
○ 半導体ウエーハプロセス 本誌編集委員 服部毅

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■ 解説
○ 微生物を用いたBTEX汚染空気の浄化技術 大成建設 瀧寛則・高畑陽・有山元茂

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■ 連載:クリーンルーム設計・施工基礎講座
○ 第５章　クリーンルームの維持管理 テクノ菱和 田村一

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■ 連載:ＦＰＤの基礎
○ 第２回　表示デバイスとしての特性 日本アイ・ビー・エム 北原洋明

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■ 連載:クリーンルームの総合的分子汚染対策
○ クリーンルームの分子汚染対策の変遷 大氣社 村田耕一

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■ 連載:
○ クリーンルームの地震対応② 高砂熱学工業 村上三千博

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■ 随筆・見聞録

○ ＩＳＣＣ参加記 テクノ菱和 田村一
○ 第１５回フラットパネルディスプレイ研究開発・製造技術展の見どころ 　 　

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■ 製品紹介
○ リソ工程の自動化 ﾌﾞﾙｯｸｽ　ｵｰﾄﾒｰｼｮﾝ　ｼﾞｬﾊﾟﾝ 柴田哲夫
○ 極低振動ターボ分子ポンプ 大阪真空機器製作所 大林哲郎・山田昭文

■ 特集:WEEE・RoHSその対応と対策②
○ 有害物質分析技術とそのサービス
ダイヤ分析センター
三菱化学科学技術センター
清水忠雄
重田喜太郎
○ 有害物質分析技術とそのサービス ＮＴＴｱﾄﾞﾊﾞﾝｽﾃｸﾉﾛｼﾞ

分析ｾﾝﾀ
岩﨑亨
篠塚功
黒澤勝
○ WEEE・RoHS対応の蛍光Ｘ線分析装置の紹介 堀場製作所　 坂東篤
○ RoHSに対応した蛍光Ｘ線分析装置 日本電子
安東和人
小野寺浩
○ 半導体試験装置における鉛フリー実装技術 アドバンテスト 須賀昇
平野八郎
内藤憲成
秀野精二

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■ 特集:クリーンルームにおける停電、瞬時電圧低下現象対策④
○ 電解コンデンサ形瞬時電圧低下対策装置 日新電機 池田幸市
○ 電圧障害対策機器「低圧回路用アレスタ」 富士電機テクニカ 新井慶之輔
○ 雷害対策に関連する規格について 富士電機テクニカ 新井慶之輔

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■ 小特集:有機ELの最新の動向①
○ 有機ELディスプレイの最新の動向 有機エレクトロニクス研究所 米田清
○ 有機ELディスプレイの製造装置 トッキ 松本栄一

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■ コーヒーブレイク
○ ウエーハー大口径（４５０mm）化への検討始まる 本誌編集委員 服部毅

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■ 解説
○ クリーンルーム循環空気のケミカル汚染対策 沖環境テクノロジー 松木幹雄
中村淳
○ 美術館・クリーンルーム対応
『超高感度型アンモニア簡易測定キット』の開発 鹿島建設 武廣絵里子
涌井健
○ 一般空調用エアフィルタによる微生物粒子の除去 国立保健医療科学院 柳宇
池田耕一

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■ 連載:クリーンルーム設計・施工基礎講座
○ 第４章　クリーンルームの性能評価③ 新日本空調 水谷旬

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■ 連載
○ ＴＦＴ－ＬＣＤの基礎①　構造と動作 日本アイ・ビー・エム 北原洋明

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■ 連載
○ クリーンルームの地震対応① 高砂熱学工業 村上三千博

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■ シリーズ
○ におい・かおり環境の現状と学会の役割について におい・かおり環境協会 重岡久美子

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■ 製品紹介
○ 可視光応答型光触媒を用いた消菌クリーンシステム 平山設備 入内嶋一憲

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■ 製品ガイド
○ 「パーティクルカウンター」 編集部

＜７月号目次＞
■特集：ＦＰＤ製造における静電気の利用と対策
○液晶用ガラス基板のイオナイザーによる静電気対策 テクノ菱和 鈴木政典
○静電力を利用した薄板ガラスのハンドリンング技術 東京大学 樋口俊郎
○液晶製造工程における静電気対策と管理手法 ブイ・テクノロジー 山本　稔
○ＦＰＤ製造施設における静電気対策 大成建設 島村耕作
○ＣＶＤ装置内での異常放電をチャンバー外から検知する方法 ファブソリューション 鈴木功一
○パーティクルの可視化技術とこれを用いた異常放電時の観測 NECエレクトロニクス 伊藤奈津子
○液晶パネル用ガラスの帯電特性 三菱電機 北林宏佳
○イオナイザーの現状と動向 原田産業 鋒　治幸　

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■特集：製品紹介
○スーパークリーンイオナイザー 高砂熱学工業 八木祥行
○透明制電持続性プレート「バイヨン」 呉羽化学工業 阿部貴之
○大風量イオン送風機 ﾋｭｰｸﾞﾙｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ 下村浩一
○除塵除電装置 オーディオテクニカ 松澤忠芳

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■クリーンルーム設計・施工基礎講座：クリーンルーム設計の予備知識②　
○クリーンルームに使用される構成部材と関連設備 高砂熱学工業 菊地　栄

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■解説
○木質材料におけるホルムアルデヒド放散と真菌成長の関係 国立保健医療科学院 池田耕一　
○軟Ｘ線で発生させたイオンによるエアロゾル粒子の荷電 広島大学 島田　学
○非平衡低温プラズマによる脱臭技術 大阪府立大学 大久保雅章
山本俊昭

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■連載：第１章　クリーンルーム設計の予備知識②
○クリーンルームに使用される校正部材と関連設備 高砂熱学工業 西村浩一

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■コーヒーブレイク
○半導体経営戦略セミナー「ISSジャパン2004」① ソニー 服部 毅

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■製品紹介
○オゾン殺菌脱臭装置「eZ-10」「JS-3000」 石川島播磨重工業 釜瀬幸広
○スターミルでのナノ粒子製造法 アシザワ・ファインテック 石井利博
○組立式クリーンブース「美優風」 朝日工業社 小熊一敏

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■製品ガイド：「ファインテックジャパン」開催記念製品ガイド
○クリーンテクノロジー誌半導体関連記事総索引④